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加工第三代半导体晶片光电化学机械抛光技术
第三代半导体氮化镓和碳化硅因其禁带宽、稳定性好等优点,已广泛应用于电子和光电子等领域。各种氮化镓和碳化硅基器件是5G技术中的关键器件。将半导体晶片制成器件,其中的一个关键加工步骤是晶片表面的抛光。然而,氮化镓和碳化硅的化学性质极其惰性,半导体工业目前常用的化学机械抛光方法无法对其实现高效加工。对此,我们从原理上创新发展了一种光电化学机械抛光技术,不仅可快速加工各种化学惰性半导体晶片(如:加工氮化镓的材料去除速率可达1.2 μm/h,比目前的化学机械抛光的高约10倍),而且可加工出原子台阶结构的平滑表面。设备简单,技术具有完全的自主知识产权。
厦门大学 2021-04-10
Si基微机械悬臂梁耦合间接加热式毫米波信号检测器
本发明的Si基微机械悬臂梁耦合间接加热式毫米波信号检测器,结构包括悬臂梁耦合结构、功率合成/分配器、间接加热式微波功率传感器和开关。悬臂梁耦合结构包括两组悬臂梁,每组悬臂梁由两个对称的悬臂梁构成,用于耦合部分待测信号,两个悬臂梁之间CPW传输线的电长度在所测信号频率范围内的中心频率35GHz处为λ/4。功率通过输入端口对应的CPW信号线终端的间接加热式微波功率传感器进行检测;频率检测通过测量两路在中心频率处相位差为90度的耦合信号的合成功率实现;相位检测通过将两路在中心频率处相位差为90度的耦合信号
东南大学 2021-04-14
Si基微机械悬臂梁耦合直接加热式毫米波信号检测器
本发明的Si基微机械悬臂梁耦合直接加热式毫米波信号检测器,结构由悬臂梁耦合结构、功率合成/分配器、直接加热式微波功率传感器和开关构成。悬臂梁耦合结构包括两组悬臂梁,每组悬臂梁由两个对称的悬臂梁构成,两个悬臂梁之间CPW传输线的电长度在所测信号频率范围内的中心频率35GHz处为λ/4。功率通过输入端口对应的CPW信号线终端的直接加热式微波功率传感器进行检测;频率检测通过利用直接加热式微波功率传感器测量两路在中心频率处相位差为90度的耦合信号的合成功率实现;相位检测通过将两路在中心频率处相位差为90度的
东南大学 2021-04-14
大象机器人—mycobot 协作机械臂—myCobot 280复合机器人套装—教学/视觉
myAGV 大象首款移动机器人,采用竞赛级麦克纳姆轮,全包裹金属车架;ROS开发平台内置两种slam算法,满足建图、导航方向的学习;提供丰富的扩展接口,可搭载my系列机械臂,实现移动抓取,完成更多应用。 产品特性 全向轮小车 竞赛级麦克纳姆轮,全包裹金属车架,分体式结构可拆卸。 SLAM激光雷达导航与建图 ROS开发平台内置gmapping、cartographer两种算法,激光雷达实时建图扫描,自动规划路径进行避障导航。 内置摄像头 500W高清摄像头可进行物体识别与精准定位。 额外拓展 车身双侧弹仓,扩展电池增加续航时间;扩展吸泵与机械臂搭配,实现更多应用。 载物机器人 不同尺寸物料盒任意选择,载物运输解放双手。 最小复合机器人 可搭载多达2台myCobot机械臂,实现移动抓取扩展工作空间,完成更多任务。 手眼标定 myCobot可进行摄像头精确定位与标定,并进行大范围内抓取 多种玩法 ps手柄控制支持多机协同,多台机器人实时运动。 丰富的教学系统 支持ROS仿真、moveIt全部开源;同时接口丰富:树莓派、arduino、python、C++ 联系我们:深圳市大象机器人科技有限公司 官网:https://www.elephantrobotics.com淘宝官方旗舰店:https://shop504055678.taobao.com/?spm=a1z10.1-c-s.0.0.2b0e58e7PY8UhV电话:+86 (0755) 8696 8565/+86 181 2384 1923地址:深圳市福田区华强北电子科技大厦D座智方舟国际智能硬件创新中心D403 D504 D505
深圳市大象机器人科技有限公司 2021-12-13
空间信息获取、处理、建模与服务的系统集成理论、关键 技术与应用
依托国家自然科学基金、国家高技术研究发展 863 计划、国防科工委重点课题以及 上海市地方政府重大工程等项目,研究了以全球定位系统(GPS)、遥感遥测技术(RS) 和地理信息系统(GIS)为核心的地球空间信息获取、处理、建模与服务的系统集成理 论、关键技术与应用,在现代测量数据处理、GPS 精密定轨与定位、高精度遥感影像匹 配与制导、空间数据不确定性与质量控制等取得了一系列创新成果。 
同济大学 2021-04-11
土壤与地下水环境调查/侦探、风险管控与修复技术体系
对土壤与地下水环境质量问题,提出了污染场地因次动态调查技术方法;形成了多手段的场地风险评估方法,建立了土壤及地下水环境风险制度管控、工程管控与物理、化学、生物系列修复技术体系。在全国各地已完成污染场地调查、评估、修复方案制定和环保验收等项目40余项、场地风险管控与修复工程10余项。为工业污染场地、污染农用地及污染矿山区域提供土壤及地下水环境质量调查、风险评估以及治理修复技术,为此类项目开展环境调查、评估、管控、修复、监理、验收等的方案制定及实施。
同济大学 2021-04-10
自适应带速与水果重量的易损水果分级执行装置与方法
本发明公开了一种自适应带速与水果重量的易损水果分级执行装置与方法。包括易损水果输送模块、水果称重模块、输送带速度监测模块、PLC控制模块,输送模块用于传送待分级水果,水果称重模块获得待分级水果的重量,输送带速度实时监测模块在线监测输送带的速度,PLC控制模块根据监测到的水果重量与输送带速度得到分级执行机构最优的转动角度,并控制伺服电机按一定的转速带动水果分级执行机构转动对应的角度,准确的完成易损水果的分级。本发明利用实时监测到的带速和水果重量信息自动调整分级执行机构转动的角度,适用于不同带速和不同质量条件下易损水果的准确分级。
浙江大学 2021-04-13
水产养殖动物重要细菌病诊断与免疫防控技术研究与应用
该成果 2011 年、 2013 年先后获连云港市科学技术进步二等奖、一等奖。项目实施的核心技术为水产养殖动物细菌病诊断技术与免疫技术,形成了较为完善的水产养殖动物疾病诊断和防控的技术体系。 包括(1) 环介导恒温扩增技术(LAMP),(2) 黄芪佐剂水剂型灭活疫苗及卵黄抗体疫苗。
扬州大学 2021-04-14
专家报告荟萃⑳ | 陕西师范大学副校长陈新兵:师范大学与中小学校一体化协同实践育人的探索
陕西师范大学前身是1944年成立的陕西省立师范专科学校,1978年成为教育部直属师范大学,2005年入选全国“211工程”建设高校,2017年入选国家“双一流”建设高校,八十年来为国家培养了大批卓越教师和拔尖创新人才。“十四五”以来,确立“两条主线、一个根本、一个关键”的发展思路,朝着建设中国特色、世界一流师范大学的目标加速迈进,人才培养质量不断提升。
中国高等教育博览会 2025-01-22
一种用于点光源配光的自由曲面光学元件的设计方法
本发明公开了一种用于点光源配光的自由曲面光学元件的设计方法。属于非成像光学技术领域。本发明根据设计要求设置自由曲面光学元件的具体结构,根据折射定律和能量守恒定率在计算机的辅助下,设计出满足预定照明要求的自由曲面,使光源的出射光经该自由曲面偏折后在目标照明区域产生预定的照明光斑,如带有“ZJU”字样的圆形照明光斑和均匀的矩形照明光斑。该自由曲面光学元件的某一表面为自由曲面,该自由曲面通过曲面拟合离散数据点得到。本发明设计效率高,能实现复杂照明,能获得连续的自由曲面,实现了曲面的可加工。折射型和反射型自由曲面光学元件均可以用光学树脂等材料借助注塑成型技术来实现。
浙江大学 2021-04-11
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