一种 SnS2/SnS 异质结薄膜太阳能电池的一次性制备方法
本发明公开了一种 SnS2/SnS 异质结薄膜太阳能电池的一次性制 备方法,该方法包括以下步骤:基片预处理,混合原料备用,真空获 得与基片加热,氩气等离子体清洗腔体和基片,等离子体增强化学气 相沉积法沉积异质结,真空退火冷却,制备 SnS2/SnS 异质结薄膜太阳 能电池,本方法中通过设置混合原料的比例,并设定反应源加热温度 数值 T 与反应沉积时间数值 t 的关系,就能在一次实验过程中先后沉 积出质量比较优异 SnS2 和 SnS 薄膜,从而直接一次性制备出太阳能电 池的核心部件 p-n 结,大大
华中科技大学
2021-04-14