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一种包覆超细粉体的原子层沉积方法与装置
本发明公开了一种包覆超细粉体的原子层沉积方法与装置,该方法的特征在于,在前驱体的吸附过程中引入了流化气,利用流化气吹散粉体,实现粉体的充分分散。该装置包括反应腔体,供应系统,真空系统,加热系统,监测系统和控制系统,其特征在于,供应系统包括流化气源,流化气通过流化气输送支路进入反应腔体,用于将粉体吹散到整个反应区域。本发明的方法与装置能有效提高粉体包覆率与沉积均匀性,并使得在每次沉积过程中对大量粉体进行包覆成为可能,提高了粉体包覆的效率。
华中科技大学 2021-04-14
金属有机化学气相沉积工艺和反应器设计
项目简介 本成果基于金属有机化学气相沉积(MOCVD)GaN 生长的化学反应动力学原理和传热 传质原理,设计了一种新的 GaN 生长的 MOCVD 工艺,以及相应的新的 MOCVD 反应器。新 工艺可以大大减少气相寄生反应、提高衬底上方的温度和浓度均匀性,加大生长窗口。 改进了传统的 MOCVD 工艺窗口窄,对温度和浓度过于敏感等缺点,属国际首创。围绕该 成果已申请多项发明专利。 性能指标
江苏大学 2021-04-14
微波等离子体化学气相沉积金刚石装备及产品
微波等离子体化学气相沉积法合成金刚石技术是代表化学气相沉积(CVD)合成金刚石技术国际先进水平和发展方向的高新技术,本技术的主要成果包括以下几方面内容: 高效能微波等离子体化学气相沉积金刚石装备的设计与制造; 钯管提纯氢气装置设计与制造; 微波等离子化学气相沉积(CVD)合成金刚石技术及产品; 金刚石后续加工技术及应用。
太原理工大学 2021-05-05
电化学沉积制备单原子催化剂的普适性方法
近日,中国科学技术大学合肥微尺度物质科学国家研究中心和化学物理系曾杰教授、周仕明副教授研究团队发展出了一套利用电化学沉积制备单原子催化剂的普适性方法,利用该方法研究人员成功制备出了34种单原子催化剂,覆盖了多种过渡金属和多种衬底。相关成果发表在《自然·通讯》上。发展对衬底和金属无选择性的普适性单原子合成方法具有重要意义。研究人员在电化学三电极体系下进行电化学沉积,并通过阴极沉积和阳极沉积获得了两种Ir1/Co(OH)2单原子催化剂。此外,研究人员又探究了沉积条件(前驱体浓度、沉积圈数和沉积速率)对单原子形成的影响,发现当金属的负载量低于某一限度时,可以获得单原子;高于这一限度时则有金属团簇或颗粒形成,这一变化类似于液相中晶体生长中的成核过程(图1)。电化学沉积制备单原子的机理研究。(a)阴极沉积示意图;(b)阳极沉积示意图;(c)在阴极沉积中,前驱体浓度、沉积量和单原子形成的关系;(d)在阳极沉积中,前驱体浓度、沉积量和单原子形成的关系。为了证明该方法的普适性,研究人员又在氢氧化钴、硫化钼、氧化锰、氮掺杂的碳等衬底上成功获得覆盖3d、4d、5d金属的单原子催化剂,并且对所制备的单原子催化剂的结构表征后发现,阴极和阳极沉积获得的同一单原子催化剂具有不同的电子结构,这为其在不同催化反应中的应用提供了可能。研究人员还对所得单原子催化剂在电催化水分解反应中的性能进行了探究。实验结果表明,阴极沉积所得的一些催化剂在电催化析氢反应中表现出了优异的性能,同时,阳极沉积所得的一些催化剂在电催化析氧反应中也表现出了良好的性能。该制备单原子催化剂的普适性方法不仅为单原子催化领域注入了新的活力,而且为今后系统性研究催化剂结构和性能之间的关系提供了新的思路。论文链接:https://www.nature.com/articles/s41467-020-14917-6.pdf详细阅读:http://news.ustc.edu.cn/2020/0313/c15884a414545/page.htm
中国科学技术大学 2021-04-10
一种用于制作原子层沉积膜的可拆卸喷头及装置
本发明公开了一种用于制作原子层沉积膜的可拆卸喷头及装置。用于制作原子层沉积膜的喷头,包括进气管路、进气口和出气口;所述进气口内部为空腔;所述出气口内部形成空腔,分为上半部分和下半部分,其上半部分与下半部分之间设有漏斗形结构;进气管路与进气口固定连接,进气口与出气口可拆卸密闭连接。用于制作原子层沉积膜的装置,包括所述喷头、腔体支撑架、基片承载台和运动平台,腔体支撑架中间形成长条状镂空,可顺序设置多个可拆卸喷头,基片承载台设置在墙体支撑架下方,运动平台带动基片承载台。本发明能适应不同的原子层沉积反应,通
华中科技大学 2021-04-14
混合自组装分子层修饰的基底表面沉积纳米金颗粒的方法
本发明公开了一种混合自组装分子层修饰的基底表面沉积纳米 金颗粒的方法,该方法包括:将将氧化物或无机基底的表面进行洁净 处理,去除硅表面的油脂、油污等有机物、无机物和氧化层,使基底 表面羟基化;随后采用分步法,在预处理过的硅基底浸入含有有机硅 烷自组装分子的溶液中,进行硅表面分子自组装修饰,得到不同的有 机链混合生长的自组装单分子层;最后在已生长有混合自组装单分子 层的基底表面采用柠檬酸盐法沉积金纳米颗粒。按照本发明使用的基 底清洗方法和改性方法可通过自组装分子的生长时间来实现对金纳米 颗粒均匀分布的
华中科技大学 2021-04-14
一种基于熔融沉积成型技术的3D打印机
本实用新型公开了一种基于熔融沉积成型技术的3D打印机,属于3D打印技术领域,可简化打印机喷嘴结构、提高打印效率以及打印稳定性。所述的基于熔融沉积成型技术的3D打印机,包括打印机喷嘴和设置于打印机喷嘴下方的打印平台,还包括平台移动机构,所述打印机喷嘴固定设置,所述打印平台安装在所述平台移动机构上,所述平台移动机构可使所述打印平台分别沿X方向、Y方向和Z方向往复移动,其中X方向、Y方向和Z方向分别为三维笛卡尔坐标系中三个坐标轴所对应方向。本实用新型实现了仅由打印平台的三维复合移动即可实现3D打印过程所需的相对移动,可有效解决在打印时挤出物料不稳定的问题,进而提高打印质量和打印速率。
四川大学 2017-12-28
实验室EDI超纯水设备
EDI(电去离子)是一种将电渗析和离子交换技术相结合的超纯水制备工艺-2。 核心优势:其最大的优点是在直流电场的作用下,系统内的离子交换树脂可以连续不断地自动再生,无需像传统混床离子交换那样停机使用酸碱进行化学再生-2。这使得它可以连续、稳定地生产高纯度水,无化学污染排放,运行和维护成本也更低-2。 出水能力:采用EDI技术为核心的系统,通常结合反渗透(RO)等前置工艺,可以稳定地产出电阻率达到15 MΩ·cm以上的高纯水-2,最终出水的电阻率最高可达18.2 MΩ·cm(25℃)的超纯水-1-5-8
青岛华膜环保设备有限公司 2025-11-25
一种在超细钨丝表面电沉积铝镁合金薄膜的方法
本发明提供了一种在超细钨丝表面电沉积铝镁合金薄膜的方法。该方法克服了在有机溶剂、离子液体体系中电沉积铝镁合金薄膜存在镀液体系不稳定,原料成本高昂,镀液配置不易,使用寿命较短,制得的铝镁合金薄膜中镁含量较低等问题。该方法在低温无机熔盐体系中,氯化铝和氯化镁作为主盐,氯化钠和氯化钾作为支持电解质;以超细钨丝作为电沉积阴极,铝为阳极,控制电镀温度,电镀时间以及电流密度,在惰性氛围保护下进行铝镁合金薄膜在超细钨丝表面的电沉积。
电子科技大学 2021-04-10
一种高分子辅助沉积高温超导涂层导体超导层的方法
本新技术成果(ZL200810044289.1)于2009年12月2日授权。
西南交通大学 2016-06-27
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