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一种铌酸锂纳米器件的刻蚀方法
本发明属于光电器件制备技术领域,具体为一种铌酸锂材料的刻蚀方法。本发明方法包括:在铌酸锂表面制备金属钝化层,用来提高纳米图形的保形性以及侧壁刻蚀倾斜角;沉积硬掩膜,并采用微电子光刻技术进行图形化处理;在待刻蚀的铌酸锂区域沉积活性金属薄膜,以提高刻蚀深度;将覆盖有活性金属层的铌酸锂晶体在还原气氛中进行退火;然后采用相应的酸溶液和碱溶液去掉铌酸锂表面的金属及其与铌酸锂的反应物,得到具有一定刻蚀深度的铌酸锂纳米图形。所制备的大规模铌酸锂纳米器件阵列尺寸可控,保形性和重复性好,侧壁倾斜角大于80°,图形凸块表面光滑。铌酸锂纳米器件制备步骤简单,难度低,可降低大规模生产成本。
复旦大学 2021-01-12
广西壮族自治区科技厅关于开展2023年度广西科技智库申报工作的通知
为加强和规范广西科技智库建设,提升科技创新决策咨询水平和能力,根据中共中央宣传部印发的《关于深入推进国家高端智库建设试点工作的意见(2020—2022)》文件精神和自治区关于加快建设新型智库的部署要求,按照《广西壮族自治区科技智库管理办法(修订)》(桂科政字〔2022〕40号)的有关规定,现组织开展2023年度广西科技智库申报工作,有关事项通知如下。
广西壮族自治区科学技术厅 2023-08-02
苏州中瑞智创三维科技股份有限公司
中瑞科技(ZRapid Tech)是专业致力于工业级3D打印设备、3D打印软件、3D打印材料的研发、生产、销售和技术服务为一体的的国家高新技术企业,中国领先的增材制造技术全系列解决方案提供商。 公司拥有7500㎡综合办公中心、试验研发中心和生产制造中心。公司由周宏志博士及国内外拥有先进工作经验的博士团队创立,核心技术人员具有18年3D打印研究工作经验,拥有全套自主研发的3D打印数据处理软件及3D打印设备控制系统。拥有完全自主知识产权的全系列工业级3D打印机产品链:SLA光固化3D打印机 SLM金属烧结3D打印机 SLS粉末烧结3D打印机 AMC陶瓷3D打印机 打印材料涵盖树脂、金属、尼龙、陶瓷、覆膜砂等种类。中瑞科技现为江苏省快速制造3D打印工程技术研究中心支撑单位,立足国际增材制造技术前沿。以海内外市场需求为导向,推动中国增材制造产业化发展。
苏州中瑞智创三维科技股份有限公司 2021-12-07
教创赛专家报告荟萃⑮ | 东北大学党委常委、副校长王兴伟:教学智思体赋能的“学、教、研”多场景数智教育平台建设与实践
东北大学作为中国高等教育的重要基地,始终致力于面向国家战略与产业发展需求培养高水平创新人才。
高等教育博览会 2025-09-28
广州翰智软件有限公司
广州翰智软件有限公司是业内领先的数字化综合服务商,专注于IT咨询与服务,提供智能数字化的软件产品、解决方案和专业服务。公司总部设在广州,分别在广州、深圳、东莞、中山、佛山等多个城市设立区域子公司,翰智集团成员企业包括广州翰智软件有限公司、广州市朗恒信息科技有限公司、广东凯联网络科技有限公司、深圳翰智软件有限公司、佛山市达创信息科技有限公司、中山市博达软件有限公司、东莞翰智软件有限公司,累计服务客户超过上万家。 翰智在数字化领域积极探索创新应用,基于RPA、AI、大数据等创新应用技术,目前在自有产品体系研发方面累计开发成果达100多项。公司以创造客户价值为导向,依托于多年以来丰富的信息化建设经验及行业专业优势,联合阿里云、用友、UiPath、中国联通、致远等战略合作伙伴,为客户提供智慧财税、业财税共享、RPA智能机器人、智能制造、协同办公、数字营销、人力共享、智能数据分析、智慧教育等一体化解决方案。 翰智坚持 “以专业服务为本,为客户创造价值”的服务理念,目前集团人员规模900多人,汇集了一批专业的实施、开发、运维服务团队,拥有一支懂业务的复合型团队,团队成员具有资深的从业经验,其中从业经验达5-10年的占35%,10年以上占25%,通过专业服务水平赋能企业转型升级,实现价值共赢。
广州翰智软件有限公司 2021-02-01
天智中考实验操作考评系统
广东天智实业有限公司 2021-08-23
强智智慧教室解决方案
以学生发展为中心,以“互联互通、资源共享、直播录播”的“无界教学空间”为核心理念,打破教务、学工、一卡通与智慧教室的信息孤岛,将教学资源、教学服务、教学数据融为一体,为高校提供智慧教学、在线教学、智能管控、数据矩阵等一体化功能,打造智慧教学生态环境。
湖南强智科技发展有限公司 2021-02-01
广东天智实业有限公司
广东天智实业有限公司成立于1995年,是初高中理化生实验室建设及理化生实验操作考评系统综合方案供应商,专业为初高中学校和机构的理化生实验室建设及实验操作考评提供综合解决方案服务;是中国教育装备行业协会理事单位、先进会员单位,国家级高新技术企业,广东省科技创新企业。 顺应国家教育改革发展及初中理化生实验操作纳入中考学业水平考试的政策要求,天智结合25年实验室建设经验,已自主研发出中考实验操作考评系统,系统相关软件和硬件均获得多项国家专利,为中考实验操作考试及理化生实验教学需求提供综合解决方案。
广东天智实业有限公司 2021-01-15
合肥智测电子有限公司
合肥智测电子有限公司,成立于2003年,是高新技术企业,省级“专精特新”企业。公司位于合肥市国家级高新技术产业开发区科技实业园,拥有自主产权的科研、办公、生产场地5000平方米。 公司专业致力于高精度电信号检测、高精度温度检测(包括铂电阻、热敏电阻、热电偶)、高稳态温度场发生(包含电加热、压缩机制冷、半导体制冷技术)和温控技术,研发生产精密计量校验仪器设备、检测仪器、传感器、变送器、温场、热交换设备等。 产品和服务 具有温度传感器、变送器、温度检测仪器、温度校准设备装置等精密温度测量和控制完整的产品线。 公司具有一定的产品定制、产品开发能力并服务于用户。
合肥智测电子有限公司 2024-03-06
“智云枢”智慧教学云平台
“智云枢”智慧教学云平台是根据院校需求的理解,结合新一代信息技术,研发出一系列适合院校人才培养的平台和产品,对于改善实践教学条件,提升人才培养效率,改善教学管理水平具有重大价值。 “智云枢”智慧教学云平台是将商业项目和企业项目的运行环境,研发为适用于教学、实验、实训等教学活动,涉及课程资源、案例资源、企业运行环境和实验室资源等。通过教材中心子系统、课程中心子系统、课堂中心子系统和教学服务中心子系统,实现企业教学资源、企业真实环境和项目团队服务的可持续交付,并为高校提供教材管理、在线备课、在线课堂、在线作业、在线学习、在线实验、在线实训系统等七大子系统以解决教学、课后作业、课后学习、实验、课设、实训等关键教学环节,补充实训中的真实企业环境,提供创新创业引导。
北京中软国际教育科技股份有限公司 2022-07-01
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