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沟道的刻蚀方法、半导体器件及其制备方法与电子设备
本发明提供了一种沟道的刻蚀方法,提供一待刻蚀对象,对所述待刻蚀对象一次刻蚀后,交替进行表面处理‑二次刻蚀,直至刻蚀掉所有的鳍结构的牺牲层;其中,一次刻蚀用于刻蚀掉所述若干鳍结构中当前宽度最小的鳍结构的全部牺牲层以及其它宽度更宽的鳍结构的部分牺牲层;表面处理用于在待刻蚀对象的沟道层与剩余的牺牲层的暴露在外的表面形成保护层;所述二次刻蚀用于刻蚀掉当前宽度次之的鳍结构的全部的牺牲层,以及所述保护层。本发明在传统的刻蚀工艺中加入氧化步骤,既实现了对沟道层的保护,又实现了在不同沟道宽度的刻蚀中,减少沟道层的损失量。
复旦大学 2021-01-12
高性能系列铌酸锂、钽酸锂晶体和光电器件
光电晶体及其器件作为激光技术的关键材料和器件,被诸多国家列为优先发展的技术领域。本项目在国家 863 计划、天津市重大科技攻关、国防科工局民口配套等项目支持下,瞄准国家需求,围绕产品化关键技术攻关,取得了以下主要科技创新: (1)自主设计基于经验数据库的智能计算机晶体生长自动控制系统,并开发了晶体生长成套装备,应用于多种晶体生长,得到批量推广应用。 (2)发展了两种非固液同成分共熔配比晶体的制备方法,实现了 SLN 晶体和 SLT 晶体的批量、廉价制备。 (3)开发了宽温度范围工作铌酸锂电光调 Q 晶体及电光调 Q 开关,在-55℃~70℃温度区间稳定工作,大幅提高了军用激光系统的温度稳定性。(4)以高温度稳定性电光调 Q 开关为核心技术自主研发的系列高温度稳定性铌酸锂电光调 Q 激光系统,实现了批量生产和应用。 (5)开发了满足激光雷达等长期在线工作的低内电场铌酸锂电光调 Q 晶体和电光调 Q 开关。 (6)开发了高抗光损伤阈值的钽酸锂电光调 Q 晶体和电光调 Q开关,典型 1064nm 波段的激光损伤阈值比铌酸锂晶体提高两个数量级以上,且能够满足军工宽温度范围要求。
南开大学 2021-04-13
通信与信息工程学院数学计算仿真软件服务招标公告
南京邮电大学通信与信息工程学院数学计算仿真软件项目的潜在投标人应在“江苏政府采购网”、“南京邮电大学”上免费下载招标文件,并于2020年10月21日10点30分(北京时间)前递交投标文件。
南京邮电大学 2020-09-29
一种LTE通信系统中基于混合业务的分组调度方法
高校科技成果尽在科转云
电子科技大学 2021-04-10
光空间调制通信系统中LED个数任意时的比特映射方法
本发明公开了光空间调制通信系统中LED个数任意时的比特映射方法。一般情况下,光通信中的空间调制都限定发送端LED的个数是2的幂次方。然而,实际部署的LED个数不一定正好是2的幂次方。针对这一问题,本发明提出了光空间调制系统中发送端LED个数任意的比特映射方法。所述方法主要包括三个步骤:空间域的比特映射、信号域的比特映射、加入信道信息之后的比特映射。经过以上三个步骤便能得出相应场景下性能较好的空间调制映射方式,从而实现了发送端个数任意的可见光空间调制的信息传输。
东南大学 2021-04-11
一种实时视频通信中的感兴趣区域提取方法
本发明公开了一种实时视频通信中的感兴趣区域提取方法,本发明首先对视频图像中的运动区域和 亮度区域进行提取,同时将视频图像划分为结构化纹理,平滑纹理,随机纹理三个区域。根据人眼对运 动的区域,亮度较高的区域以及结构化纹理区域较为感兴趣的特点,对运动信息,亮度信息和纹理信息 设置不同的权重,最终综合得出人眼对各个区域的感兴趣程度。本发明基于人眼的视觉特性,根据人眼 对视频图像中不同区域感兴趣程度的不同,对视频中感兴趣区域进行分级提取,从而使提取的感
武汉大学 2021-04-14
一种室内可见光OAM组播通信系统发射端
本发明公开了一种室内可见光OAM组播通信系统,其下行链路通过激光器LD产生调制有组播信息的高斯光束,经二维激光分束器和空间光调制器,将准直的激光变成带有螺旋相位的OAM光束。空间光调制器在进行OAM螺旋相位调制的同时,通过将光束打旋的方式,扩展每一束光的覆盖面积,同时各光束照射区域重叠,以此弥补单一光束的中心暗斑,实现无盲区传输。针对组播通信系统,本
东南大学 2021-04-14
一种基于自适 应调整策略的DRX 机制通信方法
项目简介: SG 网络系统下, 机器类通信 (Machine Type Comm unication-MTC) 变得
西华大学 2021-04-14
一种带无线串口的手持式料位计
通过对传统激光料位计的改造,加入无线发送模块,在上位机加入无线接收模块,通过2.4GHZ无线通讯方式,将传感器数据直接传输到上位机。传感器的数据可以是4-20ma模拟量也可以是RS485数字量。这样省了传感器传输的布线问题。
江苏师范大学 2021-04-11
基于无线传感器网络的环境安全监控系统
针对森林火灾、建筑火灾、居家环境安全等当前关系到社会安全稳定的关键问题,在天津市中小企业与国家中小企业创新基金的支持下,本项目在研究了当前消防报警系统的不足之处后,将多层次无线传感器网络技术引入到火灾与居家安全监测中来。构建了基于无线传感器网络的分布式火灾与居家安全监测定位系统,研制分布式无线消防传感器数据传输网络,结合无线传感器网络协议的层次结构,研究数据采集和传输、组网、路由及定位算法,保证了系统的低功耗、实时性和稳定性。将系统实时监测的有关参数数据(例如温度、相对湿度、位置、入侵、煤气等)发送给监控中心进行分析处理,结合检测环境气象条件、地形条件、可燃物条件等多项参数,通过模糊数学算法融合处理传感器参数,采用人工智能的的方法设置各项参数适当的预警线。并与相应参数的预警线进行比对,判断是否具有火灾及其他危害发生的潜在危险,为有关部门采取相应的措施提供决策依据。本项目在森林防火、临时建筑消防监测、展会消防监测、学校宿舍与实验室消防监测以及居家安全等方面都有较好的应用前景,因此市场广大。
天津职业技术师范大学 2021-04-10
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