HMDS真空预处理烘箱产品用途:该产品主要用于半导体行业，HMDS预处理系统通过对烘箱HMDS预处理过程的工作温度、处理时间、处理时保持时间等参数可以在硅片、基片表面均匀涂布一层HMDS，降低了HMDS处理后的硅片接触角，降低了光刻胶的用量，提高光刻胶与硅片的黏附性。     一、产品规格： 型号：BD/HMDS-6090   内形尺寸：450×450×450     型号：BD/HMDS-6210   内形尺寸：560×640×600   二、 技术参数： 1、控温范围：RT+10～250℃  2、温度分辨率：0.1℃     3、温度波动度：±1℃ 4、达到真空度：小于133Pa 5、真空度：100Pa～100000Pa 6、定时范围：1～9999min 7、工作室材料：316L 8、样品架：2块、3块 9、真空泵：4L/S 10、电源电压：220V/50Hz、380V/50Hz三相五线制 11、总功率：3000W、4500W 三、产品特点： 1、外壳采用冷轧钢板制造，表面静电喷塑。内胆、样品机、连接管路均采用优质不锈钢316L材料制成；加热器均匀分布在内胆外壁四周，内胆内无任何电气配件及易燃易爆装置。钢化、防弹双层玻璃门观察工作室内物体一目了然。 2、箱门闭合松紧能调节，整体成型的硅橡胶门封圈，确保箱内高真空度。 3、HMDS气体密闭式自动吸取添加设计，真空箱密封性能佳，确保HMDS气体无外漏顾虑。 四、HMDS预处理系统操作流程： 1、首先确定烘箱工作温度； 2、预处理程序为：打开真空泵抽真空，待腔内真牢度达到某一高真空度后，开始充入氮气，充到达到某低真空度后，再次进行抽真空、充入氮气的过程，到达设定的充入氮气次数后，开始保持一段时间，使硅片充分受热，减少硅片表面的水分; 3、再次开始抽真空，充入HMDS气体，在到达设定时间后，停止充入HMDS药液，进入保持阶段，使硅片充分与HMDS反应; 4、当达到设定的保持时间后，再次开始抽真空。充入氮气，完成整个作业过程。 五、控制系统： 1、7.0英寸维纶彩色触摸屏，三菱PLC控制器； 2、富士微电脑双数显温度PID控制器，控温精确可靠； 六、保护系统： 1、漏电保护； 2、超温保护； 3、缺液保护；              七、设备使用条件： 1、环境温度：5℃～＋28℃（24小时内平均温度≤28℃） 2、环境湿度：≤85%R.H 3、操作环境需要室内通风良好,机器放置前后左右各80公分不可放置东西; 八、HMDS真空预处理烘箱服务承诺： 保修十二个月，免费送货上门,在对该设备安装调试结束后,在用户现场对相关技术人员免费做相应的操作培训,人数不限。

产品特性 1、金属部件：主要材质≥1.2mm镀锌钢板，环氧树脂静电喷涂，覆有耐用防化无铅涂层，保持高光洁度并 限度的降低腐蚀和湿气的影响。 2、前板及侧板：主要材质≥6mm亚克力板，耐候性 ，的抗化学品性能，不易老化，无色透明，通体透光，视觉舒适，美观大方。 3、七英寸液晶触摸屏显示，PLC控制，实时温湿度环境监控，风机监控，VOC浓度环境监控及一体化报警系统。 4、PSC风机，24伏电流，性能稳定，无火花静电。 5、过滤系统，按照颗粒大小选择排列分布，遵循ASTM标准，有效针对酸性气体和有机气体，吸附能力强，针对粒子采用高效HEPA过滤器，对大于0.3um的粒子，过滤效率达99.995%。 6、LED照明灯功率相当于25W的日光灯，不产生热量，安全并不影响实验环境温度，节能、环保、寿命长。 7、环氧树脂台面具有的化学稳定性， 的抗腐蚀性能，抗冲击性能好无破坏，耐高温性能，一体透芯，使用寿命长，不脱层，不膨胀、不龟裂。 优异性1、无需安装管道工程,安装便捷,废气不外排,新型环保。2、顶部根据实验需求可选配过滤模块系统,满足多种不同的实验。3、模块化过滤技术,完全吸附过滤实验产生的有害气体、颗粒粉尘等物质。4、无需消耗空调能耗,高效节省能源。5、可放置在桌面上或配置移动轮座,方便灵活,适用于任何复杂的实验地点。 工作原理 1、 进风口 空气可直接从实验室抽入通风柜，形成负压，稳定的面风速形成了一个天然的屏障来隔离用户和他们所操作的化学品。 2、过滤系统 风机系统将有毒有害气体往上吸入，经过过滤，返回洁净的空气到室内。柜体的优良的控制浓度可保证柜体内的化学气体不会返回室内，造成污染。 3、洁净实验室空气 根据不同操作配置不同过滤器，有效过滤有毒有害气体，净化实验室空气，去除化学品残留异味，提高实验室洁净等级。 4、净化周围空气 通风柜持续的过滤效率可有助于净化室内空气。 产品型号 产品参数 YB-DS800 规格尺寸：800*620*1245mm长宽高 内部尺寸：764*540*860mm 空气处理量：230m3/h 平均表面风速： 0.4-0.6m/s 电压：220V-240V 频率：50-60HZ 电流：2A 音量：52 dBA 功率：72W 操作孔类别：三角型（椭圆型、梯形） 分子过滤器：4组（每组2小块） 初效过滤器：1块 风机：1个 环氧树脂台面：1块 照明：LED照明灯1组 显示屏：七英寸液晶触摸屏 控制系统：1套 过滤器饱和报警系统：1套 温湿度报警系统：1套 电源线：1根 YB-DS1000 规格尺寸：1000*620*1245mm 内部尺寸：964*540*860mm 空气处理量：230m3/h 平均表面风速： 0.4-0.6m/s 电压：220V-240V 频率：50-60HZ 电流：2A 音量：52 dBA 功率：72W 操作孔类别：三角型（椭圆型、梯形） 分子过滤器：4组（每组2小块） 初效过滤器：1块 风机：1个 环氧树脂台面：1块 照明：LED照明灯1组 显示屏：七英寸液晶触摸屏 控制系统：1套 过滤器饱和报警系统：1套 温湿度报警系统：1套 电源线：1根 YB-DM1275 规格尺寸：1275*620*1245mm 内部尺寸：1240*540*860mm 空气处理量：690m3/h 平均表面风速： 0.4-0.6m/s 电压：220V-240V 频率：50-60HZ 电流：2A 音量： 52 dBA 功率：220W 操作孔类别：梯形（椭圆型、） 分子过滤器：6组（每组2块） 初效过滤器：3块 风机：3个 环氧树脂台面：1块 照明：LED照明灯1组 显示屏：七英寸液晶触摸屏 控制系统：1套 过滤器饱和报警系统：1套 温湿度报警系统：1套 电源线：1根 YB-DM1600 外部尺寸：1600*620*1245mm 内部尺寸：1565*540*860mm 空气处理量：690 m3/h 平均表面风速： 0.4-0.6m/s 电压：220V-240V 频率：50-60HZ 电流：5A 音量：55 dBA 功率：220W 操作孔类别：三角型（椭圆型、梯形） 分子过滤器：6组（每组2块） 初效过滤器：3块 风机：3个 环氧树脂台面：1块 照明：LED照明灯1组 显示屏：七英寸液晶触摸屏 控制系统：1套 过滤器饱和报警系统：1套 温湿度报警系统：1套 电源线：1根 YB-DL1600 外部尺寸：1600*790*1245mm 内部尺寸：1565*692*860mm 空气处理量：690 m3/h 平均表面风速： 0.4-0.6m/s 电压：220V-240V 频率：50-60HZ 电流：5A 音量：55 dBA 功率：220W 操作孔类别：三角型（椭圆型、梯形） 分子过滤器：6组（每组2块） 初效过滤器：3块 风机：3个 环氧树脂台面：1块 照明：LED照明灯1组 显示屏：七英寸液晶触摸屏 控制系统：1套 过滤器饱和报警系统：1套 温湿度报警系统：1套 电源线：1根