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柔性薄膜组装集成芯片传感器
硅芯片是当代信息技术的核心,当前正向“深度摩尔”(More Moore)和“超越摩尔”(More than Moore)两个方向发展。物联网(IoT)应用是“超越摩尔”技术路线中相当重要的一环,需要数量巨大的集成电路芯片来分析处理来自外部传感器件的海量信号。目前,大多数传感信号采集器件和信号处理单元均为分离设计,将在整体上产生更大功耗并占据更大的空间。由此,复旦大学材料科学系教授梅永丰课题组提出了将信号检测和分析功能集成于同一个芯片器件中的全新概念。作为演示,研究团队将单晶硅薄膜柔性光电晶体管与智能薄膜材料相结合和组装,构造了对不同环境变量进行检测和分析的柔性硅芯片传感器及其系统。这一思路不仅具有优异的可扩展性,还可与当前集成电路先进制造工艺相兼容。5月2日,相关研究结果以《面向智能数字灰尘的硅纳米薄膜光电晶体管多功能集成传感器研究》(“Silicon Nanomembrane Phototransistor Flipped with Multifunctional Sensors towards Smart Digital Dust”)为题发表在《科学进展》(Science Advances)上。研究团队从器件的传感机理入手,利用柔性薄膜组装集成芯片传感器,实现了多种环境参数探测功能的集成。图1:(A) 器件主要功能层示意图;(B) 贴附于曲面上的柔性传感器件阵列;(C) 智能传感器件功能区的光学显微照片;(D)用于湿度传感的集成系统构造图;(E) 氢气通入前后参比器件与检测器件的电流变化,红色为参比电流,蓝色为检测电流。智能材料在环境刺激中可以发生折射率、颜色、晶体结构等方面的光学性质变化,但一般需要光谱设备或比色卡才能进行比对。而翻转的硅薄膜光电晶体管由于没有栅极金属阻挡功能区域的光信号吸收,可以更容易获得高灵敏的传感特性。利用这一点,研究团队将多种智能薄膜材料贴合在器件功能区,智能材料内部物理性质变化引起了微小光学性能改变,从而表现在输出的光电流上,因此可以在同一个芯片上实现对多种不同信号的同时检测。图1A展示了传感器件典型的功能层结构,顶层的智能薄膜材料对环境刺激发生响应,进而改变下方硅单晶薄膜光电晶体管的输出信号。具有2微米厚的热氧化二氧化硅层则作为光电晶体管的封装,对下方器件进行保护。硅薄膜光电晶体管完全由晶圆级先进集成电路工艺方法制备而成,结合了传统硅基光电子器件的高性能和硅纳米薄膜超薄厚度下的优良柔性。图1B是贴附于半径仅为2毫米直径玻璃管上的柔性器件阵列,表现出良好的弯曲性能。图1C是单个器件功能区域的特写,在蓝色虚框部分集成不同智能材料即可实现对不同环境信号的检测。图1D是具有完备传感与数据处理功能的柔性系统合成图,包括传感与参比器件、逻辑与存储单元、信号放大器和电源。研究团队利用该系统实现了对环境中湿度的实时、快速检测,演示的信号为依次减小的三个湿度脉冲。整个过程中直接对环境变化做出响应的信号,即参比器件与传感器件输出电流随时间的变化如图1E中所示。当环境发生变化(如图所示通入氢气),传感器件的输出电流大幅增加,而参比电流保持平稳,再利用差分电路处理,即可给出所检测的环境参数的值。研究团队开发了将智能材料与光电传感结合的新颖传感机制,并将传感模块与后续信号处理等模块集成在一起,展示了其在气体浓度、湿度、温度等多种环境参数检测方面的能力,已经初步具备了未来的“智能数字灰尘”的雏形。该策略也可以应用于其他的数字传感系统,在后摩尔时代中将具有巨大的应用潜力。论文主要由李恭谨博士,博士研究生马喆和尤淳瑜合作完成,并获得韩国延世大学Taeyoon Lee教授和中科院微系统所狄增峰研究员的合作支持。该工作得到国家自然科学基金委、上海市科委、复旦大学和专用集成电路与系统国家重点实验室等大力支持。
复旦大学 2021-04-11
一种薄膜制备装置(未授权)
西南大学 2021-04-13
新型薄膜太阳能电池技术
CZTS薄膜太阳电池:虽然CIGS 是目前薄膜太阳能电池中光电转换效率最高的太阳能电池,但是由于In和Ga元素是稀有金属,在面向大规模生产时受到元素稀缺的制约。有机-无机杂化钙钛矿太阳电池:将无机材料电子迁移率高、机械性能良好、稳定性高和有机材料光吸收率较高、易加工的优点加以整合,发挥协同效应,提高光伏电池的整体性能,是未来太阳能电池最重要的研究方向。
常州大学 2021-04-14
长沙欣科源 SLXF-2四氯化碳吸附率测定仪(微电脑综合吸附仪)
产品介绍 微电脑综合吸附仪(四氯化碳吸附率测定装置)与(CTC同含义)主要用于煤和煤炭制品行业及木质活性炭进行活性炭吸附(除去)有毒有害物质,活性炭的吸附能力越高质量越好,吸附饱和之后进行活性炭的脱附是恒定活性炭再次生长能力,并且使活性炭反复利用。 适用范围 安装在室温0~40K,湿度≤80%,周边无侵蚀性气体,空气流通的场所。 功能特点 1、仪器设计美观。采用分体设计,由CPU集成电路控制器、恒温水箱、气体净化三部分组成智能检测设备,设计6路通道(8通道),同时一次性检测分析6个样品,提高操作分析试验工作效率。 2、该仪器操作简单。微电脑CPU单片机集成电路控制,具有很好的自动控制功能,采用数码显示,显示直观大方清晰。 3、采用高精度铂探头,控温精度高达±0.02K,可控温度范围1-50K,优于常规数字表头的精度(0.5K)。温度设置使用薄膜开关键盘,比机械微动开关操作方便、灵敏,使用时间更长。 4、仪器采用国外保温材质,恒温效果好,从而更加节能。该仪器设计有6路气体控制,可同时检测六个样品,无形中又节省了检验时间!不会产生液体倒流 5、具有一般温度控制仪的程序控制,显示直观,自动校正、自动诊断、并对设置具有记忆功能,更新功能。满足客户多种使用要求。本仪器可按照客户需要定制加工样品的需求。(6个样、8个样及冷凝循环能装置)
长沙欣科源仪器科技有限公司 2025-12-23
安徽大学在氮化镓功率器件研究领域取得新进展
本工作中,基于安徽大学微纳加工平台以及香港科技大学纳米系统实验制造中心联合制造出了两款氮化镓功率器件,分别实现了电压驱动/电流驱动的栅极结构,为后续的驱动设计和研发提供了器件技术支持;工作中也同时提出了两种结构在高温下的稳定性模型,为进一步提升氮化镓器件的性能以及可靠性打下了基础。
安徽大学 2022-06-13
安徽大学在氮化镓功率器件研究领域取得新进展
近日,我校物质科学与信息技术研究院唐曦教授课题组与电气工程与自动化学院胡存刚教授、曹文平教授课题组在氮化镓功率器件领域取得最新研究进展,在氮化镓GaNHEMT方向取得突破。
安徽大学 2022-06-01
基于石墨烯、氮化硼等二维材料的防腐应用
石墨烯由于其独特的二维纳米结构,且具有高强度、高热稳定性、高化学稳定性以及优良的导热性等特性,在防腐涂料领域具有广阔的应用前景。石墨烯、氮化硼等二维材料由于其特殊的结构使其具有不透过性,作为金属基底与腐蚀环境的阻隔层而保护基底不被自然环境所腐蚀。通过化学气相沉积法及块体剥离法可分别制备直接生长于金属表面的大面积石墨烯、氮化硼薄膜,或粉状的石墨烯、氮化硼纳米片。通过化学气相沉淀法,二维材料可以在任意形状的金属基底的所有暴露面上生长,实现对金属表面的全面保护。
中国科学院大学 2021-01-12
超临界二氧化碳中染色
超临界二氧化碳对有机物的溶解性随溶质极性、分子量、密度等不同而不同,容易溶解非极性或极性弱、分子量小的有机物。分散染料一般分子极性弱,分子量也不大,因而易溶于超临界二氧化碳。溶于超临界二氧化碳的染料分子是杂乱分散的。因此在这种状态下染色,染浴中的染料活泼,能快速到达纤维表面,接着能较容易地渗入到纤维内部,从而达到染料上染纤维的目的。该项技术的原理在于气体在超临界状态下形成的流体密度低,染料能自动溶解且具有较高的扩散性;染料在超临界二氧化碳中的溶解度随着流体密度的增加而增加,由压力和温度来控制二氧化碳流体密度从而控制染料在超临界二氧化碳流体中的溶解度;提高温度来降低流体的密度和染料在溶液中的数目,促进染料扩散到纤维中去。因此该系统控制参数可比常规水相工艺较为快速的进行调节。该工艺无需助剂,二氧化碳无毒,可循环使用;残留的染料可以粉末状态回收,无废水和废弃物,无需染色后处理和染后烘燥,可节能?0%左右。该工艺染色速度比传统工艺快好几倍,染色效率高。
华东理工大学 2021-04-11
一氧化碳气体检测管
产品详细介绍 一氧化碳气体检测管 简介1、比长式气体检测管原理及使用方法原理CO、CO2、H2S、O2、SO2、NH3等检测管的基本测定原理为线性比色法,即被测气体通过检定管与指示胶发生有色反应,形成变色层(变色柱),变色层的长度与被测气体的浓度成正比。2、主要技术参数(见附表)3、附件(每盒)①胶管一段;Φ3×5,长度20cm②小砂轮一片4、贮运条件本品应避光保存于阴凉干燥处,严禁日光照射,保存温度不超过40℃,玻璃制品,小心轻放。5、使用方法各种检定管均可与气体检定管用圆筒型正压式采样器等配套使用。于测定现场用空气冲洗采样器后,取一定体积的现场空气,把检定管两端切开,用短胶管将检定管的下端(浓度标尺有“0”的一端)连接在采样器(检定器)的出气口上,按规定时间匀速通过检定管,然后按检定管变色柱(或变色环)上端指示的数字,直接读取被测气体的百分浓度。 各种气体检测管主要技术参数表
北京华博科技制造有限公司 2021-08-23
大尺寸多频段应用BiLuIG单晶薄膜材料
本项目属于电子信息功能材料技术领域。 特色及先进性:为了实现同一种单晶薄膜即可应用于磁光器件,又可应用于微波器件中,本项目提出了铋镥铁石榴石(BiLuIG)薄膜的设计体系,为了使其同时具有良好的磁光和微波特性,本项目很好的根据晶格匹配原则设计了材料配方,并选用无铅液相外延技术,大大提高了薄膜的性能。本项目提出了在钆镓石榴石(GGG)衬底上直接外延大口径磁光BiLuIG单晶体的思路,解决我国无大晶格常数掺杂钆镓石榴石(SGGG)晶圆片技术、无铅液相外延大尺寸BiLuIG晶体圆片的不足,突破纯GGG基片上外延超厚(1-20μm)磁光晶体这一难点科学问题。研究内容包括:(1)BiLuIG薄膜材料的配方设计研究:基于四能级跃迁模型,并结合离子替代规律和多离子掺杂技术,寻找最佳配方;(2)液相外延单晶薄膜材料的工艺技术研究:包括薄膜均匀性、缺陷控制、无铅配方、生长速率和薄膜镜面条件控制等;(3)材料在器件中的验证研究,设计制备平面波导型磁光开关对材料磁光性能的验证。 技术指标:(1)建成了我国第一条大尺寸磁光单晶薄膜液相外延的生产线,最大尺寸达到3英寸,单面薄膜厚度达到1μm-20μm。(2)单晶薄膜具体微波和磁光参数:4πMs=1500-1750Gs,△H=0.6-2.0Oe,Θf≥1.6-2.1度/μm@633nm。(3) 掌握了进行单晶薄膜材料在磁光和微波器件中的设计、制备和测试工作。 促进科技进步作用意义:本项目突破了我国在3英寸石榴石系列单晶体材料以及相关器件研究上的瓶颈技术,获得了高法拉第效应和低铁磁共振线宽的大尺寸高质量石榴石单晶薄膜材料。满足了国内在磁光、微波及毫米波集成器件方面对石榴石系晶体材料的需求,摆脱了完全依赖进口、受制于人的不利局面。该项目研制的材料已提供给中电集团41所、美国Delaware大学、天津大学、中国工程物理研究院、深圳市通能达电子科技有限公司(中电九所下属)、陕西金山电器有限公司(4390厂)等单位使用,并为中电集团9所、33所等单位提供批量样品,用于制备磁光和微波器件,受到好评。
电子科技大学 2021-04-10
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