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锗硅纳米低维结构的可控制备方法及产品
本发明公开了一种锗硅纳米低维结构可控制备方法及产品,该 方法具体为:(a)清洗硅衬底;(b)在硅衬底上外延生长锗硅合金形成外 延衬底;(c)涂敷电子抗蚀剂,通过电子束光刻技术在电子抗蚀剂上曝 光所需的锗硅纳米低维结构图形;(d)采用干法刻蚀将锗硅纳米低维结 构图形转移到外延衬底上得到样品;(e)去除样品上的电子抗蚀剂;(f) 高温环境下进行氧化和退火,使得氧气优先与硅反应形成氧化硅而锗 被析出;(g)在氮氢混合气氛下
华中科技大学 2021-04-14
基于机床不同结构状态的数控机床频响函数获取方法
一种基于机床不同结构状态的数控机床频响函数获取方法,该方法包括,步骤(1)将整个机床划分为两部件,包括固定部件和可动部件;步骤(2)获得可动部件在第一位置时机床结构状态的模态参数;步骤(3)获得可动部件在第二位置时机床结构状态的模态参数;步骤(4)利用不同结构状态的模态参数先计算得出模态标定因子,后结合频响函数的模态表达式合成机床在该结构状态的频响函数,本发明方法不需要测量输入力即可获得频响函数,应用本发明方法可实时监控机床的动态特性。
华中科技大学 2021-04-14
一种仿壁虎脚微纳分级结构及其制造工艺
本发明公开了一种用于仿壁虎脚微纳分级结构的制造工艺,包括:S1、使用LPCVD设备在洁净的硅片上热生长一层SiO<sub>2</sub>薄膜;S2、在有 SiO<sub>2</sub>层的硅片表面旋涂光刻胶并进行光刻,制备出圆孔阵列图形;S3、使用缓冲氢氟酸溶液对暴露出的SiO<sub>2</sub> 进 行 刻 蚀 , 将 光 刻 胶 上 的 图 形 转 移 到SiO<sub>2</sub>层;S4、在
华中科技大学 2021-04-14
一种多面体空腔结构的发射成像设备
本发明公开了一种多面体空腔结构的发射成像设备,其包括相互连接的上支撑架和上多面体空腔结构以及相互连接的下支撑架和下 多面体空腔结构,上支撑架和下支撑架通过连杆相连,其中:上多面 体空腔结构由多个腔体结构的多边形模块构成,多个多边形模块的外 侧面依次两两拼接组成中空的多面体空腔结构,该多面体空腔结构的 中空部位嵌装有一多边形模块;下多面体空腔结构同样由多个腔体结 构的多边形模块构成;滑动装置包括滑块和导轨,滑块与多边形模块 相连,其在动力机构的驱动下相对导轨滑动;导轨与下支撑架相连, 其一端与多边形模
华中科技大学 2021-04-14
一种利用组合结构实现承重墙托换方法
本发明公开了一种利用组合结构实现承重墙托换方法,该方法包括步骤:施工前障碍物清除,掏空 钢柱位置砖墙,设置支撑安全措施;基础放线定位开挖,钢筋制作,架设模板,预埋地脚螺栓,浇筑基 础混凝土并养护;钢柱及节点板制作,柱脚安装及节点连接;原砖墙包钢加固,加固框梁包钢处理;钢 梁制作与安装;钢结构防腐处理;待钢框架稳定无异常后,清理钢框架周围杂物并进行基础回填,对钢 梁和混凝土楼
武汉大学 2021-04-14
一种多功能蒸渗测坑的地下混凝土结构
本实用新型公开了一种多功能蒸渗测坑的地下混凝土结构,包括上下楼道、电脑监控室、地下控制 大厅、测坑、地下观测廊道、称重式蒸渗仪系统和地下供排水系统;所述上下楼道通往电脑监控室和地 下控制大厅,所述电脑监控室位于上下楼道的半层楼处,下方通往地下控制大厅;所述地下观测廊道与 地下控制大厅相连,所述测坑布置于观测廊道两侧,所述称重式蒸渗仪系统设于观测廊道尾端。本实用 新型建造方便、性能可靠,位于上下楼道
武汉大学 2021-04-14
飞机复杂结构件数控加工动态特征技术及应用
项目组在国家科技重大专项和国家自然科学基金的支持下,提出了以加工动态特征为载体进行加工全过程工艺知识建模的技术思路,攻克了加工动态特征驱动的自动数控编程和加工变形精确控制技术,为复杂结构件从计算机辅助加工到智能数控加工的跨越提供了理论和技术支撑。 一、项目分类 关键核心技术突破 二、成果简介 飞机复杂结构件的数控加工能力是衡量一个国家航空制造水平的重要标志。新一代飞机结构件更复杂、精度要求更高、制造周期要求更短,对五轴联动数控加工技术提出了更高的要求。项目组在国家科技重大专项和国家自然科学基金的支持下,提出了以加工动态特征为载体进行加工全过程工艺知识建模的技术思路,攻克了加工动态特征驱动的自动数控编程和加工变形精确控制技术,为复杂结构件从计算机辅助加工到智能数控加工的跨越提供了理论和技术支撑。成果在多家航空航天企业推广应用,完成了多个军机和C919、ARJ21 等民机型号多件复杂结构件的研制生产,被工信部、发改委和国防科工局作为航空领域国产高档数控机床应用示范工程三大关键共性技术之一,向全国军工制造行业推广。 三、创新点 1.揭示了加工过程中间状态几何参数、工艺参数、监测检测量等动态信息的动态迭代规律和传递规律,突破了基于加工动态特征的加工全过程工艺知识建模技术,实现了复杂结构件工艺知识积累由以零件为载体到以加工动态特征为载体的模式转变。 2.提出了基于特征识别的加工特征自动排序、加工驱动几何自动创建、工艺参数自动迭代方法,构建了加工特征切削参数优化模型,实现了复杂结构件的快速编程和高效加工。 3.提出加工过程中自适应释放和消除工件变形的加工模式,研制出能监测工件变形的浮动装夹工艺装备,突破了基于加工动态特征的装夹/加工/监测/检测自适应协同控制技术,实现了加工变形精确控制。 四、主要技术指标 1.特征自动识别率大于95%; 2.刀轨自动生成率大于95%; 3.数控编程效率提高3倍以上; 4.加工效率提高30%以上; 5.大型复杂结构件加工变形控制在0.05mm/m以内。 五、知识产权及获奖 加工动态特征驱动的智能数控编程与加工技术,研究成果2016年获“国家技术发明二等奖”、2015年获“中国机械工业科学技术一等奖”。目前已拥有授权国家发明专利60余项。 六、成果图片   图1 成果总体技术   图2 加工过程零件面型检测
南京航空航天大学 2022-08-12
一种折叠链式穿心电容结构的 EMI 滤波器
本发明公开了一种折叠链式穿心电容结构的 EMI 滤波器,包括 层叠基体、一个输入端子、一个输出端子和两个接地端子;层叠基体 包括从下至上依次层叠的基板、导电极板、接地极板和金属过孔;导 电极板设置在基板表面上;首层导电极板的一端与输入端子连接,末 层导电极板的一端与输出端子连接,接地极板设置在其余基板的表面 上;接地极板的两端分别与两个接地端子连接;金属过孔沿基板的层 叠方向,导电极板之间通过金属过孔首尾相连,使得导
华中科技大学 2021-04-14
基于机床不同结构状态的数控机床频响函数获取方法
一种基于机床不同结构状态的数控机床频响函数获取方法,该 方法包括,步骤(1)将整个机床划分为两部件,包括固定部件和可动部 件;步骤(2)获得可动部件在第一位置时机床结构状态的模态参数;步 骤(3)获得可动部件在第二位置时机床结构状态的模态参数;步骤(4)利 用不同结构状态的模态参数先计算得出模态标定因子,后结合频响函数的模态表达式合成机床在该结构状态的频响函数,本发明方法不需 要测量输入力即可获得频响函数,应用本发明方法可实时监控机床的 动态特性。
华中科技大学 2021-04-14
一种纳米级尺寸结构测量方法及装置
本发明公开了一种纳米级尺寸结构测量方法及装置,可以同时测量纳米级尺寸结构宽度、深度、侧墙角等参数。本发明方法步骤如下:将白光光束经滤光、起偏后垂直投射到包含纳米级尺寸结构的样件表面;采集样件表面反射信号,计算得到纳米级尺寸结构显微成像图;将测量离焦扫描成像分布图与理论离焦扫描成像分布图进行匹配,提取得到待测纳米级尺寸结构的几何参数值。本发明所提供的纳米级尺寸结构测量装置,能为纳米制造技术如传统光刻和纳米压印等基于图形转移的批量化制造技术中所涉及的各种典型纳米级尺寸结构,如孤立线条阵列结构、密集型线条
华中科技大学 2021-04-14
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