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演示温度计
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温州市五星实业有限公司
2021-08-23
一种单缸单活塞内孔用机械手
本发明公开了一种单缸单活塞内孔用机械手，包括气缸、锁和卡爪，气缸包括缸体、活塞和活塞杆， 活塞将气缸内部分别前腔室和后腔室两部分，锁包括保持架、导向块和两个锁球，保持架套在活塞杆上， 保持架设有多个径向对称分布的滑槽，两个锁球设于导向块两端且均位于滑槽内，活塞杆和气缸内壁上 均设有与对应锁球配合的半球形凹槽，卡爪包括基体和磁性伸缩块，基体底部与导向套固定连接，磁性 伸缩块通过基体上伸缩孔伸入基体内与活塞杆相接触，磁性伸缩块和活塞杆上设有相互配合的凸台和内 凸锥块，活塞杆上设有与保持架上表面相接触的圆台。本发明将传统的两级气缸结构简化为单缸单活塞 结构，实现卡爪的伸缩和抓紧，结构简单，重量减轻，实用性强。
武汉大学
2021-04-13
一种单缸双活塞内孔用机械手
本发明提供一种单缸双活塞内孔用机械手，包括气缸、一级活塞(21)、二级活塞(22)和弹簧卡 爪(3)，所述的气缸包括缸体(11)、设置在气缸下端的端盖(12)和设置在缸体内壁的活塞导向套(13)， 所述的一级活塞(21)设置在缸体中部，所述的二级活塞(22)设置在缸体(11)下部，二级活塞(22) 上下端均设有活塞杆;本发明的气缸结构中，将传统的两级气缸结构简化为单缸双活塞结构，两个活塞 将气缸腔
武汉大学
2021-04-14
一种多路液体温度调节装置及温度控制方法
一种多路液体温度调节装置及其温度控制方法，属于液体温度 调节装置及其温度控制方法，解决现有光刻机浸没液温度调节控制装 置只具有一路输出的温度控制能力以及不能协同调节远端、近端供水 温度的问题。本发明的温度调节装置，包括纯水供应部分、注液部分 和控制系统，纯水供应部分放置于远端的纯水设备内，注液部分放置 于光刻机内部；纯水供应部分和注液部分之间通过远传管路连接；控 制系统分别采集纯水温度传感器、供水温度传感器、第一～第三温度 传感器的温度值；并对第 1～第 3 加热器的加热电压进行控制，同时 对冷却水
华中科技大学
2021-01-12
一种多路液体温度调节装置及温度控制方法
一种多路液体温度调节装置及其温度控制方法，属于液体温度调节装置及其温度控制方法，解决现有光刻机浸没液温度调节控制装置只具有一路输出的温度控制能力以及不能协同调节远端、近端供水温度的问题。本发明的温度调节装置，包括纯水供应部分、注液部分和控制系统，纯水供应部分放置于远端的纯水设备内，注液部分放置于光刻机内部；纯水供应部分和注液部分之间通过远传管路连接；控制系统分别采集纯水温度传感器、供水温度传感器、第一～第三温度传感器的温度值；并对第 1～第 3 加热器的加热电压进行控制，同时对冷却水流量伺服阀的驱动
华中科技大学
2021-04-14
超精密温度控制装置
针对极紫外光刻机物镜的温管和温控技术难题，设计和开发了针对极紫外光刻机的具有自主知识产权的超精密温控装置，目前已应用在半导体制造业及光刻机生产厂商、高档数控行业和民用航天上，涉及企事业单位共30余家。研制了不同控温精度和控温功率的系列产品，采用主动温度控制方法，解决了单点温度控制稳定性和多通道温度控制均匀性的问题；设计了具有功能模块化的温控层次结构，解决了超精密温控中系统内外的扰动和时滞问题，控温速度快；研制了大功率串联半导体制冷模块，结合模糊PID控制算法，提高了收敛速度、控制精度和抗扰动能力。项
电子科技大学
2021-04-14
13023干湿温度计
宁波华茂文教股份有限公司
2021-08-23
13007数字温度计
宁波华茂文教股份有限公司
2021-08-23
自记温度计
宁波华茂文教股份有限公司
2021-08-23
地面温度表
宁波华茂文教股份有限公司
2021-08-23