浙江大学聚焦超洁净流控系统基础研究、技术攻关和产品研发，攻克了影响光刻分辨率、良品率与产率的1mk级温度测控、5ppt级金属离子测控、20μm级气泡测控、50nm级残留液膜测控等关键核心技术 一、项目分类 关键核心技术突破 二、技术分析 如何通过超洁净流控技术降低流控污染，减少曝光缺陷，提升曝光良率，是国产高端半导体制造装备研制面临的重大挑战，直接关乎整机产品的产线应用性能与市场竞争力。此外，作为各类半导体制造装备的共性核心零部件，超洁净流控部件市场被美国、日本等国垄断，使我国半导体制造装备产业面临核心零部件“卡脖子”风险。浙江大学流体动力与机电系统国家重点实验室启尔团队所承担的高端半导体制造装备核心分系统之一的超洁净流控系统，自2004年以来在国家863计划和国家02专项支持，聚焦超洁净流控系统基础研究、技术攻关和产品研发，攻克了影响光刻分辨率、良品率与产率的1mk级温度测控、5ppt级金属离子测控、20μm级气泡测控、50nm级残留液膜测控等关键核心技术，完成了超洁净流控系统九大组件的研制和集成测试，为半导体制造设备扫描速度与产能的提高提供基础理论与方法依据，同时自主研发的半导体机台核心超洁净流控零部件实现了产品化，突破了国外技术的封锁，为我国半导体制造的发展与自主创新提供了基础支撑。

近年来，磁振子电子学在信息计算和信息传输领域表现出了极具价值的应用潜力。磁振子电子学利用以磁振子为载体的电子自旋进动来实现信息处理，有望实现无热量产生、低耗散的信息传输，相比于传统意义上通过操纵电荷来实现信息的处理的微电子学具有无可比拟的巨大优势。磁振子电子学领域的进展很大程度上依赖于能够有效传输磁振子的新材料的发现，而获得长距离的磁振子输运始终是磁振子电子学研究的重中之重。与通常的三维磁性绝缘体（如Yttrium Iron Garnet）相比，二维尺度下的磁振子被理论预言有很多的新颖物理效应，例如自旋能斯特效应，拓扑磁振子，以及外尔磁振子等。 在最新的研究文章中，量子材料科学中心韩伟课题组在二维磁性体系中展开工作并取得了重要进展，观测到了二维反铁磁体系中磁振子的长距离输运。MnPS3晶体是一种层状反铁磁材料，利用机械剥离手段得到了二维的MnPS3薄片。MnPS3薄片上制备了用于测量磁振子输运的非局域器件，器件结构如图A所示。器件左侧Pt电极通过热方法来注入磁振子，右侧Pt电极探测在二维MnPS3中扩散传输的磁振子。在二维反铁磁MnPS3中，实验上观测到了几微米的磁振子扩散长度。并且从图B中可以看出，随着注入端和探测端距离的增加，探测到的非局域信号表现出e指数衰减的形式，跟一维漂移扩散模型的理论模型一致。在此基础上，他们还系统研究了MnPS3厚度对磁振子弛豫性质的影响。随着MnPS3厚度从40nm降低至8nm，磁振子弛豫长度由4μm减小到1μm（图C），这可能是由较薄的MnPS3中较强的表面杂质散射效应导致的。 该文章中的结果具有重要的学术价值：二维材料中的磁振子输运实现为二维磁性材料在磁振子电子学的应用与发展奠定了基础，也有望推动磁振子在量子尺度下的新颖量子物理性质研究。图：二维反铁磁体系中磁振子输运研究。（A）二维反铁磁MnPS3中的磁振子输运测量结构示意图。（B）自旋信号R_NL^*随电极间距的依赖关系，与理论预言的e指数衰减吻合。（C）磁振子弛豫长度随MnPS3厚度的依赖关系。 该工作于2019年2月7日在线发表于物理学术期刊Physical Review X上(Phys. Rev. X 9, 011026 (2019) )。 DOI: https://doi.org/10.1103/PhysRevX.9.011026。该工作由韩伟研究员设计和指导完成，北京大学量子材料科学中心2015级博士生邢文宇为文章第一作者，物理学院2015级本科生邱露颐为第二作者（今年9月份将去哈佛大学读博士），韩伟研究员为文章通讯作者。本工作的顺利完成得到了量子材料科学中心贾爽教授和谢心澄院士的合作帮助，以及国家重大科学研究计划、国家自然科学基金、中国科学院战略性先导科技专项的支持。

一种用于喷洒农药的旋翼式无人机，包括带有旋翼组件的机身，所述机身上还安装有药箱以及与药箱连接的喷药装置，所述药箱设有多个，所有药箱平铺设置且整体的水平重心与机身的水平重心重合。本发明的用于喷洒农药的旋翼式无人机，将大药箱分解为等容积的多个小药箱，可以减小了单个药箱内药液的惯量，使得飞机在急停情况下，每个药箱内的液体产生的水平重心偏移较小，总体的水平重心偏移要大大小于单个药箱来盛装药液的情况，从而避免因为水平重心偏移变化过大、机身倾角过高而使得飞控无法矫正失控坠地的问题发生。

随着节水农业的兴起，滴灌、喷灌技术正被越来越广泛地应用。目前已建成的系统 首部，控制系统采用人工手动控制的较多，系统自动化程度低，且产品单一，而过滤器 作为系统首部的核心设备，用户急需技术含量高的产品。 针对以上问题，研制和开发了一套大田滴灌水力旋喷自动吸附网式过滤器及其控制 系统，克服了以往过滤器体积大，水头损失大、操作复杂的缺点，符合当代农业主的需 求。该技术产品具有不同60、80、100、120等不同目数和不同结构的过滤器产品，不仅 用于滴灌，还可以用于喷灌等灌溉方式，适应范围广。生产工艺成熟、产品质量稳定。

相关专利提出了一种新型的指引导管，用于冠脉介入治疗时方便更换介入导管。

随着节水农业的兴起，滴灌、喷灌技术正被越来越广泛地应用。目前已建成的系统首部，控制系统采用人工手动控制的较多，系统自动化程度低，且产品单一，而过滤器作为系统首部的核心设备，用户急需技术含量高的产品。 针对以上问题，研制和开发了一套大田滴灌水力旋喷自动吸附网式过滤器及其控制系统，克服了以往过滤器体积大，水头损失大、操作复杂的缺点，符合当代农业主的需求。该技术产品具有不同60、80、100、120等不同目数和不同结构的过滤器产品，不仅用于滴灌，还可以用于喷灌等灌溉方式，适应范围广。生产工艺成熟、产品质量稳定。

本实用新型公开了一种旋流流化床固体粒子发生器，是在主气路中引出旁路气流作为粒子发生器的驱动动力，旁路气流分别通过底部和侧壁切向通孔注入压力容器中，底部注入的气流用于驱动流化床，切向注入的气流可形成旋流增加气流紊乱程度，综合利用流化床和旋流分散干燥的固体粒子，形成气溶胶，从而保证粒子质量，最后通过压力容器上部的气路将气溶胶注入主气路。本实用新型不需要额外的高压气源，不会改变空气或者是燃料气体流量及其相对比例，可以避免增加额外的流量计/流量控制器的使用。利用流化床和旋流结构，可有效提高粒子散布的均匀性，并有效避免流化床中形成稳定气路而失效，该装置结构简单，操作维护方便，投资及维护费用低。

该项目应用领域：可替代现有各种管壳式换热器方案，尤其对贵重材料应用的经济性更好，如铜管干式蒸发器、钛管闭式冷却器等。