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半导体设备超洁净流控系统及其受制约流控零部件
浙江大学聚焦超洁净流控系统基础研究、技术攻关和产品研发，攻克了影响光刻分辨率、良品率与产率的1mk级温度测控、5ppt级金属离子测控、20μm级气泡测控、50nm级残留液膜测控等关键核心技术
一、项目分类
关键核心技术突破
二、技术分析
如何通过超洁净流控技术降低流控污染，减少曝光缺陷，提升曝光良率，是国产高端半导体制造装备研制面临的重大挑战，直接关乎整机产品的产线应用性能与市场竞争力。此外，作为各类半导体制造装备的共性核心零部件，超洁净流控部件市场被美国、日本等国垄断，使我国半导体制造装备产业面临核心零部件“卡脖子”风险。浙江大学流体动力与机电系统国家重点实验室启尔团队所承担的高端半导体制造装备核心分系统之一的超洁净流控系统，自2004年以来在国家863计划和国家02专项支持，聚焦超洁净流控系统基础研究、技术攻关和产品研发，攻克了影响光刻分辨率、良品率与产率的1mk级温度测控、5ppt级金属离子测控、20μm级气泡测控、50nm级残留液膜测控等关键核心技术，完成了超洁净流控系统九大组件的研制和集成测试，为半导体制造设备扫描速度与产能的提高提供基础理论与方法依据，同时自主研发的半导体机台核心超洁净流控零部件实现了产品化，突破了国外技术的封锁，为我国半导体制造的发展与自主创新提供了基础支撑。
浙江大学
2022-07-22
高速线材控冷段在线性能预报系统
随着现代科学技术的进步，轧钢生产过程中质量控制已经不仅仅局限于产品外型和尺寸精度的控制，而是追求对产品内部微观组织和最终性能的更为精确的把握，并应用于实际生产中。特别是在最近，急切需要在加工过程中提高产品的使用性能、降低成本、实现组织性能在线预测及控制。计算机技术与塑性加工理论的结合使塑性加工从以经验和知识为基础，以“试错”为基本方法技艺阶段向以模型化、最优化和柔性化为特征的科学阶段过渡。 目前，棒线材在我国的热轧产品中占50%以上。国内对棒线材生产工艺的研究以实际生产摸索为主, 这不仅浪费大量的资源，而且结果很难得到推广。北京科技大学与重庆钢铁公司的科研项目《品种钢组织相变索氏体化》[2005-2007]在吸收了国内外研究成果的基础上，已开发成功在线性能预报模型，在重钢高线厂得到实际应用，该厂的一些钢种通过模型的优化，产品质量得到了显著的提高。北京科技大学与江苏沙钢集团的科研项目《高速线材性能预报系统研发》[2006-2008]也引进了该模型，针对沙钢的沙景和润忠两条高线生产线进行开发，目前控冷段在线模型已进入生产调试阶段，正在进一步优化及完善。我国高线生产的一个问题是产品性能不稳定，在线模型投入到实际生产将会大大提高产品质量及成材率，提高新产品的开发进度。开发的高线控冷段在线性能预报系统是国内外首创，将对钢铁生产行业产生极大的影响。
北京科技大学
2021-04-11
基于微流控的pH值在线检测系统
传统pH值测试方法大多采用取样的方式来测定溶液的pH值，对随时变化的工业废水的pH检测相对滞后，不能实时反应溶液酸碱性的变化，其结果是当检测到pH值偏离正常时，污染已经发生，不能在第一时间控制污染造成的损害。 本项目将pH指示剂固定在微流芯片中，当不同酸碱度的液体流经检测芯片时，特定波长透过光强发生变化，经光电二极管转化为电压信号，再经神经网络系统读出pH值，可实时反映流体pH值的改变，监控生产状况的变化及对污染进行实时报警。
东南大学
2021-04-11
基于人工智能的智能安全管控系统
项目利用新一代的大数据 深度学习技术，实现了加油站现场智能监管系统，具有卸油区智能管控、财务室智能管控、加油区智能管控、现场智能管控、智能分析以及智能考核管理功能，对人员操作合规性进行智能检测与识别
一、项目分类
关键核心技术突破
二、成果简介
项目利用新一代的大数据 深度学习技术，实现了加油站现场智能监管系统，具有卸油区智能管控、财务室智能管控、加油区智能管控、现场智能管控、智能分析以及智能考核管理功能，对人员操作合规性进行智能检测与识别，将以查视频回放的结果型安全管控模式，转变为控制关键作业环节的过程型管控模式，实现了安全关口前移 服务规范管理 智能数字化分析，提高了全站精细化管控能力以及管理层科学决策、信息决策能力。可应用于能源、电力、制造业等与人员安全以及操作流程合规性密切相关的行业。
西南交通大学
2022-09-13
一种适用于燃气轮机的多功能燃烧室实验系统
本发明公开了一种适用于燃气轮机的多功能燃烧室实验系统，其包括气体供给设备、燃油供给设备、气体燃油预混设备、实验燃烧室、点火设备、给风设备和测量设备；气体供给设备用于向气体燃油预混设备中供给氧气、二氧化碳及空气的混合气体；燃油供给设备用于向气体燃油预混设备中供给燃油；气体燃油预混设备用于预混合送入其内的混合气体和燃油，以形成送入实验燃烧室中的气体燃油混合体；点火设备用于点燃气体燃油混合体；给风设备用于向实验燃烧室中提供风；测量设备用于测量燃烧室中的产物、温度、速度及压力。本发明可用于研究不同实验条件对燃烧实验的影响，具有功能多、适用性强等优点，因而尤其适用于燃气轮机燃烧室的研究。
华中科技大学
2021-04-13
线控、切换器、线控主机
产品详细介绍线控主机---触点控制器（MC32）主要特性 MC32是32路外接按钮输入的切换控制转换模块，通过RS232与切换器、矩阵相连，接受外接按钮触点 的直接控制命令转换成MSEER协议从RS232口输出，实现对切换器及矩阵的控制。 MC32线控采用触点控制方式控制矩阵切换器，既省钱又方便。 专门为会议室或演讲场所方便切换信号而设计的。当发言者需要发言时，按一下面前的触点按钮，此时发言稿便显示到投影屏幕上，当另一位发言者需要发言时，同样按一下面前的触点按钮，此时该发言者的发言稿就切换显示到投影屏幕上。使用方法当与会者或演讲者有多人发言时用遥控器和电脑切换很不方便，此时选用上海煕昂电子MC32线控主机壹台和切换器相连：线控主机与切换器通过RS232线相连接，触点按钮（轻触式开关）分布到每个使用点，用普通二星电话线和线控主机相连接(最大可安装32个触点按钮)，每个与会者发言时只要轻按面前的触点按钮，就可以把发言内容切换显示到投影屏幕上。产品参数外接按钮数：32个按钮触点形式：轻触常开非锁定形式接口方式：PIN端口，（须非绞合线缆）电源：100VAC ~ 240VAC, 50/60 Hz, 国际自适应电源功率：≤20W存储环境温度：-20°C ~ +150°C工作环境温度：-10°C ~ +55°C相对湿度：20% ~ 95%尺寸：225mm长×190mm宽×110mm高重量： 1kg平均无故障时间：30，000小时
上海熙昂电子科技有限公司
2021-08-23
车规级全向、全环境线控底盘
团队基于集中式驱动，四轮转向的设计理念，突破了低底盘高度前后独立悬架技术壁垒，完成了从0.5吨-3吨级线控底盘的系列化开发。相对现有轮毂电机驱动的线控底盘，产品可在保证相同驾驶功能的前提下，成本降低2万元左右/台。
团队采用整体桥构型，突破了“跷跷板”机构的技术壁垒，完成了6吨-20吨级AGV系列化产品开发。与市场同类产品对比，产品具有转向半径小，成本较低和可靠性高的特点。
针对当前线控底盘难以兼顾全向、全地形和不同承载需求的痛点问题，团队开发了适用不同承载需求的全向、全环境线控底盘。技术特点为：① 采用转向、驱动和制动模块化设计理念，通过加装车规级行车和驻车制动器，整车可实现直行、斜行、阿克曼转向、坦克调头、定点调头等模式；② 采用轮边电机驱动，突破了电机+减速机+轮毂轴承单元一体化驱动技术，并基于正向设计理念，实现模块化设计。当前已开发完成8款适用不同承载需求的角单元；③ 突破了满足遥控和自动驾驶功能的整车电控技术，并基于V型开发流程完成了全向、全矢量线控底盘的系列化产品开发。
部分产品如下页图示：
聊城大学
2025-02-25
深圳金超云控科技有限公司
深圳金超云控科技有限公司（JCYK金超云控），研发制造中心位于东莞·清溪成立于2015年，专注于人工智能、高性能计算、AI病理分析、宇航级航空飞控计算机、HPC-AI、ZKP等领域的特种计算机、服务器研发制造。
目前已搭建算力数据中心，推动隐私计算与超算技术在各行业的深度应用，提供万卡集群服务器设备、全光网络链路部署等智慧数据中心整套解决方案以及自研通信技术发明专利可实现卫星及各领域大数据低传输高解码电离层通信跳变技术等。
经历多年发展，已成为集工业电子，核心器件研发与制造为一体的综合型企业，秉承“云控世界·金超未来”的品牌理念，矢志为工业电子及超算设备领域创造稳定、高效、智能的工业设备，并具有全球竞争力的工业电子领域与服务提供商迈进。
先后为卡塔尔世界杯，中超联赛、中国联通、中国铁路等科学技术研究所等专项研发HPC-AI服务器与特种工业计算机产品及提供解决方案，致力于行业智能创新发展，坚持以品质第一，科技创新为核心发展，与世界百强企业合作共赢；并与各大专院校就计算机项目研发深度合作，制造更稳定的服务器及特种计算机设备。
深圳金超云控科技有限公司
2025-07-15
大型汽轮发电机出线套管特性传热研究
对不同运行工况下出线套管的内冷却介质温升以及导电杆温度分布进行了计算与分析。结果表明，对于相同的冷却水流量,三相短路工况冷却水温升最大,暂态短路工况冷却水温升最小;为防止冷却水在导电杆内发生过冷沸腾而影响冷却效果,不同短路工况下冷却水流量应大于相应的最小流量。为出线套管的合理设计与可靠运行提供了依据。
上海理工大学
2021-01-12
分布式电驱动线控底盘控制系统
成果介绍针对新能源汽车双驱/四驱特征，提出了分布式电驱动底盘智能控制架构，建立智能化、模块化、网络化的底盘标准体系。技术创新点及参数发明了轮边驱动转向与前桥转向机构，后轮主动转向结构（发明专利）。四轮独立驱动电动汽车节能转矩优化分配控制策略，过驱动电驱动系统容错控制策略市场前景1、与整车厂、行业头部供应商联合开发。2、为整车厂、供应商厂家做技术服务。实施条件该团队的控制系统目前是独立的VCU与整车CAN通讯，后续合作可以接入成熟的ESP/VCU/BCM集成ECU内部，也可以和整车厂研发部门合作开发整车控制器。
东南大学
2021-04-11