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一种微机电系统的圆片级真空封装方法
一种微机电系统的圆片级真空封装方法，属于微机电系统的封装方法，解决现有封装方法存在的问题，使得微型真空腔长时间保持真空，满足十年以上使用寿命的要求。本发明包括：刻蚀步骤：在盖板圆片上对应硅基片 MEMS 器件的位置刻蚀相应空间尺寸的凹坑，再环绕凹坑刻蚀环形凹槽；吸气剂淀积步骤：在所述凹坑和凹槽内淀积吸气剂薄膜；键合步骤：在真空环境下将盖板圆片和硅基片紧密键合。本发明解决了现有封装方法存在的真空保持时间短、密封质量低、可靠性差、成本高的问题，可以长时间保持微型腔体内的真空度，极大的推动圆片级 MEMS
华中科技大学
2021-04-14
ECE R118圆箔式热流计/辐射计
产品详细介绍ECE R118圆箔式热流计/辐射计用于ECE R118机动车辆特定类型内部结构采用的材料燃烧特性中附录7熔融特性，量程10W/cm2，表面10mm接收黑色涂层接收面，整个传感器的直径是25mm，材料为无氧铜，不带光谱过滤窗口，校正精度±3%，重复性0.5%。ECE R118用圆箔式热流计/辐射计的特点： 便携式设计，体积小且重量轻 本机可以记录数据 USB连接计算机 传感器坚固耐用 充电电池或者电源适配器供电ECE R118用圆箔式热流计/辐射计参数：量程： 0-100（kW/m2）接收视角： 180度采集频率： 1次/秒测试类型： 总热通量时间常数： 小于1s冷却方式： 水冷准确度： 量程最大值的±3%固定方式： 法兰线长： 1.5m（可选）主机尺寸： 90 x 30 x 190 mm（长 x 宽 x 高）传感器尺寸： 25(直径)x25（长）mm；法兰直径43.9mm配置：主机1台，传感器2支，U盘1个，USB连接线1条，电源适配器1个可选：第三方校正报告
上海图新电子有限公司
2021-08-23
激光频率锁相技术
主要应用于相干光通信通信和光电测量系统。
电子科技大学
2021-04-10
FAM激光粒度仪
FAM激光粒度仪工作是根据MIE 光散射原理。当激光照到测量区中的颗粒时便会产生光的散射现象，散射光的强度和空间分布与颗粒的直径和浓度有关，用环形光电接收器检测散射光的分布，然后将信号输入计算机，根据事先编好的程序，可以得到被测颗粒的尺寸分布、各种平均径等。 本校生产激光粒度仪已有20多年的历史，产品遍布全国各地。 主要技术指标 可测粒径范围：0.5～1000微米 测量对象：粉体、雾滴及其他颗粒 测量项目：粒径分布、各种平均径
上海理工大学
2021-04-11
激光导引AGV系统
可以量产/n该项目开发的地面系统软件，可实现地图构建、任务下发、路径规划、多AGV调度管理、实时监控、车辆仿真等功能，可与WCS或MES系统进行集成；该项目采用两阶段的调度策略对多AGV系统进行路径规划，解决了多AGV系统任务调度问题。。AGV主要技术指标：1、AGV运行速度：负载最大:50m/min,空载最大:100m/min； 2、定位精度：±5mm ；3、引导方式：激光和惯导混合引导； 4、驱动方式：双轮差速/单舵轮/麦克拉姆轮； 5、移载机构：背负式（可安装各种工作机构）/叉车式； 6、防碰
湖北工业大学
2021-01-12
激光跟踪测量系统
成果与项目的背景及主要用途： 激光跟踪测量系统是近些年来迅速发展并得到广泛应用的高精度、便携式三坐标测量机。这种测量系统的主要特点是测量范围大，通常为数十米甚至上百米。在全量程内的测量精度可以保持在微米级。整个系统的典型重量为20kg左右，非常便携。由于可以和多种形式的合作目标（也叫目标镜或目标测头）配合使用，因此不仅能对点、线、面等简单的几何特征进行测量，而且能够对内部特征、隐藏特征或曲面等复杂特征进行快速、高精度的测量。
天津大学
2021-04-14
工业激光器
成果创新点 光栅尺寸在国际上居于领先地位，最大达到了 1400mm， 远超对手的 940mm；研制了一系列国内首台(套)具有自主知 识产权的米量级光栅研制工艺关键设备；在国际上首创了 曝光拼接方法，实现了利用小口径曝光系统，制作出了远 大于曝光系统口径的光栅；掌握了脉冲压缩光栅设计、工 艺容差分析和工艺过程控制技术，通过对曝光监测、显影 监测和刻蚀监测来保证光栅制作工艺的稳定性，保证了光
中国科学技术大学
2021-04-14
激光投影机
产品详细介绍
型号：ZHJ-J126805
基本规格：显示芯片尺寸0.65 "(16:9）
显示方式：DLP™芯片x1, DLP™投影系统
分辨率：1280x800
亮度：3000流明（3500流明）
对比度：10000:1
均匀性：>90%
光源：激光+荧光粉系统
光源寿命：高亮度下: 20,000小时 /节能模式下: 25,000小时
投射比：0.25：1
对焦范围：手动 60“--150”
梯形调整：一维,垂直方向 +/- 30度
最大功耗：460W
待机功耗：<0.5W
北京中航健科技有限公司
2021-08-23
激光投影机
产品详细介绍
型号：ZHJ-J386803
显示芯片：DMD,WXGA,0.65"
分辨率：1280x800
亮度：3600 ANSI lumens
对比度：12000:1
显示色彩：30 Bits (1,037,000,000 colors)
屏幕宽高比：16:10
投射比：0.24
图像尺寸:80" ~150"
变焦倍率：fixed
光源类型:LD module
光源寿命：20000Hrs
北京中航健科技有限公司
2021-08-23
激光投影机
产品详细介绍
型号： ZHJ-J386802
显示芯片：DMD,1080P,0.65"
分辨率：1920x1080
亮度：3600 ANSI lumens
对比度：12000:1
显示色彩：30 Bits (1,037,000,000 colors)
屏幕宽高比：16:9
投射比：0.233
图像尺寸:80" ~150"
变焦倍率：fixed
光源类型:LD module
光源寿命：20000Hrs
北京中航健科技有限公司
2021-08-23