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半导体设备超洁净流控系统及其受制约流控零部件
浙江大学聚焦超洁净流控系统基础研究、技术攻关和产品研发，攻克了影响光刻分辨率、良品率与产率的1mk级温度测控、5ppt级金属离子测控、20μm级气泡测控、50nm级残留液膜测控等关键核心技术
一、项目分类
关键核心技术突破
二、技术分析
如何通过超洁净流控技术降低流控污染，减少曝光缺陷，提升曝光良率，是国产高端半导体制造装备研制面临的重大挑战，直接关乎整机产品的产线应用性能与市场竞争力。此外，作为各类半导体制造装备的共性核心零部件，超洁净流控部件市场被美国、日本等国垄断，使我国半导体制造装备产业面临核心零部件“卡脖子”风险。浙江大学流体动力与机电系统国家重点实验室启尔团队所承担的高端半导体制造装备核心分系统之一的超洁净流控系统，自2004年以来在国家863计划和国家02专项支持，聚焦超洁净流控系统基础研究、技术攻关和产品研发，攻克了影响光刻分辨率、良品率与产率的1mk级温度测控、5ppt级金属离子测控、20μm级气泡测控、50nm级残留液膜测控等关键核心技术，完成了超洁净流控系统九大组件的研制和集成测试，为半导体制造设备扫描速度与产能的提高提供基础理论与方法依据，同时自主研发的半导体机台核心超洁净流控零部件实现了产品化，突破了国外技术的封锁，为我国半导体制造的发展与自主创新提供了基础支撑。
浙江大学
2022-07-22
产教深度融合 创新物联网专业人才培养
物联网作为我国重点发展的战略性新兴产业之一，对于支撑“网络强国”和“中国制造2025”等国家战略具有重要意义。然而，当今高校物联网专业却普遍面临人才培养与产业发展不适配、教育内容与产业技术应用相脱节等挑战。本案例通过构建“多主体参与、多模式共融、多层次渐进”的物联网产业学院，全面推动企业优势与教育资源融合，从人才培养目标重构，产教融合创新平台搭建，以及“专创融合”+“赛教融合”的人才培养模式构建等方面，全面提升物联网专业人才培养质量，着力培养创新能力强、可适应经济社会发展需要的高质量工程技术人才，使学生实践能力显著增强，就业率和创业成功率大幅提升。
天津市大学软件学院
2025-05-16
关于“重大自然灾害防控与公共安全”重点专项2023年度指南直接进入正式申报项目填报正式申报书的通知
根据国家重点研发计划重点专项管理工作的总体部署和相关工作要求，中国21世纪议程管理中心已完成了“重大自然灾害防控与公共安全”重点专项2023年度项目申报指南预申报形式审查工作，已通过国家科技管理信息系统进行反馈，并依规确定了可直接进入正式申报环节的项目清单，请收到我中心关于正式申报邮件通知的项目及时按要求填报项目正式申报书（含预算申报），其他项目请等待后续通知。
科学技术部
2023-07-20
关于“重大自然灾害防控与公共安全”重点专项2023年度指南通过首轮评审的项目填报正式申报书的通知
根据国家重点研发计划重点专项管理工作的总体部署和相关工作要求，中国21世纪议程管理中心已完成了“重大自然灾害防控与公共安全”重点专项2023年度项目申报指南预申报项目首轮评审工作，并通过国家科技管理信息系统反馈了评审结果，依规确定了进入正式申报环节的项目清单，请符合条件的项目及时按要求填报项目正式申报书（含预算申报）。
科学技术部
2023-08-07
置物箱
本实用新型公开了置物箱，属于置物箱技术领域。置物箱，包括底座，底座底面上固定安装有万向滚轮，万向滚轮上固定连接有锁紧装置，底座上方设置有封闭式置物装置，封闭式置物装置包括有大型置物柜和小型置物柜，大型置物柜和小型置物柜均包括有柜门和置物腔，柜门的一侧竖直棱边上固定安装有铰链，柜门通过铰链与柜体活动连接，另一侧竖直棱边上固定安装有电子锁；封闭式置物装置上端固定连接有置物台，置物台的侧壁上嵌入安装有扫码服务装置；本实用新型有效解决在火车站、机场等场所未设置公共置物设施，旅客临时置物较为不便
安徽建筑大学
2021-01-12
智能物联网
北京工业大学
2021-04-14
储物柜
产品详细介绍
可根据客户的要求批量定做
大连益隆科教仪器设备有限公司
2021-08-23
农业物联网
农业物联网整体方案
利用各种传感器、摄像头，通过物联网方式，把农业数据汇集到农业物联网平台，为第三方专业应用提供开放、统一的数据管理和分析平台。
通过数据中心大屏、手机App展示农场、草原、沙漠绿化实景，直观感受实际效果,提供大数据分析，为领导或投资人提供决策参考。
通过手机App获取所购买产品的生产过程参数、视频信息,让消费者买的放心。
获取农业、养殖业生产过程中的空气、土壤、水质各类环境参数，让农户在专家系统指导下合理种植、养殖制定正确的自动化控制计划。
让农业厂商及技术人员获取农业生产的第一手数据、评估化肥使用效果，为农业生产提供实时、远程的技术支持。
农田数据采集及分析
通过传感器实时采集农田空气温湿度、二氧化碳含量、光照强度、土壤温湿度，通过自动控制启动浇水灌溉系统；通过视频分析，采集和分析虫害发生情况，为防虫防灾提供预警。
农产品智慧配送
农产品出厂流程标准化，消费者可以通过包装上的二维码了解产品生产日期、产地，全程可追溯；甚至可以访问生产过程参数和视频，让消费者放心。
通过电商平台建立农场和消费者的直接交易，通过智能物流配送柜，及时、低成本的送货上门。
智能配送柜提供到货提醒、空间管理、密码取货等功能，最大程度方便消费者。
新立讯科技股份有限公司
2021-08-23
科技讲堂第五讲预告｜谢吉华：中国高质量发展下科创服务生态构建的探索实践
由中国高等教育学会科技服务专家指导委员会、中国高等教育培训中心、中国教育在线及千校万企协同创新平台共同举办的“落实全会精神 建设科技强国”科技讲堂第五讲。
中国高等教育学会
2024-11-04
专家报告荟萃⑯ | 延边大学党委副书记于金欢：扎根边疆 ·融创未来——就业育人的范式革新与生态共建
学校全面贯彻落实党中央、国务院及吉林省委、省政府“稳就业”“保就业”决策部署，坚持把毕业生高质量就业作为全面落实立德树人根本任务的内在要求。
高等教育博览会
2025-07-01