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沟道的刻蚀方法、半导体器件及其制备方法与电子设备
本发明提供了一种沟道的刻蚀方法,提供一待刻蚀对象,对所述待刻蚀对象一次刻蚀后,交替进行表面处理‑二次刻蚀,直至刻蚀掉所有的鳍结构的牺牲层;其中,一次刻蚀用于刻蚀掉所述若干鳍结构中当前宽度最小的鳍结构的全部牺牲层以及其它宽度更宽的鳍结构的部分牺牲层;表面处理用于在待刻蚀对象的沟道层与剩余的牺牲层的暴露在外的表面形成保护层;所述二次刻蚀用于刻蚀掉当前宽度次之的鳍结构的全部的牺牲层,以及所述保护层。本发明在传统的刻蚀工艺中加入氧化步骤,既实现了对沟道层的保护,又实现了在不同沟道宽度的刻蚀中,减少沟道层的损失量。
复旦大学 2021-01-12
一种溶体磁纺丝装置及使用该装置制备微纳米纤维的方法
该发明公开了一种熔体磁纺丝装置及利用该装置制备微纳米纤维的方法,该装置包括可控制给料速率可加热的给料装置,纺丝喷头,喷头驱动机构和纺丝接收装置,接收装置为水平圆盘,与无刷电机联动,表面有多个竖直支柱,一个为永磁铁。该设备以磁场力代替电场力,整个过程无需高压电作用,有效降低生产成本和安全隐患,同时可批量连续生产微纳米纤维,且制得的纤维排布有序,产量高适合大规模生产,所得纤维有很好的应用前景
青岛大学 2021-04-13
一种生产非晶纳米晶软磁材料的冷却辊装置
本发明公开了一种生产非晶纳米晶软磁材料的冷却辊装置。它主要包括:辊基体、辊套、第一盖板、主轴和第二盖板,主轴上设有辊基体,辊基体外圆侧设有辊套,辊基体两侧分别设有两个盖板,并且通过辊套相连,两个盖板外周边设有与辊套相配合的凸环,辊基体外圆中心区域设有环形凸台,辊套内表面中心区域排布有螺旋形水槽,螺旋形水槽端面与辊基体的凸台外圆面贴合形成螺旋形冷却水流动通道,辊套内表面外侧与两个盖板以及辊基体外圆面共同围成左右两个对称的阶梯状环形等间距冷却水流动通道。本发明冷却辊的水道结构设置有助于实现辊套与非晶带材接触区域内的温度场分布均匀化,从而改善非晶宽带制品由于冷却不均匀而产生的一系列缺陷。
浙江大学 2021-04-11
高密度储氢材料及航天飞行器空中发电装置
氢因其具有高密度能量及高热效率、清洁等特性,成为未来有发展前景的新型能源之一。氢能是一种清洁燃料,其应用最关键的技术环节在于其储存。
北京理工大学 2021-02-01
专家报告荟萃⑰ | 中国农科院作物科学研究所重大平台中心副主任张丽娜:科学仪器应用验证评价的探索与实践
国家网络管理平台数据显示,全国高校和科研院所50万元(含)以上大型科学仪器中国产仪器占有率不足25%。
高等教育博览会 2025-07-01
天津市关于征集海洋领域先进科学技术成果的通知
为贯彻落实党的二十大精神,聚焦海洋强国战略,深入落实创新驱动发展战略,推动涉海先进适用科技成果转化应用,科技支撑我市海洋经济高质量发展,市科技局计划组织召开“天津市海洋领域先进科学技术成果对接会”,现面向社会公开征集海洋领域先进科学技术成果,现将有关事项通知如下。
社会发展与农村科技处 2023-08-04
变地隙自走式高效施药装置的研究与开发
重点开展篱架型作物变地隙底盘和施药设备,高效、低量、低污染施药技术,关键工作部件、篱架自适应控制技术、流失与飘失雾滴的回收利用技术等核心技术的创新研究,提高农药有效利用率和作业效率。 (1) 根据中国国情解决适应篱架型作物的变地隙底盘; (2) 适合宽窄行篱架型作物低量、低污染施药系统; (3) 篱架型作物不同生长阶段优化匹配专家决策系统; (4) 雾滴回收装置的宽度能够根据篱架作物在不同长度的位置上,通过隧道上安装的红外探头感应,自动调节隧道宽度,既达到回收雾滴的目的,又不伤害作物;同时能利用红外
扬州大学 2021-04-14
南水北调工程大型高效泵装置优化水力设计理论与应用
该成果于 2012 年获江苏省科技进步一等奖。本研究成果已在国家南水北调东线工程 48座大型泵站得到应用,经第三方机构检测,南水北调东线一期工程 15 座新建泵站设计扬程工况泵装置效率的平均值达到 77.4%,较采用传统设计理论设计的泵装置效率的整体水平提高了 7 个百分点,彻底改变了 21 世纪初我国大型泵站的泵装置效率在 70%上下徘徊不前的局面。南水北调宝应站现场运行测试表明,泵机组运行稳定,泵装置效率达到 82.8%,创我国泵站建设史上的最高记录。
扬州大学 2021-04-14
近场谐振与感应耦合协同式生物遥测装置无线充电系统
本实用新型涉及无线电能传输技术领域,具体涉及近场谐振与感应耦合协同式生物遥测装置无线充 电系统,包括充电系统发射单元和充电系统接收单元;充电系统发射单元包括电源模块,与电源模块依 次连接的功率振荡模块、功率控制电路、距离传感器和模式选择电路和信息解调模块,与功率振荡模块 依次连接的通信线圈、发射加密芯片和电磁发射线圈;充电系统接收单元包括依次连接的电磁接收线圈、 接收加密芯片、信息调制模块、电池信息检测模块、整流降压模块、带温度补偿的稳压模块和
武汉大学 2021-04-14
煤矿主井装卸载安全提升智能监测与控制装置
煤矿提升机箕斗卸煤不净的原因有:水煤、黏矸造成箕斗内滞卸载不完全;冬季严寒天气,箕斗内的水媒冻结造成滞煤,当箕斗定量装载在箕斗滞煤情况下再次装载后,其实际载荷超过额定负荷,远超过电机额定能力,会造成无法正常提升,若不及时排除,则易造成提升安全事故的发生。本成果设计了测量余煤卸载情况的监测系统,该系统将利用无线张力检测装置,实时检测提升机钢丝绳的张力,并通过无线发送装置发送到地面,之后,通过标度变换并计算出钢丝绳张力和载重量最终显示在液晶显示器上,当过有余煤未卸尽时,则报警,提醒及时清理箕斗余煤。该成果的发明,极大提高了矿井提升机的安全提升水平,促进了煤矿的安全高效生产。 该成果针对提升机提升过程中的过载情况进行研究,设计了基于无线通信的装卸载安全 提升智能监测与控制装置。主要技术性能指标如下: 1、能够实时测量钢丝绳张力,钢丝绳直径 22~36mm; 2、该系统能够测量装载重量为 0~20 吨。 3、系统采用无线数据传系统,工作频率为 2.4G,传输距离 200~2000m; 4、系统采用蓄电池供电,供电电压 12V,功率 0.7W。 5、能实时监测钢丝绳张力,并实时显示装载重量。
安徽理工大学 2021-04-13
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