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HMDS真空预处理烘箱
HMDS真空预处理烘箱产品用途:该产品主要用于半导体行业,HMDS预处理系统通过对烘箱HMDS预处理过程的工作温度、处理时间、处理时保持时间等参数可以在硅片、基片表面均匀涂布一层HMDS,降低了HMDS处理后的硅片接触角,降低了光刻胶的用量,提高光刻胶与硅片的黏附性。     一、产品规格: 型号:BD/HMDS-6090   内形尺寸:450×450×450     型号:BD/HMDS-6210   内形尺寸:560×640×600   二、 技术参数: 1、控温范围:RT+10~250℃  2、温度分辨率:0.1℃     3、温度波动度:±1℃ 4、达到真空度:小于133Pa 5、真空度:100Pa~100000Pa 6、定时范围:1~9999min 7、工作室材料:316L 8、样品架:2块、3块 9、真空泵:4L/S 10、电源电压:220V/50Hz、380V/50Hz三相五线制 11、总功率:3000W、4500W 三、产品特点: 1、外壳采用冷轧钢板制造,表面静电喷塑。内胆、样品机、连接管路均采用优质不锈钢316L材料制成;加热器均匀分布在内胆外壁四周,内胆内无任何电气配件及易燃易爆装置。钢化、防弹双层玻璃门观察工作室内物体一目了然。 2、箱门闭合松紧能调节,整体成型的硅橡胶门封圈,确保箱内高真空度。 3、HMDS气体密闭式自动吸取添加设计,真空箱密封性能佳,确保HMDS气体无外漏顾虑。 四、HMDS预处理系统操作流程: 1、首先确定烘箱工作温度; 2、预处理程序为:打开真空泵抽真空,待腔内真牢度达到某一高真空度后,开始充入氮气,充到达到某低真空度后,再次进行抽真空、充入氮气的过程,到达设定的充入氮气次数后,开始保持一段时间,使硅片充分受热,减少硅片表面的水分; 3、再次开始抽真空,充入HMDS气体,在到达设定时间后,停止充入HMDS药液,进入保持阶段,使硅片充分与HMDS反应; 4、当达到设定的保持时间后,再次开始抽真空。充入氮气,完成整个作业过程。 五、控制系统: 1、7.0英寸维纶彩色触摸屏,三菱PLC控制器; 2、富士微电脑双数显温度PID控制器,控温精确可靠; 六、保护系统: 1、漏电保护; 2、超温保护; 3、缺液保护;              七、设备使用条件: 1、环境温度:5℃~+28℃(24小时内平均温度≤28℃) 2、环境湿度:≤85%R.H 3、操作环境需要室内通风良好,机器放置前后左右各80公分不可放置东西; 八、HMDS真空预处理烘箱服务承诺: 保修十二个月,免费送货上门,在对该设备安装调试结束后,在用户现场对相关技术人员免费做相应的操作培训,人数不限。
北京中科博达仪器科技有限公司 2026-01-15
微生物发酵法生产 α-酮戊二酸技术
一、成果简介 α-酮戊二酸又称α-胶酮酸(2-氧代戊二酸或α-羰基戊二酸),是三羧酸循环(TCA)中重要的 中间产物。α-酮戊二酸在生物体内参与氨基酸、蛋白质、维生素的合成以及能量代谢,广泛应用于食品、医药、有机合成、化妆品、饲料等行业。在食品领域,α-酮戊二酸与精氨酸等氨基酸复配, 能快速帮助运动员补充能量,可用于开发功能饮料。在医药行业,服用α-酮戊二酸能减轻肾病患者 
中国农业大学 2021-04-14
一步法直接制烯烃新技术
上海交通大学 2021-04-13
生物法净化含硫化氢废气技术研究
生物法净化含硫化氢废气技术以含硫化氢酸性气体为研究对象,进行生物法净化含硫化氢废气技术研究,以及生物脱硫基础理论研究(生物脱硫微观反应机理、脱硫菌种动力学研究与反应器流体力学模拟)。 技术特点: 1.利用低能离子注入技术诱变筛选获得适合于工业化的高效脱硫菌种; 2.构建菌体生长的多阶段发酵调控技术,采用高密度培养技术探究影响高密度培养的因素,并通过小分子化合物扰动,强化菌株脱硫机制; 3.建立脱硫菌株高性能耦合固定化体系,实现细胞固定化,降低流动性,提高脱硫效率及稳定性,降低成本; 4.研发新型生物反应器,提高传质性能及生物氧化效果; 5.建立生物脱硫装置,优化工艺参数,达到对具附加值的单质硫回收的目的,并开发高效、经济、节能、环保和具有自主知识产权的生物脱硫净化工艺及工程技术。 技术指标: 1.建立1~2Nm³/h生物脱硫模试装置,液体循环量27L/h,pH值8.5~9.0,曝气量220~240L/h,脱硫菌种固定化浓度为2.7mg/g,净化气H2S浓度小于20mg/m³,硫磺回收率为95%,获取生物脱硫工艺参数优化数据; 2.分离筛选得到了硫化物代谢活性达73.1%、稳定遗传8代的高效脱硫菌株; 3.设计生物反应器及模拟装置,建立自动化控制的生物脱硫模式评价装置,为生物法净化含硫化氢气体的工艺评价提供装备基础。
南京工业大学 2021-01-12
液相氧化法同时脱硫脱硝技术研究
本课题具体研究内容包括不同氧化剂、不同喷嘴及布置方式对烟气脱硫脱硝除尘的效果的影响,对设备的腐蚀、磨损影响等;通过理论分析、数值仿真研究和实验研究的方法,开发出氧化法脱硫脱硝除尘技术工艺包,进行工艺示范,形成完整的技术路线。
南京工业大学 2021-01-12
水酶法同时提制植物油脂和蛋白技术
项目以花生等高含油油料作物为原料,集成可控酶解、连续三相分离、膜分 离浓缩、高效破乳等技术,从油料中提取油脂与水解蛋白,工艺路线较为简单, 实验室小试条件下,游离油与水解蛋白得率分别达到 93%和 87%,中试实验中, 游离油得率和水解蛋白得率均达到 80%左右,所得花生油达到国家三级花生油的标准。该深加工技术大大提高了花生的附加值,为花生的高效利用提供了一种有 广泛市场前景的途径。 创新要点 (1)处理条件温和,可得到无黄曲霉毒素污染、无溶剂残留的高质量的油脂,同时有效回收原料中的蛋白质; (2)工艺绿色环保,比现行分离蛋白工艺更为节能降耗。
江南大学 2021-04-11
高品质麦芽糊精的酶法生产关键技术
麦芽糊精是以淀粉为原料,通过生物酶法控制淀粉水解程度,从而得到DE 值处于 5-20 的淀粉水解产物。麦芽糊精的分子量介于淀粉和淀粉糖之间,是一种价格低廉、口感滑腻、没有任何味道的营养性多糖。 高品质的麦芽糊精流动性良好,无异味,几乎没有甜度;溶解性能良好,有适度的粘度;吸湿性低,不易结团;有较好的载体作用,是各种甜味剂、香味剂、填充剂等的优良载体;成膜性能好,既能防止产品变形又能改善产品外观;极易被人体吸收,特别适宜作病人和婴幼儿童食品的基础原料;对食品饮料的泡沫有良好的稳定效果;对结晶性糖具有抑制晶体析出的作用;有很好的乳化作用和增稠效果;有促进产品成型和良好地抑制产品组织结构的作用。由于麦芽糊精所具有的优良使用特性,使其广泛应用于饮料、冷冻食品、糖果、麦片、乳制品、保健品等行业,还可应用于纺织、日化、医药生产中。
江南大学 2021-04-13
青岛华膜环保设备有限公司
青岛华膜环保设备有限公司 2025-11-25
污水处理厂智能化控制系统和成套传感器研究转化示范
本项目以污水处理厂存在能源消耗高,二次污染等问题,针对污水体量庞大,复杂多变量,多相体系的数据信息滞后,强耦合,非线性等问题,采取学科交叉方式与物理学院、智能学院合作开发新型水质传感器,开发信息处理系统,多变量耦合神经网络系统,深度学习和算法,构建污水处理智能控制关键技术,仪器和设备。为污水厂的智能节能减排创造提供技术支持。
南开大学 2021-02-01
污水处理厂智能化控制系统和成套传感器研究转化示范
项目成果/简介:本项目以污水处理厂存在能源消耗高,二次污染等问题,针对污水体量庞大,复杂多变量,多相体系的数据信息滞后,强耦合,非线性等问题,采取学科交叉方式与物理学院、智能学院合作开发新型水质传感器,开发信息处理系统,多变量耦合神经网络系统,深度学习和算法,构建污水处理智能控制关键技术,仪器和设备。为污水厂的智能节能减排创造提供技术支持。应用范围:该技术主要应用于给水处理系统和污水处理系统的智能控制。效益分析:项目的研究已经进行了多年, 2017 年投资 1500 万元在南开大学津南校区建立了 1000 吨/日污水处理厂, 为传感器的应用和示范创造十分有利的条件。
南开大学 2021-04-11
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