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椭偏仪测量系统的随机误差评估方法
本发明公开了一种评估椭偏仪测量系统的随机误差的方法。该方法首先建立椭偏仪测量系统的系统模型和系统传递函数，然后通过分析椭偏仪测量系统的随机噪声的来源及特点，建立适用于具体配置类型椭偏仪测量系统的随机噪声模型，最后根据传递函数和随机噪声模型，推导随机噪声的传递模型，从而计算评估系统的随机误差。评估仪器随机误差的一般方法是进行多次测量，然后根据多次测量结果的分布情况评估测量系统的随机误差，本发明方法通过建立随机噪声模型和计算随机噪声传递特性，可以在一次测量中评估椭偏仪测量系统的随机误差。适用于现有多种配
华中科技大学
2021-04-14
一种用于浸没式光刻的浸液温控系统
本发明公开了一种用于浸没式光刻的浸液温控系统，通过其获得具有稳定温度的浸液，以用于浸没式光刻工艺中，其特征在于，该温控系统包括：用于浸液流动的浸液管路，待温控的浸液通过管路进口进入该浸液管路，温控后的浸液通过该浸液管路出口输出；用于对所述浸液进行冷却的工艺冷却液回路，工艺冷却液在该回路中循环流动；以及热交换器（6），所述浸液管路和工艺冷却液回路同时流经该热交换（6），利用该热交换器（6）完成工艺冷却液和浸液的热交换，获得具有稳定温度的浸液，实现对浸液的温度控制。本发明的装置采用内部回流结构与热交换器
华中科技大学
2021-04-14
旋转器件型光谱椭偏仪系统参数校准方法
本发明公开了一种用于旋转器件型光谱椭偏仪系统参数的校准方法，该方法可以在一次测量中获取旋转器件型光谱椭偏仪中全光谱范围的系统参数，其方法是将任意厚度的标准样件作为待测样件，使用待校准光谱椭偏仪进行测量，对测量获得的光强谐波信号进行傅里叶分析，通过傅里叶系数序列计算获取第一个波长点的系统参数，以其作为初值，采用非线性回归算法，通过理论光谱拟合测量光谱，获得第一个波长点的系统参数。并依次以校准获得的第 i 个波长点的系统参数作为初值，拟合获得第 i+1 个波长点的系统参数，进而获得全光谱范围的系统参数。
华中科技大学
2021-04-14
一种电机驱动控制系统及其控制方法
本发明公开了一种电机驱动控制系统，该系统包括直流-直流变 换器控制部以及逆变器控制部，逆变器控制部包括顺序相连的速度控 制器、电流控制器以及逆变器 PWM，逆变器控制部还包括开关频率计 算模块，开关频率计算模块计算出开关频率信息传输于逆变器 PWM， 逆变器 PWM 输出 PWM 信号用于控制逆变器，直流-直流变换器部包 括顺序相连的直流电压计算模块及直流电压控制器。按照本发明实现 的电机驱动控制系统，低速下开关损耗为传统系统的 1/4，而系统的其 他功率损耗基本维持不变，相加之后，系统总损耗能减小
华中科技大学
2021-04-14
测量芯片与基板相对倾角测量方法及系统
本发明公开了一种测量平面角度方法、芯片与基板相对倾角测量方法及系统，芯片和基板相对倾角的测量方法包括步骤 S21 采用标定的方式获得第一基准平面与第二基准平面之间的角度误差；S22 根据测量平面角度的方法并结合第一高度传感器测得的高度距离获得芯片与第一基准平面的第一倾角，并根据测量平面角度的方法并结合第二高度传感器测得的高度距离获得基板与第二基准平面的第二倾角；S23 将第二倾角、第一倾角和角度误差做向量减法运算获得芯片与基板之间的相对倾角。本发明利用高度传感器测量多点高度测量倾角，进而利用倾角标定
华中科技大学
2021-04-14
面向智能制造的衣物在线编辑与虚拟试衣系统
实时衣物仿真和在线衣物编辑技术是服装制造行业、电商零售行业、计算机游戏、虚拟现实等众多高新技术产业和新兴产业发展所需的关键共性技术。当前国内外的虚拟试衣技术有两种主流技术路线：第一种是传统的基于物理仿真的虚拟试衣技术，具有真实性强、可用于服装设计等特点，但基于物理仿真的虚拟试衣技术的主要缺点是速度慢。另一种技术路线是基于表面形变的虚拟试衣技术，具有速度快的优势，但缺点是真实性差，不适合“量体购衣”和“量体裁衣”。
南京大学
2021-04-14
基于矢量传感器的相关智能系统的开发
项目研究目的和意义声学“麦克风阵列”又称 “声阵列”、“声学相机”、“声像仪”，是通过将多个麦克风按一定的方式排布成阵列结构，以实现对声音的三维定位和声场成像。本项目革命性地将核心元件从传统的标量麦克风（无指向性）升级到矢量麦克风（有指向性），研制新一代的“矢量麦克风阵列”或称“矢量声学相机”，赋予声学探测更高的检测自由度、灵敏度和更小的尺寸，实现高精度
南京大学
2021-04-14
一种基于BS的数据传输系统
本新技术成果提供了一种基于B/S的数据传输系统，包括数据分析系统和数据管理系统，所述数据分析系统将需要调用的函数和参数通过HTTP请求传输到数据管理系统，数据管理系统根据接收的函数和参数调用相应的数据，并运行函数，将执行函数得到的数据返回到数据分析系统。本技术基于B/S的数据传输系统，减少了数据的传输量和数据传输的次数，从而提高了数据传输率。
西南交通大学
2016-06-27
微创外科手术机器人系统“妙手S”
2014年3月，天津大学自主研发的微创外科手术机器人系统“妙手S”在中南大学湘雅三医院成功为三位患者进行了胃穿孔修补术和阑尾切除术，标志着该研究成果正式进入临床试验阶段。 “妙手S”手术机器人突破了人手的极限，机械手臂可以360度自由旋转、摆动，手术操作更为精细、准确。进入人体内部的探视镜头突破了人眼的极限，可以将手术视野放大数倍甚至数十倍，先进的三维成像技术使手术定位更为精确。机器手臂的虚拟力触觉反馈能力能够将手术过程中患者的触觉传递给操作医生，随时调整、制定精确的手术方案。医生只
天津大学
2021-04-14
交通车辆远程状态监测智能诊断系统
面向轨道交通运输系统安全运行监控需求，提出和设计了测控管一体化解决方案，开发了一套运行状态远程监测与故障诊断系统。可对在线设备记录数据和系统运行状态信息进行监测和实时远程无线传输，并基于专家系统对设备记录数据和运行状态信息进行实时故障分析与诊断，此系统非常适用于交通车辆运行的监控等。 创新要点： 1.依托便携式车载数据分析装置、多网融合无线车-地通信系统以及地面智能诊断预警平台，进行交通车辆运行状态和设备记录数据远程采集和无线传输、故障分析诊断，诊断信息和故障解决方法可
河海大学
2021-04-14