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跨尺度微纳表面结构高精度测量关键技术及系统
本成果创新性发明了白光干涉原子力探针扫描跨尺度微纳表面结构高精度测量技术及系统。
本项目依托华中科技大学仪器学科在表面形貌与结构精密测量领域的传统特色优势和长期积累的科研基础，在国家重大科学仪器设备开发专项、国家自然科学基金仪器研制专项、国家863重点项目课题、国家自然科学基金面上项目等支持下，针对相关制造领域微米尺度、纳米尺度、跨尺度微纳表面结构精密测量问题开展了系列研究。本成果技术主要包括以下方面：
1）提出了白光干涉原子力探针扫描跨尺度微纳表面结构测量原理和方法，共光路融合白光显微干涉与原子力探针传感，突破跨尺度微纳传感瓶颈，解决大动态范围微纳结构测量难题，实现nm-μm-mm跨尺度微纳表面结构高效测量；
2）提出了白光干涉原子力探针扫描跨尺度测量的可溯源标定和坐标统一方法，突破了白光干涉与原子力探针跨尺度微纳传感的坐标统一瓶颈和漂移难题，实现了微纳表面结构跨尺度测量的可溯源和稳定高精度；
3）提出了白光干涉质量评价模型和三维图像噪声区域辨识与重建方法，及二维扫描工作台平面度误差阿贝补偿与二维运动同步计量方法，解决噪声问题与宏微驱动二维工作台运动误差对测量精度的影响问题，为跨尺度微纳表面结构高精度测量提供支撑。
图1 微纳结构多模式跨尺度测量仪器实物图
图2 白光干涉原子力探针扫描跨尺度微纳表面结构测量原理示意图
【技术优势】
本成果项目研制了具有我国自主知识产权的白光干涉原子力探针扫描测量仪等系列微纳表面结构测量仪器，并通过了国家计量院组织的仪器性能和软件的检定测试，纳米尺度原子力垂直测量范围超出国际商用仪器10倍以上，水平动态范围达国际领先水平。
【技术指标】
本成果项目提出了白光干涉原子力探针扫描跨尺度微纳表面结构测量原理和方法，建立跨尺度传感方法，实现nm-μm-mm跨尺度微纳表面结构高效测量。同时，发明的白光干涉原子力探针扫描测量方法与现有商用原子力显微镜相比，垂直测量范围提高10倍，分辨率优于0.01nm。
华中科技大学
2023-05-15
一种超疏水凹角 T 状微柱结构的制备方法
本发明公开了一种超疏水凹角 T 状微柱结构的制备方法，包括：(a)在基片的一个表面旋凃光刻胶，并执行显影操作得到第一圆孔阵列；(b)在基片含光刻胶表面依次沉积粘附层和种子层；(c)在种子层表面旋凃光刻胶，并执行显影操作得到第二圆孔阵列；(d)同时对第一圆孔阵列和第二圆孔阵列进行电镀填充，得到金属的 T 状微柱结构；(e)去除光刻胶及多余粘附层和种子层；(f)在 T 状微柱表面沉积一层保护层；(g)去除微柱 T 状结构的横状伸出部分并保留柱状结构和保护层，得到一种凹角 T 状微柱结构。按照本发明的制造
华中科技大学
2021-04-14
一种微纳深沟槽结构在线测量方法及装置
本发明公开了一种微纳深沟槽结构在线测量方法及装置。其方法是将线偏振红外光束投射到含有深沟槽结构的样件表面，对沟槽结构各界面反射光形成的干涉信号进行滤波等处理得到测量反射光谱；采用基于偏振的等效介质理论构建该深沟槽结构等效光学模型，计算其理论反射光谱；采用人工神经网络结合局部搜索算法的快速参数提取方法，通过理论反射光谱拟合测量反射光谱，快速提取沟槽的宽度和深度，实现深沟槽几何形貌参数的精确在线测量。装置包括红外光源，红外偏振片，干涉仪，平面反射镜和二个离轴抛物镜以及红外探测器。装置可实现场效应管和动态
华中科技大学
2021-04-14
听话的智慧球
底座尺寸400*300*70mm,模具一体成型，两端呈弧形，上翘47度，两面四角注塑有1.5mm脚垫，长度25*25mm，仪器整体高度300mm，电源出入AC220V，50HZ，输出DC8V,2A，电源总开关型号KCD1-105 耐压400V，内装一直泡沫球，直径20mm，管道直径32mm，探究小球为什么会空气从上管口被吸入，由此形成环流。
石家庄市艾迪科教设备有限公司
2021-08-23
电动三球仪
产品详细介绍电动三球仪
广州市展科教学仪器有限公司
2021-08-23
二连球
产品详细介绍
浙江义乌市教学仪器厂
2021-08-23
人体感应辉光球
φ200mm×300mm，管内稀薄气体放电。
宁波华茂文教股份有限公司
2021-08-23
28007三球仪
宁波华茂文教股份有限公司
2021-08-23
28007三球仪
宁波浪力仪器有限公司（余姚市朗海科教仪器厂）
2021-08-23
钢球冲击测试仪，落球冲击试验机
产品详细介绍钢球冲击测试仪，落球冲击试验机简介：
感谢您对硒铁“钢球冲击测试仪，落球冲击试验机”的关注，您的关注是我们前行的动力！欲了解落球冲击试验机的更详细资料请致电“硒铁仪器”.
落球冲击试验机用于塑胶、透明包装、PVC、陶瓷、压克力、玻璃纤维等材料的抗冲击试验。
落球冲击试验机主要技术参数:
钢球重量： 112g 198g 225g 357g 533g 1042g 2280g选择或指定
跌落高度： 20~2000mm
跌落高度标尺： 最小指示1cm
机台尺寸： W400 x D450 x H2200mm
机台重量： 50kg
电 源: 220V,5A
http://www.szxitie.com
http://www.xitie17.com
深圳硒铁试验仪器有限公司
2021-08-23