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HMDS真空预处理烘箱
HMDS真空预处理烘箱产品用途:该产品主要用于半导体行业,HMDS预处理系统通过对烘箱HMDS预处理过程的工作温度、处理时间、处理时保持时间等参数可以在硅片、基片表面均匀涂布一层HMDS,降低了HMDS处理后的硅片接触角,降低了光刻胶的用量,提高光刻胶与硅片的黏附性。     一、产品规格: 型号:BD/HMDS-6090   内形尺寸:450×450×450     型号:BD/HMDS-6210   内形尺寸:560×640×600   二、 技术参数: 1、控温范围:RT+10~250℃  2、温度分辨率:0.1℃     3、温度波动度:±1℃ 4、达到真空度:小于133Pa 5、真空度:100Pa~100000Pa 6、定时范围:1~9999min 7、工作室材料:316L 8、样品架:2块、3块 9、真空泵:4L/S 10、电源电压:220V/50Hz、380V/50Hz三相五线制 11、总功率:3000W、4500W 三、产品特点: 1、外壳采用冷轧钢板制造,表面静电喷塑。内胆、样品机、连接管路均采用优质不锈钢316L材料制成;加热器均匀分布在内胆外壁四周,内胆内无任何电气配件及易燃易爆装置。钢化、防弹双层玻璃门观察工作室内物体一目了然。 2、箱门闭合松紧能调节,整体成型的硅橡胶门封圈,确保箱内高真空度。 3、HMDS气体密闭式自动吸取添加设计,真空箱密封性能佳,确保HMDS气体无外漏顾虑。 四、HMDS预处理系统操作流程: 1、首先确定烘箱工作温度; 2、预处理程序为:打开真空泵抽真空,待腔内真牢度达到某一高真空度后,开始充入氮气,充到达到某低真空度后,再次进行抽真空、充入氮气的过程,到达设定的充入氮气次数后,开始保持一段时间,使硅片充分受热,减少硅片表面的水分; 3、再次开始抽真空,充入HMDS气体,在到达设定时间后,停止充入HMDS药液,进入保持阶段,使硅片充分与HMDS反应; 4、当达到设定的保持时间后,再次开始抽真空。充入氮气,完成整个作业过程。 五、控制系统: 1、7.0英寸维纶彩色触摸屏,三菱PLC控制器; 2、富士微电脑双数显温度PID控制器,控温精确可靠; 六、保护系统: 1、漏电保护; 2、超温保护; 3、缺液保护;              七、设备使用条件: 1、环境温度:5℃~+28℃(24小时内平均温度≤28℃) 2、环境湿度:≤85%R.H 3、操作环境需要室内通风良好,机器放置前后左右各80公分不可放置东西; 八、HMDS真空预处理烘箱服务承诺: 保修十二个月,免费送货上门,在对该设备安装调试结束后,在用户现场对相关技术人员免费做相应的操作培训,人数不限。
北京中科博达仪器科技有限公司 2026-01-15
GEOSAR地面成像验证系统与卫星信号处理仿真系统(技术)
成果简介:GEOSAR卫星运行在高轨道,长合成孔径时间使得目标回波具有距离徙动量大、空变性剧烈的特点,因而成像处理难度大。同时电离层对信号传播的影响也是影响卫星成像性能的重要因素。 GEOSAR地面成像验证系统利用导航卫星作为照射源、在地面配置多通道接收机分别接收直达波和回波信号,其中直达波信号用于实现卫星与接收机间的时频同步和分析电离层的影响,回波信号可用于实现成像处理。通过研究此模式下回波信号特性和成像算法,因此利用该验证体制可实现对GEOSAR成像机理的等效地面成像验证;同时,
北京理工大学 2021-04-14
《科学技术活动违规行为调查处理规定》发布!3月20日起施行
这些违规科技活动将被严惩!
科技部 2026-02-11
基于超像素样本扩充的空谱全卷积高光谱图像分类方法
本成果提出的基于超像素样本扩充的空谱全卷积高光谱图像分类方法有效的利用高光谱图像的超像素分割结果指导伪样本扩充增加了训练集样本数量,解决了高光谱图像有标记样本的稀缺问题,同时空谱的全卷积分类网络也充分利用了多尺度的空间特征和光谱特征实现了较高的分类精度。 成果非涉密,专利申请已经提交。 实验采用反射光学系统成像光谱仪(ROSIS)传感器获取意大利北部帕维亚大学(Pavia  University)的高光谱图像数据。该数据集由 103 个光谱带组成,共 610×340 像素,光谱覆盖范围从 430nm 到 860nm,空间分辨率为 1.3m。该数据集一共含有 9 个类别的 42776个有标记样本,选取每类 30 个有标记样本作为训练集,其余作为测试集。 由下表可以看出,在每类选取 30 个样本的情况下,本 模 型 的 OA,AA,Kappa系 数 比 DFFN 模 型 高 出20.8%,17.4% 和 26.5%;比CNN 高 出 23.1%,18.8% 和29.2%。并且下表证明了使用了伪标签样本扩充的空谱全卷积网络的本方法在小样本情况下每个类的分类准确性均优于 DFFN 和 CNN,达到了较好的分类效果。 表 1 PaviaU 数据集上对比实验结果
西安电子科技大学 2023-03-03
改性沥青荧光显微形态结构图像源样本的制备方法
包括以下步骤:(1)加热改性沥青使之软化融熔,加热温度为 100~130℃;(2)将融熔的改性沥青在室温中自然稍冷却 5~10min;(3)将稍冷却后的改性沥青搅拌均匀并倒于圆柱形器皿中,沥青高于器皿口边缘处;(4)将装有沥青试样的圆柱形器皿水平放置于-25--30℃的环境中,放置时间 3-5h;(5)取出试样,观测试样表面是否平整;(6)将表面平整的试样器皿在室温中水平放置 2h,自然脱水后进行图片拍摄;将表面不平整的试样器皿用小刀将表面刮平,使之具有良好的平整度,放回-25--30℃的环境中继续
扬州大学 2021-04-14
泉州水处理、莆田水处理、厦门水处理
产品详细介绍   反渗透是一种以压力为推动力的膜分离过程。随着膜性能的提高,反渗透技术将发展成为进行分离、分级、提纯和富集的化工分离新技术。     反渗透技术的主要特点: 能耗低 结构紧凑 操作简单易维修 自动程度高 不污染环境     反渗透技术广泛应用于给水处理;城市自来水的净化;制取电力、医药、医疗和食品等行业的纯水、超纯水、注射用水和食用纯净水的制备;海水和苦咸水的淡化制取饮用水等。     反渗透系统由反渗透装置及其预处理和后处理三部分组成。反渗透系统的核心是反渗透装置,预处理是反渗透装置能否长期稳定运行的前提,后处理用以满足不同处理对象的最终产水水质指标
泉州市大华膜科技有限公司 2021-08-23
医学图像处理与三维重建系统
本项目将研制一套软硬件一体化的医学图像处理与三维重建系统产品,该产品由三大部分组成,包括: 高性能、大容量、适合处理医学图像的硬件平台; 针对医学图像处理裁剪后的专用Linux操作系统;综合医学图像处理与三维重建的医疗专业应用系统。 成果性能:三维重建速度快、重建的图像真实、精细,操作方便。 应用范围:CT、MRI等医学图像处理与三维重建虚拟手术
电子科技大学 2021-04-10
面向轨迹挖掘的数据预处理方法及系统
本发明提供了一种面向轨迹挖掘的数据预处理方法及系统,该方法包括:在原始数据库中提取离散的轨迹点,对轨迹点进行归类提取后形成若干个独立的轨迹段集合;对每一轨迹段集合中的轨迹点进行重复定位点检测,若判断该重复定位点为历史定位点,则删除;对每一轨迹段集合中的轨迹点进行定位异常点检测,若判断为定位异常点,则删除该轨迹点,得到若干条完整的轨迹;对所述完整的轨迹进行简化压缩,得到压缩轨迹;存储所述压缩轨迹;同时对系统运行状态进行监控,保证系统可以持续、稳定运行。本发明提供的方法通过对提取出的轨迹点进行重复定位点以及定位异常点清除,保证了轨迹数据的正确性和完整性,提高了轨迹数据挖掘的准确度。
中国农业大学 2021-04-11
面向轨迹挖掘的数据预处理方法及系统
本实用新型公开了一种苜蓿播种机用开沟器,主要由开沟装置、开沟器架、导肥装置和导种装置组成。开沟装置主要由侧翼铲、滑刀和扩沟板组成,旨在开出适宜苜蓿种子发芽的高质量种沟;导肥装置由导肥管和散肥器组成,用于将肥料导入种沟侧面;导种装置主要由导种管组成,旨在将苜蓿种子导入由开沟装置形成的种沟内。本实用新型能够满足苜蓿播种开沟的要求,可以开出高质量种沟,利于苜蓿种子出苗及第二年返青。本实用新型适用于大部分地区的苜蓿播种,特别是寒冷、干旱地区。
中国农业大学 2021-04-11
工业冷却循环水处理专家系统
1.  项目概述当前制定冷却循环水处理方案的主要依据是“挂片实验”或“动态模拟实验”,然后留出很大的保险空间,根据经验确定最终的药剂投加量。很多情况下也
南京工业大学 2021-04-14
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