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三维非硅微纳集成制造技术
项目成果/简介:随着支配半导体技术数十年的摩尔定律日益接近其发展极限,多种功能器件集成被认为是超越摩尔定律延续集成电路发展进程的重要途径之一,这就需要能够满足多种功能器件高密度集成的制造技术。多元兼容集成制造技术就是为此而开发的,该技术通过在更大范围内优选结构/功能材料组合,开发异质集成制造工艺,大大拓展了功能微器件创新设计和制造的腾挪空间。经过多年探索,目前已形成了涵盖金属、聚合物、陶瓷、复合材料的MEMS异质异构制造技术体系,并在多种类型功能器件研发中发挥了关键作用,初步展现了其基础性支撑作用,相关技术获得2016年度上海市技术发明一等奖。微系统集成发展趋势多元兼容集成制造技术 获奖情况上海市技术发明一等奖2016年团队获奖国家技术发明二等奖2008年上海市技术发明一等奖2007年超薄超快高热流密度微通道散热器上海交通大学团队在长期研究经验和技术积累基础上,创造性地提出了不同高热导率材料组合构造的复合结构微通道散热器设计方案,并基于多元兼容集成制造技术完成了多种尺寸样品研制,其中,热源面积与常用功率芯片尺度相当的超薄散热器冷却能力达到800W/cm2以上,在保留传统微通道散热器良好系统兼容性和适用性的基础上达到了相当高的散热能力水平,为解决高功率芯片系统超高热流密度散热问题提供了一个深具可行性的解决方案。高温薄膜温度传感器研究 发动机燃烧室等极端恶劣环境下(高温、强振动、强腐蚀等)的工作参数现场监测对传感器技术是严峻挑战,国内外研究广泛。交大团队基于特种材料微纳集成制造技术的长期积累,在高温绝缘薄膜材料、多层薄膜应力调控、曲面图形化和高温敏感介质等技术上取得了一定突破,成功开发了多种可与现场结构共型的高温薄膜传感器,具有体积小、环境扰动小、响应快、灵敏度高、可分布式安置等优点,该团队已经掌握了温度、应力/应变、热流等多种高温状态参数测量技术,适用温度在800-1300℃之间。薄膜绝缘电阻随温度的变化及测试结构高温薄膜温度传感器制造及曲面图形化技术薄膜温度传感器在发动机不同部位测温需求无线温度传感器测温系统高性能转接板基于转接板的多芯片封装是2.5D高密度集成最具可行性的方案之一。但是传统的硅转接板性价比不高,阻碍了广泛应用。上海交大团队基于非硅微加工技术的长期积累,突破了硅转接板绝缘层完整性和再分布层热隔离的难题,成功研制了漏电流极低的低成本高性能硅转接板。此外,还开发了复合材料非硅转接板,TCV陶瓷转接板,TGV玻璃转接板等各种三维封装基板,实验室能够针对不同类型器件三维高密度封装的具体要求,定制开发不同功能的专用转接板,为多功能、高密度、高功率、低成本封装提供个性化解决方案。TSV-3D 高密度封装概念图 金属-聚合物-纳米复合材料非硅基转接板实物图片知识产权类型:发明专利 、 软件著作权 、 集成电路布图设计技术先进程度:达到国内领先水平成果获得方式:独立研究获得政府支持情况:国家级
上海交通大学 2021-04-10
木薯非粮燃料乙醇成套技术及工程应用
木薯原料不与粮争地,经济上可行,可以大规模种植。国家明确鼓励以薯类作物、甜高粱茎秆及纤维素等非粮生物质为原料的燃料乙醇生产。 项目组根据国家生物质能源产业发展要求,重点突破木薯非粮燃料乙醇关键技术及装备,获得13项发明专利,形成了具有国际领先水平的非粮燃料乙醇成套生产技术,并成功实现了产业化,成果形成的木薯燃料乙醇成套生产技术的综合技术指标优于国内外同类技术。 应用本技术首先在广西中粮公司建成了“年产20万吨木薯燃料乙醇生产示范装置”并于2007 年12 月投产运行。装
天津大学 2021-04-14
等离子体辅助溶胶凝胶法制备高效氧化性催化剂的方法
本发明涉及一种等离子体辅助溶胶凝胶法制备高效氧化性催化剂的方法,利用等离子体中的活性粒子在常温下分解凝胶中的有机物和硝酸盐,制备得到活性组分为MnOx或MnCeOx的氧化性催化剂。本发明具有的优势效果在于:(1)对氮氧化物催化氧化具有较高的活性和选择性;(2)具有较宽的温度适应窗口;(3)制备工艺简单、成本较低,可广泛应用于烟气选择性催化氧化的脱硝催化剂制备过程。
浙江大学 2021-04-13
金属催化亚胺与一氧化碳共聚法合成多肽类材料
成果与项目的背景及主要用途 一种在金属催化下亚胺与一氧化碳共聚合成多肽类聚合物材料的新的、简捷的方法,不用氨基酸为原料,以廉价的亚胺和一氧化碳为单体,在金属催化下发生交替共聚,直接生成多肽,从而使合成多肽的成本大大降低。这一途径将可以避免繁杂的合成和活化氨基酸的步骤,使得多肽的合成和传统的方法(如开环聚合反应法)相比,被大大地简化。所得到的多肽类材料,在生物医学材料和制药等领域具有重要用途。 技术原理与工艺流程简介
南开大学 2021-04-14
一种金属氧化物/铂纳米颗粒复合催化剂的制备方法
本发明公开了一种金属氧化物/铂纳米颗粒复合催化剂的制备方 法,该方法包括:使用原子层沉积方法生长铂纳米催化剂颗粒和金属 氧化物,通过改变原子层沉积循环次数,从而沉积所需厚度的氧化物 复合层和所需粒径的纳米颗粒,两者结合形成复合催化剂。通过本发 明,可以精确制备金属氧化物和铂纳米颗粒的复合催化剂,锚定金属 催化颗粒从而提高铂催化剂在高温下的热稳定性,且由于氧化物薄膜 与金属直接具有催化协同效应,能够在提高催化剂抗烧结性的同时, 提高催化剂的活性。
华中科技大学 2021-04-14
净化有机废气的金属氧化物混合物催化剂及其制备方法
该成果创造性地发明一种净化有机废气的金属氧化物混合物催化剂及其制备方法,催化剂载体是堇青石蜂窝陶瓷,用硝酸强化预处理以获得高比表面积,在载体上一次性负载铈镧锆混合氧化物改性的活性氧化铝与含多种金属氧化物混合物的活性组分。 与现有催化剂技术相比,该成果的催化剂制备工艺过程更为简单,硝酸强化预处理载体以增大比表面积,实现一次性负载活性氧化铝与活性组分,降低能耗。组成配方更经济可靠,活性成分为金属氧化物,不含贵金属,成本低;氧化铝涂层经铈镧锆改性,抗烧结和寿命更长。净化性能更优越,能彻底销
华南理工大学 2021-04-14
用于燃煤烟气中单质汞氧化的催化剂、其制备及再生方法
本发明公开了一种用于燃煤烟气中单质汞氧化的催化剂,可实现单质汞的高效催化氧化且吸附汞后的催化剂易于从飞灰中磁选分离以便循环利用,其特征在于,该催化剂为对单质汞具有良好氧化性能的活性组分负载到载体表面形成,其中所述活性组分为 CuCl2,所述载体为磁珠颗粒。本发明还公开了其制备方法以及该催化剂失去活性后的活化再生方法。本发明利用飞灰中的磁珠颗粒作为载体并在其表面负载活性催化组分改性后进行汞控制,具有很好的经济效益,特别
华中科技大学 2021-04-14
金属催化亚胺与一氧化碳共聚法合成多肽类材料
一种在金属催化下亚胺与一氧化碳共聚合成多肽类聚合物材料 的新的、简捷的方法,不用氨基酸为原料,以廉价的亚胺和一氧化碳 为单体,在金属催化下发生交替共聚,直接生成多肽,从而使合成多 肽的成本大大降低。这一途径将可以避免繁杂的合成和活化氨基酸的 步骤,使得多肽的合成和传统的方法(如开环聚合反应法)相比,被大 大地简化。所得到的多肽类材料,在生物医学材料和制药等领域具有 重要用途。 该方法是在高压釜中,以 1,4-二氧六环为溶剂,在 800psi 压力 的 CO、50℃油浴以及在催化剂作用下,亚胺与 CO 共聚得到产物多 肽。采用一种简单的金属钴化合物作催化剂,能有效地催化亚胺和一 氧化碳的交替共聚,得到高分子量和低分散度的多肽类聚合物。方法 简捷。 已取得的知识产权: 本项目得到国家自然科学基金资助,是一项具有原始创新性的科 研 成 果 , 已 申 请 2 项 中 国 专 利 ( 申 请 号 200610129890.1 , 200710195204.5)和国际专利(申请号 PCT/CN2007/003465),还将对后续发现及时申请专利保护,因此将拥有该技术的全部知识产权。成 果发表在化学刊物 Angew.Chem.,已受到学术界和一些国外公司的关 注。 应用前景分析及效益预测: 应用行业:生物医学材料、制药、功能材料。该项目所提供的新 型多肽类化合物,已经能够为生物医学工程领域提供一类新的重要的 可供选择的材料。从长远来看,开发出多个新的有效的催化剂体系, 实现更多类亚胺与一氧化碳的共聚,最终使该方法成为一种广泛有效 的多肽的合成方法,将具有重大的社会和经济效益。 应用领域及能为产业解决的关键技术: 作为新的生物医学材料可能具有更好的生物兼容性,因而代替现 有材料用于人工血管等方面。此外,还可被用作药物的糖衣以及具有 药物缓释等功能。如能实现一般肽类的合成,其低廉的成本将有潜力 替代用任何其它合成方法得到的该类产品。不用氨基酸为原料,而是 以廉价的亚胺和一氧化碳为单体,从而使合成多肽的成本大大降低、 方法大大简化。 技术产业化条件: 投资规模约 500 万元(不含基建投入)。
南开大学 2021-04-13
基于局部分割与融合的特定人物识别
随着视频与图像技术的快速发展,在监控视频中识别特定人物身份有着重要的实用价值。本项目   针对现实场景下,普遍存在的面部遮挡以及拍摄机位和镜头距离变化,而导致传统基于正面人脸的识 别方法的准确率将大大降低,甚至识别错误的问题,提出了一种基于局部分割与融合的算法,应用于 视频分析平台下的特定人物识别,融合多部位识别特征,提高了部分遮挡、多场景和镜头变化下的人 物识别鲁棒性,经充分验证,达到了先进的识别精度,可以满足实际应用的需求。该技术是优化并提 高复杂背景下人物识别精准度的一项核心技术,已申请国家发明专利 1 项。
北京工业大学 2021-04-13
新型高效、无毒脱硝催化剂技术
 该技术开发了稀土掺入的过渡金属复合氧化物脱硝催化剂新体系,无毒、无二次污染,可替代现有商用有毒的钒钛体系,取得了脱硝催化剂的自主知识产权;研发了具有助催化功能的支撑体及支撑体与催化活性组分高强结合的制备新技术,实现了脱硝催化剂原料国产化,大幅降低了催化剂的生产成本;在国华太仓电厂脱硝旁路系统进行了工况测试,在江苏华尔润集团有限公司建立了烟气处理量为1~2万Nm3/h的首个玻璃行业工业应用脱硝装置。测试和示范应用结果表明:新型脱硝催化剂效率高,活性温度窗口宽,机械强度高,耐水洗,失活后可再生,废弃的催化剂可资源化利用。研发出的稀土基脱硝催化新体系,具有无毒、高效;适温度范围宽;抗中毒能力强;寿命长,失活后可再生,降低运行成本50%,废弃的催化剂无二次污染,并可资源化利用等特点。  该项目受到国家科技部、发改委、环保部高度重视和大力支持,先后获得国家及部省级10项项目的资助。
南京工业大学 2021-04-13
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