一种可溯源白光干涉原子力探针自动定位工件方法
本发明公开了一种可溯源白光干涉原子力探针自动定位工件方 法,该方法包括如下步骤:在纳米级位移平台运动之前记录下激光干 涉位移计量系统的初始位移;接着其在垂直方向上快速产生一个适量 的位移,在位移发生后通过零级条纹的移动量是否在阈值范围内来判 断原子力探针是否定位到工件,而如果纳米级垂直位移平台在到达极 限的位移运动时还未定位到工件,记录下其最终位置,并将纳米级垂 直位移平台复位,重复上述步骤,直至定位到工件。按照本发明设定 的自动定位的方法,不受原子力探针与工件之间的距离限制,同时在定位过程中对位移进行计量,可实现可溯源,而采用零级条纹的移动 量来判断探针是否定位到工件具有定位快速和高精度的显著效果。
华中科技大学
2021-04-11