浙江大学聚焦超洁净流控系统基础研究、技术攻关和产品研发，攻克了影响光刻分辨率、良品率与产率的1mk级温度测控、5ppt级金属离子测控、20μm级气泡测控、50nm级残留液膜测控等关键核心技术 一、项目分类 关键核心技术突破 二、技术分析 如何通过超洁净流控技术降低流控污染，减少曝光缺陷，提升曝光良率，是国产高端半导体制造装备研制面临的重大挑战，直接关乎整机产品的产线应用性能与市场竞争力。此外，作为各类半导体制造装备的共性核心零部件，超洁净流控部件市场被美国、日本等国垄断，使我国半导体制造装备产业面临核心零部件“卡脖子”风险。浙江大学流体动力与机电系统国家重点实验室启尔团队所承担的高端半导体制造装备核心分系统之一的超洁净流控系统，自2004年以来在国家863计划和国家02专项支持，聚焦超洁净流控系统基础研究、技术攻关和产品研发，攻克了影响光刻分辨率、良品率与产率的1mk级温度测控、5ppt级金属离子测控、20μm级气泡测控、50nm级残留液膜测控等关键核心技术，完成了超洁净流控系统九大组件的研制和集成测试，为半导体制造设备扫描速度与产能的提高提供基础理论与方法依据，同时自主研发的半导体机台核心超洁净流控零部件实现了产品化，突破了国外技术的封锁，为我国半导体制造的发展与自主创新提供了基础支撑。

本实用新型公开了一种两栖四旋翼无人机，包括四个螺旋桨、刚性十字交叉支架机构和控制系统，十字交叉支架机构包括机架主体和连接在机架主体四周的四个机臂，机架主体底部密封安装有舱体，顶部设有用于安装防水导线的水密接头；舱体内的上半部设有储水舱和水泵；水泵的进水管密封连接设置在舱体下部的进出水口，出水管密封连接储水舱下端的入水口。本实用新型在空中四旋翼无人机技术的基础上加以改进。可以在水下自由运动，通过密封处理，对机架主体内部主要构件进行保护。舱体内的上半部设置的储水舱和水泵为自重调节装置，可以让无人机在遥控的控制下控制水泵的抽水以及排水来调节飞机的重量，进而控制无人机在水下的姿态。

       本系列泵是抽除防爆等级为IIA、IIB、温度组别为TI-T4组的易燃易爆危险场所抽除气体的设备，广泛应用在石油、化工、军事、炸药、医疗、制药、科研、矿井、油库、液化气站、煤气管道、航空航天、实验室等相关领域。 一、特点 1、体积小、重量轻、噪音低； 2、设有气镇阀、可抽除少量水蒸汽； 3、专配防爆恒温干燥箱（2XZF-2、2XZF-4）； 4、防爆标志：ExdIIBT4； 5、本泵采用隔爆、烧封、本安复合防爆技术处理，安全可靠。 参数           型号 2XZF-0.5 2XZF-1 2XZF-2 2XZF-4 2XZF-8B 2XZF-15B 抽速 L/S 0.5 1 2 4 8 15 极限压力Pa 分压力 ≤6×10-2 ≤6×10-2 ≤6×10-2 ≤6×10-2 ≤6×10-2 ≤6×10-2 全压力 ≤1.33 ≤1.33 ≤1.33 ≤1.33 ≤1.33 ≤1.33 转速r/min 1400 1400 1400 1400 1400 1400 工作电压V 380 380 380 380 380 380 电机功率Kw 0.18 0.25 0.37 0.55 1.1 1.5 进气口口径（外径）（mm） Φ20 Φ20 Φ30 Φ30 KF-40 KF-40 KF-16 KF-16 KF-25 KF-25 噪音dBA 63 65 65 66 67 72 容油量 L 0.5 0.6 0.8 1 3 4 外形尺寸mm 400×168×230 440×168×240 500×168×260 610×260×340 660×260×360 680×260×360 毛重/净重Kg 17/16 18/17 21/20 48/40 60/52 62/54

        该系列泵是适用于抽吸空气及其它一般性气体。采用油泵强制进油装置，在进气口压强≤1.33×103时，仍可连续运转的优点。它可单独使用，也可用于增压泵、扩散泵、分子泵的前级泵、维持泵、钛泵的预抽泵用，广泛适用于真空冶金、真空镀膜、真空干燥、冷冻干燥、真空脱气、真空包装、真空吸附、真空成形、食品包装、印刷、溅射、真空铸造、光伏、航空科技领域、化工、电子、冰箱、空调流水线和实验室等真空作业以及配套使用。 特点  1、配制特殊设计气镇阀，防止泵油混水，延长泵油的使用时间；          2、抽气效率高、极限真空高、使用寿命长；          3、设有自动防返油止回阀，永不返油；          4、小口径2XZ-2B、2XZ-4B、2XZ-8B真空泵专配真空干燥箱、冻干机、印刷机械；         5、可配小口径转换接头、KF接口、法兰接口;         6、当抽吸含有蒸气、颗粒、腐蚀性气体，在泵的进气口须安装辅助设备，如冷凝器、除尘器等。 参数           型号 2XZ-2B 2XZ-4B 2XZ-6B 2XZ-8B 2XZ-15B 2XZ-25B 抽速 L/S（m3/h） 2（7.2） 4（14.4） 6(21.6) 8(28.8) 15(54) 25(90) 极限压力Pa 分压力 ≤4×10-2 ≤4×10-2 ≤4×10-2 ≤4×10-2 ≤4×10-2 ≤4×10-2 全压力 ≤1 ≤1 ≤1 ≤1 ≤1 ≤1 转速r/min 1400 1400 1400 1400 1400 1400 工作电压V 220/380 220/380 380 380 380 380 电机功率Kw 0.37 0.55 1.1 1.1 1.5 2.2 进气口口径（外径）（mm） Φ30 Φ30 Φ40 Φ40 Φ40 Φ50 KF-25 KF-25 KF-40 KF-40 KF-40 KF-50 噪音dBA 62 62 65 66 66 66 容油量 L 0.8 0.95 1-1.2 2.3-2.5 2.8-3.3 5.5-6.5 外形尺寸mm 480×140×250 520×140×250 560×200×340 650×240×430 700×240×430 770×240×430 毛重/净重Kg 22/20 24/22 45/40 58/52 67/62 75/70

产品型号：B47K22H,B47K19H,B47K17H产品应用：旋挖钻机所属分类：旋挖齿

用于冷轧板材绝对厚度/相对厚度（可自由转换）测量的高灵敏度仪器。 该仪器的测量原理是采用双CCD传感器分别放置于被测钢板厚度上下两面的同一轴线上，沿平行于钢板面移动，采用和差补偿测量电路预处理和采集信号，并将该信号经89C52单片机后，进行一系列数据处理，然后传输给LJD-GP2410 ARM一体机存储并显示测量结果。仪器具有“人机对话”、“输入板带各种参数”、“自动采集数据”、“数据处理”、“存储测量结果”、“显示和传输各种数据”、“打印曲线”等智能化功能。能实现手持简易测量，同时又能在固定导轨测量。 主要性能指标：1. 仪器测量范围：宽度0～2000mm，厚度2～50mm；2. 仪器分辨率：1mm；示值误差：＜5mm。

产品详细介绍消防箱防火板  消火栓箱防火板。消防箱无机防火板是暗装消防箱时，箱后透墙防火的一种措施，保证在起火时消防箱不会变形，消防设施能够正常使用。消防箱无机防火板是用阻燃玻璃纤维、无机材料，阻燃剂、固化剂等成份制作而成，具有阻燃性能好，遇火不燃烧时间可达3小时以上，机械强度高，不爆、耐水、耐油化学防腐性强等特点。无机防火隔板燃烧试验中，火焰温度达1000℃时不变形，各项指标符合GB23864-2009的规定要求，燃烧性能达到GB8624规定的A级（不燃性）标准。      消防箱无机防火板还可用于制作防火隔板、盖板、面板、盘柜门板、电缆槽盒等 ，板材加工方便，可随意切割、电锯、铆钉上螺丝。其造价低、重量轻、安装方便主要适用于各类电压等级的电缆在支架或桥架上敷设时的防火保护和耐火分隔，大量应用在国内各类发电厂、化工企业、钢铁冶炼企业、矿山等电缆密集场所的电缆工程的防火阻燃。也是大型商场、酒店、宾馆、文体会馆、封闭式服装市场、轻工市场、影剧院等公共场所室内装饰防火阻燃工程的防火阻燃材料。      无机防火隔板产品可采用切割锯进行分切，根据施工现场需要制成所需用的形状，装配时采用钢支架或膨胀螺栓固定，钢架要用钢结构防火涂料刷。也可用本无机防火隔板装制成各种形式的电缆防火槽盒。 

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结构材料轻量化是目前国民经济、国家重大需求的重大挑战，材料结构功能一体是新材料的重要发展方向。 轻质高强泡沫铝合金复合夹芯板以超轻质的泡沫铝合金为芯层，与铝合金面板实现冶金结合，具有比重小，高刚度，高阻尼减振，高能量吸收的特点，同时实现与阻燃、电磁屏蔽功能兼容性，在先进交通、航空航天领域具有广泛的应用前景。通过可调控的芯层泡沫铝合金孔结构，复合夹芯板的实现了同等质量钢板6倍的高刚度，同时比重仅与水接近，该成果已经应用于我国重要装备制造。

已有样品/n团队成功掌握了大面积柔性阵列压力传感器的一整套生产工艺， 并在此基础上开发了多个应用系统， 申报多项知识产权（13项授权发明专利、 8项软件著作权登记） ， 研制的柔性阵列压力传感器及其终端产品已经成功应用在竞技体育科研、 个性化工业产品设计、 公共安全、 医疗康复评估以及运动生物力学研究等领域。