本发明的硅基悬臂梁耦合间接加热式毫米波信号检测仪器是由传感器、模数转换和液晶显示三大模块组成，传感器模块是由悬臂梁耦合结构、功率分配／合成器、间接加热式微波功率传感器和开关构成，衬底材料为高阻Ｓｉ，功率通过输入端口对应的ＣＰＷ信号线终端的间接加热式微波功率传感器进行检测；频率检测通过利用间接加热式微波功率传感器测量两路在中心频率处相位差为９０度的耦合信号的合成功率实现；相位检测通过将两路在中心频率处相位差为９０度的耦合信号，分别同两路等分后的参考信号合成，同样利用间接加热式微波功率传感器检测合成功率

随着通信事业的发展和各类通信网的建立，卫星通信系统中的干扰和盗用问题显得尤为突出。盗用大致可分两种情况，其一是利用空闲转发器的频带资源进行传输，另一种则是在正常业务信号上叠加直接序列扩频（DSSS）信号进行盗用信号的传输。前一种盗用方式比较易于检测，而后一种盗用方式则成为卫星通信与无线电管理领域的重要问题。 本系统采用现代信号处理技术，可以根据对接收混合信号的分析来确定信号中是否存在盗用信号，具有检测效率较高，正确率较高的特点。

本系统采用以工控机为基础的DCS为技术核心，集传感器技术、计算机技术、控制技术、PLC水压控制技术、图像分析识别技术为一体的测量方法，实现对中华人民共和国城镇建设行业标准CJ164-2002关于《节水型生活用水器具标准》规定的节水型便器需要进行的3个部分共15个项目的高精度自动检测，包括外观，便器排水量，固体物排放，排水管道输送特性等。该系统实现了测试流程控制，参数采集，过程模拟，数据查询，曲线显示，故障报警，报表打印等功能，友好的人机界面使得检测系统的操作更加快捷，人性化，技术先进新颖。 该系统样机于2006年7月研制完成，已可产品化。

技术亮点 ❖ 单轴/双轴测量； ❖ 超宽测量范围：±180°； ❖ 卓越的测量精度，0.01°（全量程）； ❖ 工业级可靠性设计； ❖ 符合严苛工业环境应用要求； ❖ 多种标准输出接口，便于系统集成与扩展。   应用范围 该系列产品特别适用于：建筑结构健康监测（古建筑、历史遗迹、危房等）、工业自动化控制系统以及高精度角度测量应用场景需要长期稳定监测的工业现场。   产品介绍 STS标准输出型倾角传感器是瑞惯科技专注于工业自动化控制领域而研发的产品。该产品采用紧凑型工业设计，配备RS485/RS232标准串行通信接口，集成高性能MEMS倾角传感单元和24位高精度差分A/D转换器，结合五阶数字滤波算法，可实现水平面倾斜角与俯仰角的高精度测量。 凭借其优异的测量精度、可靠的工业级性能和灵活的配置方案，STS标准输出型倾角传感器已成为工业测量领域的高性能解决方案。   性能参数 STS 条件 参数 测量范围 - ±10° ±30° ±60° ±90° ±180° 测量轴   - X Y轴 X Y轴 X Y轴 X Y轴 X轴 分辨率1） - 0.001° 精度 最大绝对误差2） 室温 0.01° 0.01° 0.015° 0.02° 0.02° 均方根值误差3） 室温 0.008° 0.008° 0.008° 0.009° 0.009° 零点温度系数4） -40～85℃ ±0.0005°/℃ 灵敏度温度系数5） -40～85℃ ≤0.01%/℃ 上电启动时间   0.5S 响应频率 20Hz 输出信号 TTL / RS232 / RS485可选 通信协议 串口通讯协议 / MODBUS RTU协议 可选 电磁兼容性 依照EN61000和GBT17626 平均无故障工作时间 ≥99000小时/次 绝缘电阻 ≥100兆欧 抗冲击 100g@11ms、三轴向(半正弦波) 抗振动 10grms、10～1000Hz 防水等级 IP67 电缆线 标配2米M12航空插头带PVC屏蔽电缆线，线重≤120g 重量 ≤150g(不含电缆线) 1) 分辨率：在有效量程内可识别的最小角度变化量，反映其对微小倾角波动的监测能力。 2) 最大绝对误差（MAE）：全量程范围内，对多个标准角度点进行测量，各测量值与实际角度值偏差绝对值的最大值。该参数表征产品在最不利情况下的测量偏差极限。 3) 均方根误差（RMSE）：量程范围内，对固定角度点进行多次重复测量（采样次数≥16次），计算各测量值与实际角度值偏差的均方根值。该参数反映测量结果的重复性与稳定性，是评估系统随机误差的重要指标。 4) 零点温度系数：传感器在零输入状态下，其输出值随温度变化的比率，定义为额定工作温度范围内零点偏移量与常温基准值的比值。   5) 灵敏度温度系数：传感器满量程输出值随温度变化的稳定性指标，表征额定温度范围内灵敏度相对于常温参考值的漂移率。

本发明公开了一种电子回旋共振加热毫米波发射器。其用于与 波导连接，包括真空腔体，以及设置在真空腔体内的极化镜、椭球反 射镜和平面镜；极化镜设置在波导的输出光路上，与波导呈 45°夹角， 用于将由波导输出的毫米波极化并反射，得到极化毫米波；椭球反射 镜设置在极化毫米波的输出光路上，与极化毫米波呈 45°夹角，用于 将极化毫米波聚焦并反射，得到聚焦毫米波；平面镜设置在聚焦毫米 波的输出光路上，用于将聚焦毫米波反射后注入等离子体加热腔，对 等离子体进行加热和电流驱动。本发明能够实现毫米波的实时极化， 并能

本发明公开了一种频率可调的太赫兹波超材料调制器，包括周 期排列的单元器件，每一个单元器件包括衬底、位于衬底上的功能材 料层以及位于功能材料层上的金属谐振单元；当功能材料层从绝缘相 变成金属相，功能材料层的电导率呈指数倍增加使得金属谐振单元的 中间开口电容的面积增加，金属谐振单元的谐振频率随着电容的增大 而变小实现了对单元器件的频率调谐。本发明采用在太赫兹波段低传 输损耗衬底上制作周期排列的金属开口谐振单元、利用金属绝

苯系物（苯、甲苯、二甲苯等）的污染极大地威胁到人体的健康和生命安全，迫切需要高效、低成本苯系物气体传感器。然而，苯系物由于化学键较强而导致传统的半导体气敏材料难以对其高效检测。本成果利用“催化-气敏”串联策略，通过设计CeO2/ZnO双层结构，实现半导体气敏材料对苯系物高效检测。

本发明的硅基缝隙耦合式Ｔ型结的间接式毫米波信号检测仪器是由传感器、模数转换、ＭＣＳ５１单片机和液晶显示四大模块组成，传感器是由共面波导传输线、缝隙耦合结构、移相器、单刀双掷开关、Ｔ型结功分器、Ｔ型结功合器以及间接式热电式功率传感器所构成，整个结构基于高阻Ｓｉ衬底制作，上方的两个缝隙耦合结构实现信号的频率测量，下方的两个缝隙耦合结构实现信号的相位测量；Ｔ型结功分器和Ｔ型结功合器主要是由共面波导传输线、扇形缺陷结构和空气桥所组成；间接式热电式功率传感器由共面波导传输线、终端电阻以及热电堆所构成。模数转换

本发明的硅基缝隙耦合式Ｔ型结的直接式毫米波信号检测仪器是由传感器、模数转换和液晶显示三大模块组成，传感器由共面波导传输线、缝隙耦合结构、移相器、单刀双掷开关、Ｔ型结功分器、Ｔ型结功合器以及直接式热电式功率传感器所构成，该结构是制作在高阻Ｓｉ衬底上，上方的两个缝隙耦合结构实现信号的频率测量，下方的两个缝隙耦合结构实现信号的相位测量；Ｔ型结功分器和Ｔ型结功合器是由共面波导传输线、扇形缺陷结构和空气桥组成；直接式热电式功率传感器由共面波导传输线、热电偶和隔直电容所构成。模数转换部分由ＳＴＭ３２和ＡＤ６２０

声表面波瓦斯传感器具有体积小、灵敏度高、工作稳定、生产成本低、易于集成化和无线化等独特优点，能够有效解决热催化式瓦斯传感器的零点漂移、定期维护难和维护费用高等问题，并且能弥补光学瓦斯传感器的占用空间大、传感占距长和传感分析复杂等不足，能有效提高煤矿瓦斯检测和预警技术，保证煤矿安全。成果获 2012 西安市科学技术奖三等奖；获批国家实用新型专利 1 项。