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一种微机电系统的圆片级真空封装方法
一种微机电系统的圆片级真空封装方法,属于微机电系统的封装方法,解决现有封装方法存在的问题,使得微型真空腔长时间保持真空,满足十年以上使用寿命的要求。本发明包括:刻蚀步骤:在盖板圆片上对应硅基片 MEMS 器件的位置刻蚀相应空间尺寸的凹坑,再环绕凹坑刻蚀环形凹槽;吸气剂淀积步骤:在所述凹坑和凹槽内淀积吸气剂薄膜;键合步骤:在真空环境下将盖板圆片和硅基片紧密键合。本发明解决了现有封装方法存在的真空保持时间短、密封质量低、可靠性差、成本高的问题,可以长时间保持微型腔体内的真空度,极大的推动圆片级 MEMS
华中科技大学 2021-04-14
一种基于虚拟化技术的数控系统及方法
本发明公开了一种数控系统,包括设置在本地的数控装置以及设置在远程的服务端,其与本地的数控装置网络互连,用于处理非实时性任务,包括 G 代码编程、译码、加工仿真,同时可实现加值功能;其中,所述服务端与数控装置通过安装在所述数控装置上的客户端实现互连,该客户端运行在数控装置系统上,其通过利用虚拟技术在数控装置的人交互设备上对服务器进行虚拟操作,实现在本地数控装置上对服务端的操作控制,进而两者完成协调配合实现数控加工控制。本发明还公开了一种针对该系统的控制方法。本发明可实现整个数控系统功能的多样化、弹性化
华中科技大学 2021-04-14
一种目标的数字化模型生成与驱动技术
1.痛点问题 本项预期成果是解决复杂场景中目标三维数据重建、驱动的关键技术。 针对实际应用中复杂运动场景,例如刚性运动的交通工具,变形移动行人等,传统的运动结构恢复方法在进行场景深度求解时无法确定每个单元结构的相对尺度,导致无法对复杂运动场景进行重建。在现有的深度估计、语义分割、位姿估计等相关技术,存在识别精度低、提取不到关键信息、应用场景单一等问题,无法满足大尺度场景应用的需求。 2.解决方案 本项目成果提出了一套面向目标、人体深度数据重建技术,有效实现对复杂运动场景下人、物的深度重建与驱动,有效解决现实场景目标的数字化模型生成与虚拟场景下的驱动映射问题。提出多模态采集、时空复用编码摄像方法,获取大景深、高时空分辨、丰富的精确场景视觉信息,基于超像素关系分析的深度重建方法,包括目标超像素分割,图像帧匹配,运动关系判定,通过时序传播与概率模型更新实现实时深度重建,提高最终三维重建模型的稠密度、鲁棒性、一致性和准确度。构建了基于深度卷积神经网络的目标实例检测与位姿估计框架,从目标对象观测图片提取其分割掩码并不断迭代更新,输入深度卷积神经网络进而得到目标6D位姿估计并进行迭代改进,从而实现目标在动态复杂场景下的位姿还原,克服了在光照、姿态变化、遮挡等不良因素环境下的目标位姿不准确问题,确保了目标6D位姿估计的鲁棒性与准确性。 合作需求 寻求在元宇宙、数字城市、自动驾驶、AR/VR、机器人、制造业等领域有相关技术开发、市场推广经验,能推广本技术落地的高科技企业,可以进行深度合作。
清华大学 2022-07-14
一种黄曲霉毒素的流态化连续式等离子体降解装置
本实用新型提供了一种黄曲霉毒素的流态化连续式等离子体降解装置,所述黄曲霉毒素的流态化连续式等离子体降解装置设有等离子发射器、等离子体发生器、传送带装置、鼓风机及控制面板。本实用新型提供了一种黄曲霉毒素的流态化连续式等离子体降解装置,主要用于粮食表面的黄曲霉毒素的降解,物料在处理过程中处于流态化,保证每颗粮食都能接触到高能粒子和活性自由基,因此可以快速连续化地降解每粒粮食表面的黄曲霉毒素。该装置降解过程低温、无溶剂残留,无环境污染,且能保护粮食中的营养成分不被破坏。
青岛农业大学 2021-04-11
树状两亲体结构化高效水处理剂
水中微量痕量污染物的清除仍是科技界的严重挑战技术。微量污染物的累积作用和毒害作用正在引起人们的重视。当前缺乏的是低成本、低投入、高效和易推广的技术。常规吸附剂如活性炭虽然易从水体分离,但由于表面缺乏精细电子和拓扑结构,难以捕捉微量痕量污染物。本项目致力于开发一种表面精细结构化的、能大规模生产的高效水处理剂。最近我们发现用树状两亲体可以调控浓乳液聚合,提供了一种直接大规模获得表面结构化材料的方法。由于树状两亲体不仅能在界面组装,自身还能提供各种期望的电子环境和拓扑环境,从而高效地与各种客体分子互补,使捕捉微量客体分子成为可能。另一方面,随着大量树状体被报道,有数种已经商业化,由此衍生的树状两亲体容易实现规模化生产。理论上讲,各种树状两亲体可同时参与稳定浓乳液,形成类似斑豹的表面结构,这进一步为同时清除广谱微量水污染物提供了可能。初步研究表明,这类吸附剂能创纪录地将水中典型致癌芳烃降低到十亿分之一以下;典型有机离子的浓度降低到千万分之一以下。该材料不会向水中带来任何新污染物,能保证优质饮用水的获得。
同济大学 2021-04-11
一种基于电机电流的铣削刀具碰撞快速辨识方法
本发明公开了一种基于电机电流的铣削刀具碰撞快速辨识方法, 该方法包括如下步骤:利用刀具进行试切,监测电机电流信号,提取 表征刀具状态的电流特征量 IRMS 值;对获得的 IRMS 值进行平滑处 理,以去除干扰信号;然后根据平滑处理后的 IRMS 值标定出各工况 下的幅值、斜率;利用刀具进行实际切削,实时获取刀具在实际切削 加工过程中的经平滑处理后的 IRMS 的实测值 A 和波动周期内的最大 斜率&n
华中科技大学 2021-04-14
一种微机电系统的圆片级真空封装工艺
一种微机电系统的圆片级真空封装工艺,属于微机电系统的封装方法,解决现有基于薄膜淀积真空封装工艺所存在的淀积薄膜较薄、腔体小,容易损坏,以及封装器件存在真空泄露、使用寿命降低的问题。本发明顺序包括:淀积吸气剂步骤;淀积薄牺牲层步骤;淀积缓冲腔牺牲层步骤;淀积厚牺牲层步骤;制作封装盖步骤;刻蚀释放孔步骤;去除牺牲层步骤和密封步骤。本发明解决了现有封装方法存在的真空保持时间短,密封质量低,封装尺寸大,工艺与标准 IC 工艺不兼容,成本高的问题,从而保证最里面的腔体气压;同时成本少于基于圆片键合工艺的真空封
华中科技大学 2021-04-14
陕北矿区建设一流现代化矿井综合技术研究
“陕北矿区建设一流现代化矿井综合技术研究”项目受到陕西煤业化工集团有限责任公司的资助,通过了陕西省科技厅组织的验收,并获得陕西省科学技术二等奖。课题组成员围绕课题共在核心期刊以上刊物发表论文5篇。本研究成果得到实际运用,研究成果受到了同行的高度评价。
西安科技大学 2021-04-13
一种基于IGCT的模块化多电平换流阀技术
1. 痛点问题 由于绝缘栅双极型晶体管(IGBT)具有驱动功率小而且驱动电路简单、开关速度快并且损耗小、饱和压降低、耐压高、电流大等优点,在柔性直流电网中得到了广泛的应用,现有的MMC换流阀装备均是采用IGBT开关器件进行设计。事实上,IGBT于二十世纪八十年代初诞生,在九十年代得到飞速发展。然而传统的焊接式IGBT容量较小、可靠性较低且失效后呈断路特性,因此早期的IGBT主要应用于中低压领域,直至压接式IGBT诞生之后才开始在高压、大功率电力电子换流器当中得到应用。IGBT器件的容量从最早的600V/6A级别逐渐提升,迄今为止已经达到了4.5kV/3kA的水平。IGCT诞生于1996年,由于其核心GCT芯片是由晶闸管改进而来,因此天然具备晶闸管大容量、高可靠性的特点。IGCT器件在2000年便已经达到了4.5kV/4kA的水平,相比之下压接式IGBT直至2012年才达到相同的功率等级,随着六英寸IGCT器件在未来投入使用,IGCT在容量上仍将对IGBT保持较大优势。 另外,尽管IGBT优势突出,但是相比电流型器件,仍然存在通态压降大、可靠性低、制造成本高等问题,具有很多改进的空间。尤其是在海上风电柔性高压直流输电系统中,所使用的开关器件数量非常大,若能改进IGBT器件的特性,进一步提高效率和可靠性、减小成本,将会具有巨大的吸引力和应用前景。 2. 解决方案 模块化多电平变换器(MMC)的多电平调制大幅降低了功率器件开关频率,为集成门极换流晶闸管(IGCT)的应用带来了契机。相比IGBT,IGCT的通态压降和成本可降低达到1/3以上,并且IGCT具有非常强大的浪涌电流、短路失效和防爆能力,无需增加辅助电路便可实现冗余和防爆,确保柔直输电系统免维护的高可靠需求。该技术实现更高电压、更大功率、更高效率和可靠性的柔性直流输电系统具有重要意义和广阔的应用前景。
清华大学 2021-10-22
技术需求:机械制造自动化相关技术
机械制造自动化相关技术
日照市七星汽车部件有限公司 2021-08-24
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