共焦白光偏振干涉的多层透明介质厚度测量装置和方法
本发明属于白光干涉测厚领域,并公开了共焦白光偏振干涉的 多层透明介质厚度测量装置和方法。包括被测物、第三透镜、第二透 镜、第二小孔构成共焦结构,平行白光经第二棱镜后,一束作为测量 光束经第三透镜汇聚到被测表面,另一束作为参考光束经过多次反射 后与从被测表面反射回来的测量光束发生干涉,在第二棱镜和第二透 镜之间设置提高干涉条纹的对比度的可旋转偏振片,实现在第一图像 传感器上形成高对比度干涉条纹。本发明还公开了利用上述装置进行 测量的方法。通过本发明,采用参考光束和测量光束在横向微小的偏 离量,同时利用
华中科技大学
2021-04-14