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精确控制浸没式光刻机浸液温度的装置及其温控方法
本发明公开了一种精确控制浸没式光刻机浸液温度的装置,包括增压泵;初级热交换器,其浸液入口与增压泵出口连通,浸液在其中进行热交换,实现浸液温度的初级调控;次级热交换器,其浸液入口与初级热交换器浸液出口连通,浸液在其中进行再次热交换,实现浸液温度的次级调控;流量伺服阀,其入口与初级热交换器浸液出口连通,与次级热交换器形成并联,用于调节进入次级热交换器的浸液流量。通过协调控制进入初级热交换器和次级热交换器的冷媒流量,并结合流量伺服阀对进入次级热交换器的浸液流量的调节,可实现对浸液温度的两级调控,从而获得温
华中科技大学 2021-04-14
Lake Shore 336低温控温仪 300mK-1505K低温温度控制
美国Lake Shore 336控温仪 您也可以在淘宝网首页搜索“锦正茂科技”,就能看到我们的企业店铺,联系更加方便快速! 产品介绍:   美国Lake Shore 336控温仪是Lake Shore公司*一个新一代的温度测量和控制解决方案,具有很多先*的特点,可以提供丰富的功能和可靠的服务,成为世界低温测量领域的领导产品。336控温仪有四个温度计输入通道、四个控制输出和150W低噪音加热功率。两个独立的、输出功率分别为100W和50W的加热器输出通道可以与四路输入温度计中的任何一路相关联,在PID模式下实现闭环控制。被改善的自动调节功能可以使336自动的计算PID参数,这样您可以花费很少的时间来调整控温仪参数,节约更多的时间用于您的试验。 您也可以在淘宝网首页搜索“锦正茂科技”,就能看到我们的企业店铺,联系更加方便快速! Lake Shore 336低温控温仪  300mK-1505K   美国Lake Shore 336控温仪支持各种Lake Shore公司制造的工业上*先*的低温温度传感器产品,包括硅二极管、电阻、热电偶温度计。控温仪的自动调节功能使其可以完成从300mK和1505K的连续控温和测温,当温度超出了使用温度计的量程时,Zone调节功能可以自动切换温度计输入通道。报警、延迟及±10 V 模拟输出可以帮助控温仪实现二级控制功能。 您也可以在淘宝网首页搜索“锦正茂科技”,就能看到我们的企业店铺,联系更加方便快速! Lake Shore 336低温控温仪  300mK-1505K 美国 Lake Shore 336控温仪 您也可以在淘宝网首页搜索“锦正茂科技”,就能看到我们的企业店铺,联系更加方便快速! LakeShore另一项重要的创*是增加了输入温度计的标签功能,这样就减少了猜测工作或者说对每个温度计位置的判断工作。为了能完成越来越多和要求越来越高的测量工作,控温仪的易用性和从世界上任何地方都可以保持连接成为其关键的属性。带有标准以太网、USB、IEEE 488、和直观的菜单结构与逻辑,在336的设计中考虑了使用的高效性、连接的可靠性及易于使用的特点。当你需要离开你的实验室,以太网确保你总是能连接到你的实验。新的直观的前面板设计、键盘布局、图形显示和LED显示器增加336前面板用户界面的友好性。 在许多应用中,无与*比的336可以取代好几块低温仪表,节省了时间, *钱和实验室空间。336控温仪可以传递更多的反馈、进行更严格的控制,提供更快的循环周期,能跟上日益复杂的温度测量和控制应用要求。它对于一般用途的先*实验室是理想的选择。使用336在您的实验室,让它更好的满足您的要求。 美国Lake Shore 336控温仪 主要特点 • 使用合适的负温度系数温度计,*低温度可以到300mK • 四路温度计输入,四个独立的控制输出 • 两路PID控制,100W和50W,负载为50或25Ω • 自动修订PID参数 • 使用ZONE功能,自动切换传感器的输入通道,进行连续测量,温度范围从300mK到1505K •用户可以给每路的传感器输入通道加标签 •以太网、USB、IEEE-488接口 •支持硅二极管、电阻、热电偶温度传感器 •控温仪带电流带翻转功能,可以消除电阻型温度传感器的热电动势误差 •模拟输出±10V、报警、延时 •CE认证 美国 Lake Shore 336控温仪 温度控制 美国Lake Shore 336是当今*强大的控温仪,可提供总计150W的加热功率,具有测量可靠性高、效率高、产出高等特点,在整个温度范围内都可以进行精*的控制温度。两个独立的输出功率分别为100W和50W的加热器输出通道可以与四路输入温度计中的任何一路相关联,精*的控制输出计算依据温度设定点和控制传感器的反馈。参数可在较宽范围内调整,使336适用于实验室普遍使用的低温制冷系统和小型高温炉。为了更好的控温,PID控制参数可以手动设置或者通过自动功能自动修改控制参数。自动ZONE 功能可以计算PID参数,并提供PID参数建立ZONE表格。设定点的ramp功能可以提供连续、平滑的设定点变换,无需担心设定点过冲或花费过多的稳定时间。此功能与Zone功能配合使用,可以自动进行传感器输入通道切换,根据zone中的10个激励电流量程来变换传感器的激励电流,这样336控温仪可以完成从300mK到1505K的连续测温和控温。 控制回路1和2是可变的直流恒流源。回路1连接25Ω加热器可提供100W的功率,或连接50Ω加热器提供50W的功率. 回路2连接25Ω或50Ω加热器可提供50W的功率.回路3和4是可变的直流电压源,提供2个±10V的模拟输出。在手动控制下,模拟电压的输出能作为其它应用的电压源。 温度限制设定保护了控温仪免受损坏。每一个输入通道可以设定温度限制值,如果任一个输入通道的温度超过了设定的温度限制值,所有的输入通道将被关闭。 接口 美国Lake Shore 336带有以太网、串行USB口、IEEE-488接口。此外有数据收集功能,几乎每一个功能都可以通过仪器的计算机接口来控制。用户可以下载LakeShore公司提供的Curve Handler软件,这样就可以方便容易的将校准曲线直接通过软件写入到336控温仪的记忆芯片中。  
北京锦正茂科技有限公司 2022-10-09
火电厂厂级运行性能在线诊断及优化控制系统
“火电厂厂级运行性能在线诊断及优化控制系统”从火电厂全厂整体综合优化运行的角度出发,通过对其所属多台机组的运行状态进行连续监视、经济分析、在线诊断以及优化控制,达到稳定、节能的目的。本项目由西安热工研究院和华北电力大学共同协作完成并获2005中国电力科学技术一等奖。 本项目创建了一套完整的技术体系,包括从全厂整体综合优化运行系统的概念、定位、理论方法、关键技术到应用软件开发、系统集成、示范和推广应用。研制成功具有自主知识产权的"火电厂厂级运行性能在线诊断及优化控制系统"(SIS)。
华北电力大学 2021-02-01
FDM快速成型机进丝速度控制系统及方法
本发明涉及熔丝沉积成型3D打印装置的控制技术,旨在提供一种FDM快速成型机进丝速度控制系统及方法。该系统包括设于FDM打印喷头上的压力传感器,压力传感器与压力设定模块连接至闭环控制模块;闭环控制模块则通过信号线依次连接进丝电机控制模块和进丝电机;所述进丝电机通过传动设备联接至摩擦轮。本发明根据打印喷头模腔内部中已经融化的打印材料的压力来间接的控制进丝速度,使得进丝量和出丝量一致,提高熔丝沉积成型(FDM)成型质量。本发明使得进丝速度控制具备更好的自适应性,通过闭环控制模块的实时在线闭环计算控制,可以克服外部各种干扰因素对进丝量的影响,使得打印喷头保持固定的出丝速度进行打印,提高打印的质量。
浙江大学 2021-04-11
基于DSPIC30F系列的机电控制系统的开发
快速,实时性强,可靠性高已成为现代机电控制系统的主要研究对象,其主要依赖于数字控制系统的发展,因而数字化控制(NC)是当今机电控制技术发展的主流,是电力电子技术与运动控制学科中的一项重要技术,而DSP已成为这项技术的核心。dsPIC30F系列单片机为Microchip公司开发的一款集单片机(MCU)控制功能与数字信号处理器(DSP)的计算能力和数据吞吐能力于一身的??位微控制系统。其具有快速、复杂和灵活的中断处理,丰富的数字和模拟外设,电源管理等功能。以伺服冲床控制系统为例。
华东理工大学 2021-04-11
欠驱动非线性桥式吊车自动控制系统设计
项目的背景及目的 桥式吊车是一种十分常见的装配运输工具,在港口、仓库、建筑工地等场所得到了广泛的应用,当前,对于桥式吊车主要还是通过有经验的工人来进行操纵的,存在着培训周期长,劳动强度大,工作效率低,安全性不高等缺点。为此,设计一套操作方便的吊车自动控制系统,可以提高吊车系统的工作效率与安全性能, 并将工作人员从当前这种艰苦的工作环境中解放出来。 技术原理与工艺流程1)桥式吊车自动控制系统设计 桥式吊车自动控制系统主要包括三个部分:吊车控制单元,工作空间监控单元,和操作单元。控制单元是整个系统的核心部分,它主要负责吊车的作业控制。该单元接收来自操作员的命令,还接收来自工作环境监测单元的环境信息,从而实现自动避障或紧急制动。监测单元主要由多个CCD摄像头和图像处理器构成,主要包括两方面功能:将采集到的环境图像实时地传输到操作单元;对环境信息进行处理,得到障碍位置信息传输给控制单元以实现自动避障。操作单元是桥式吊车自动控制系统的人机接口。 2)桥式吊车实验平台 桥式吊车实验平台主要由机械主体,驱动装置,测量装置和控制系统四部分组成。机械主体是指桥式吊车的机械部分。驱动部分根据控制量来为机械部分提供相应的力/力矩,从而实现对负载的安全、平稳运送。控制系统的控制命令是跟据吊车系统的动力学模型以及实时状态反馈来在线计算的,而实时状态的反馈则通过测量部分(主要包括编码器等传感元件)来完成。 主要技术性能指标Ø 桥式吊车自动控制系统桥式吊车实验平台主要技术指标:l  负载定位精度:5mm。l  负载摆角抑制:-10度~10度。l  具有负载紧急制动能力。l  友好的人机界面。Ø  桥式吊车实验平台主要技术指标:l  外形尺寸:2m×1.2m×0.5m。l  控制周期:<1ms。l  控制方式:力控制。    技术水平及用途 本项目得到天津市自然科学基金项目支持,应用行业  1.运输 2.工业 3.建设。本项目的应用可以提高桥式吊车系统的工作效率与安全性能, 既可将工作人员从艰苦的工作环境中解放出来,又可以增加桥式吊车在危险、极端环境下的作业能力。此外,本项目所设计开发的桥式吊车实验平台,也可以用于各大高校研究所进行非线性欠驱动系统教学、科研的平台。 应用前景分析及效益预测本项目的研究成果,可以有效地提高桥式吊车系统的装运效率,减小系统操作复杂度,降低劳动强度,增加系统的安全可靠性。从而将科学技术转化为生产力,创造出良好的经济效益。同时,随着素质教育的进一步深化,各大高校正不断地寻求良好的实验平台以提高学生的动手能力和学习兴趣,桥式吊车作为一种典型的欠驱动非线性系统是一个很好的研究对像,因此,项目组所设计开发的桥式吊车实验平台在教学、科研上也有广阔的应用前景。
南开大学 2021-04-11
高振强振动机械的智能变频超前控制系统
本实用新型涉及的是一种高振强振动机械的智能变频超前控制系统,特别是一种高振强振动机械的基 于智能变频的超前控制系统,属于振动利用工程技术领域。由上位机、PLC、变频器、振动机、传感器构成 闭环控制系统,上位机主要作编程设计及与PLC的通讯,实现程序下载和上存,同时可对PLC程序运行实时 监控;PLC作为核心控制器,一方面与上位机交互,可实现编程调整;另一方面通过智能变频超前控制软件, 实施对变频器的变频输出控制;变频器一端与PLC相连接,另一端与振动机的驱动电机相连接;通过智能变 频控制使振动机的频率按照控制值变化,达到对振动机高振强、瞬态超高振强及其作用时间的有效控制,以确保振动机的正常运行。 
南京工程学院 2021-04-11
基于单片机人机交互模块的飞锯机控制系统
一种基于单片机人机交互模块的飞锯机控制系统,它包括第一编码器、 第二编码器、可编程控制器PLC 和调速控制器,还包括人机交互模块HMI 和双极性模拟量输出模块,所述的第一编码器采集速度信号,第 一编码器 的输出端与PLC的信号输入端相连,PLC的信号端与HMI的控制信号端 相连,PLC的脉宽调制信号 输出端与双极性模拟量输出模块的信号输入端 相连,双极性模拟量输出模块的输出端与调速控制器的输入 端相连,调速 控制器的输出端控制飞锯机的电机速度,飞锯机的电机与第二编码器的相 连,第二编码器的反馈信号输出与PLC的反馈信号输入端相连。本实用新 型具有可靠性高、成本低的优点。
南京工程学院 2021-04-11
欠驱动非线性桥式吊车自动控制系统设计
桥式吊车是一种十分常见的装配运输工具,在港口、仓库、建筑工地等场所得到了广泛的应用,当前,对于桥式吊车主要还是通过有经验的工人来进行操纵的,存在着培训周期长,劳动强度大,工作效率低,安全性不高等缺点。为此,设计一套操作方便的吊车自动控制系统,可以提高吊车系统的工作效率与安全性能, 并将工作人员从当前这种艰苦的工作环境中解放出来。
南开大学 2021-02-01
火电厂厂级运行性能在线诊断及优化控制系统
本项目主要创新有: 针对火电厂生产运行对网络信息系统安全性的要求,首次提出并实现了三级可靠性、二级安全性发电厂网络结构;开发了“基于单向物理链路的网络数据传输隔离装置”,解决了火电厂监控信息网络的安全性问题。 提出了DCS+SIS+MIS的火电厂厂级运行监控及生产管理的新模式,已成为我国火电厂设计的典型配置方式;开发了成套应用功能软件,推动了火电厂自动化信息化技术的跨越。 提出了热力系统经济性分析的小扰动理论;改进了汽轮机变工况经典理论中的弗留格尔公式;采用热力系统拓扑结构矩阵分析法和顺序扰动解除法,提高了热力系统经济分析的准确性。 提出了回路级优化控制的鲁棒控制器设计方法、机组级优化控制的模糊多模型协调控制方法和厂级优化控制的多约束负荷优化分配方法,实现了全厂的整体优化控制。 提出了基于统计模型的设备状态在线监测与劣化分析理论方法,实现了设备的故障预警和运行故障的在线诊断。提出了基于JIT(Just In Time)模式的火电厂设备缺陷管理方法,实现了设备缺陷处理流程的自动化。 有效地利用火电机组运行实时、历史数据,采用数据挖掘、信息重构等软测量技术,解决风量、烟气含氧量等参数难以测量的问题,用于机组运行性能在线诊断及优化控制。 本项目属自主研发,并拥有自主知识产权。经中国电机工程学会组织鉴定后,实现了科研成果的产业化。本系统极大促进了电力企业信息化、现代化建设,显著提升了发电企业核心竞争力。
华北电力大学(保定) 2021-02-01
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