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一种多功能光纤微结构连续刻写装置及方法
本发明公开了一种多功能光纤微结构连续刻写装置及方法，该 装置包括，放纤模块，用于以由所刻写光纤微结构类型而确定的速度 放出光纤，光纤进入光纤清洗模块进行清洗后放出清洁光纤，清洁光 纤进入光纤调节模块，由光纤调节模块调整位于刻写区域的清洁光纤 的位置与倾斜角度，激光发生模块与光纤调节模块相对放置，激光发 生模块在光纤上刻写光纤微结构，通过改变光纤的速度和脉冲激光的 起止时间，实现在光纤上刻写不同的微结构，收纤模块用于收
华中科技大学
2021-04-14
一种纳米结构三维形貌测量方法及装置
本发明公开了一种纳米结构三维形貌测量方法及其装置，可以同时测量纳米结构线宽、深度、侧墙角、线缘粗糙度、线宽粗糙度等三维形貌参数的方法及装置。本发明方法步骤如下：将波长为紫外到近红外波段的光束经分光、起偏、前后相位补偿得到的椭圆偏振光投射到待测；采集待测结构表面反射零级衍射信号，计算得到纳米结构测量穆勒矩阵；将测量穆勒矩阵与理论穆勒矩阵进行匹配，提取得到待测纳米尺寸结构的三维形貌参数值。本发明所提供的纳米结构三维形貌参数测量装置，能为基于图形转移的批量制造方法如光刻和纳米压印等工艺中所涉及的一维和二维
华中科技大学
2021-04-14
具有层状孔结构的高通量、耐压超滤膜及其制备方法
研发阶段/n具有层状孔结构的高通量、耐压超滤膜，其特征在于：所述超滤膜的支撑层具有与超滤膜的膜面平行的大孔，这些大孔为多层结构；采用如下方法制备制备：①．用聚合物、磁性材料、添加剂和溶剂配制膜液；磁性材料与聚合物两者在膜液中总质量中的含量为８～５０％，磁性材料与磁性材料＋聚合物的质量比为３０～９９ｗｔ％；添加剂在膜液总质量中的含量为２～１５％；②．在制膜的蒸发与凝胶过程中施加磁力线方向与膜面平行的磁场，磁场强度为１００～１８０００高斯。具有层状孔结构的超滤膜不仅渗透通量高，且在加压运行过程中也不出现
湖北工业大学
2021-01-12
一种基于数字光处理构建三维结构的方法
本发明公开了一种基于数字光处理构建三维结构的方法，包括如下步骤：步骤(1)：将包含单体和光引发剂的光敏树脂前驱液置于平面模腔内；步骤(2)：使用DLP投影仪按预设二维图案对光敏树脂前驱液进行多次局部投影、曝光固化；得到非均质二维平面；步骤(3)：将固化得到的非均质二维平面浸泡于溶剂中溶胀，获得三维立体结构。本发明提出的方法简单、方便，对设备要求低，非常适用于制备聚合物精确三维结构。
浙江大学
2021-04-13
一种延性电路互联结构的制造装置、方法及产品
本发明属于延性电路制造领域，并公开了一种延性电路互联结 构的制造装置，包括注射器、高压发生器、金属收集板和振动发生器， 其中注射器中充有静电纺丝溶液并将静电纺丝溶液输送至金属喷头； 金属收集板承载有基板位于喷头的喷射下方，并通过与之相连的运动 平台一同沿着 X 轴或 Y 轴方向移动；振动发生器用于当金属收集板及 所承载的基板沿着 X 轴或 Y 轴方向平移的同时，使其沿着与平移方向 垂直的Y轴或X轴方向产生振动；高压发生器的正极与金属喷头相连， 其负极与金属收集板相连。本发明中还公开了相应的制备方法及其产 品。通过本发明，可生成具备高延展性、高精度级的二级波纹结构， 并尤其适用于延性电路互联结构的用途。
华中科技大学
2021-04-11
具有多层纳米结构的柔性铜基材料及其制备方法、应用
本发明提供一种具有多层纳米结构的柔性铜基材料，该材料包括柔性基体，所述柔性基体具有多层结构层，所述多层结构层包括：铜基金属层构成的第一结构层；位于铜基金属层两侧的第二结构层，所述第二结构层为铜多孔层；以及位于铜多孔层上的第三结构层，所述第三结构层为氧化物层。本发明通过控制基体材料，结合脱合金溶液和时间的控制，调控材料的结构，获得不同的纳米结构层，并保留部分原始基体层，从而在具备优异的柔韧性同时，多层纳米结构层提供优异的催化性能。
南京工业大学
2021-01-12
具有梯度浸润性孔道结构的纳米纤维膜及其制备方法
本发明属于空气净化领域，具体公开了一种具有梯度浸润性孔道结构的纳米纤维膜及其制备方法，向聚丙烯腈(PAN)纺丝溶液中掺杂疏水性二氧化钛(F‑TiO<subgt;2</subgt;)纳米颗粒，采用静电纺丝技术制备了疏水性复合纳米纤维膜，F‑TiO<subgt;2</subgt;纳米颗粒可在紫外光下发生响应产生活性自由基催化分解表面接枝的全氟链段，实现浸润性沿膜厚方向上的逐渐变化，构筑具有梯度浸润性孔道结构的纳米纤维膜。
南京工业大学
2021-01-12
一种在 SOI 硅片上制备微机械悬空结构的方法
本发明公开了一种在SOI硅片上制备微机械悬空结构的方法。对悬空结构及其固定结构采用不同的槽宽设计，其中，固定结构的槽宽明显大于悬空结构，宽槽底部经刻蚀首先到达或更加接近SiO2层，再通过各向同性干法刻蚀使窄槽底部相互连通并与窄槽下方的Si层分离，将窄槽间的梁释放，形成具有平整底面的悬空结构，同时去除固定结构与悬空结构连接区底部的Si以及固定结构与其它结构之间的区域底部的Si，使得固定结构与窄槽下方的Si层及其它结构隔离，从而使不同的固定结构间相互绝缘。本发明的方法简单有效，能广泛应用于MEMS悬空结构的加工。
华中科技大学
2021-04-14
硅通孔结构
本实用新型公开了一种硅通孔结构，其形成于硅片上，并包括掺杂粒子构成的导电区和绝缘区，绝缘区与所述导电区掺杂的粒子的极性相反，所述导电区表面覆盖有金属电极，所述硅片的表面除所述金属电极之外的区域覆盖有绝缘层。本实用新型硅通孔结构的优点在于：通过粒子掺杂方式形成硅通孔结构的导电区和绝缘区，导电区和绝缘区的基体都还是硅片本身，避免了目前硅通孔技术中金属和硅片热膨胀系数不同造成的热应力问题，能够提高器件的可靠性和寿命。
华中科技大学
2021-04-11
新型水下防爆结构
本实用新型公开了一种新型水下防爆结构，包括从上到下依次设置的柔性缓冲层、反射面板、消能 层，其中，柔性缓冲层包括弹性板和内嵌于弹性板中的第一波纹状钢板;反射面板由硬质材料制成;消 能层由装满细砂的封装壳构成，第二波纹状钢板嵌入细砂中。本实用新型装置适用于水下防爆，将反射 消能与变形消能巧妙的结合在一起，消能防爆效果大幅提高;采用泡沫，钢板，细砂等材料，价格便宜 且材料易得;利用水下爆炸的特性，采用
武汉大学
2021-04-14