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半导体设备超洁净流控系统及其受制约流控零部件
浙江大学聚焦超洁净流控系统基础研究、技术攻关和产品研发,攻克了影响光刻分辨率、良品率与产率的1mk级温度测控、5ppt级金属离子测控、20μm级气泡测控、50nm级残留液膜测控等关键核心技术 一、项目分类 关键核心技术突破 二、技术分析 如何通过超洁净流控技术降低流控污染,减少曝光缺陷,提升曝光良率,是国产高端半导体制造装备研制面临的重大挑战,直接关乎整机产品的产线应用性能与市场竞争力。此外,作为各类半导体制造装备的共性核心零部件,超洁净流控部件市场被美国、日本等国垄断,使我国半导体制造装备产业面临核心零部件“卡脖子”风险。浙江大学流体动力与机电系统国家重点实验室启尔团队所承担的高端半导体制造装备核心分系统之一的超洁净流控系统,自2004年以来在国家863计划和国家02专项支持,聚焦超洁净流控系统基础研究、技术攻关和产品研发,攻克了影响光刻分辨率、良品率与产率的1mk级温度测控、5ppt级金属离子测控、20μm级气泡测控、50nm级残留液膜测控等关键核心技术,完成了超洁净流控系统九大组件的研制和集成测试,为半导体制造设备扫描速度与产能的提高提供基础理论与方法依据,同时自主研发的半导体机台核心超洁净流控零部件实现了产品化,突破了国外技术的封锁,为我国半导体制造的发展与自主创新提供了基础支撑。
浙江大学 2022-07-22
生物组织石蜡包埋机
1.微电脑控制,中文界面,彩色液晶显示,触摸屏操作,简洁、直观、方便。全程电脑自动控制或手工控制开关机,自动加热并恒温,自动制冷并恒温。2.智能保护:任意路不加热、不制冷或温度传感器损坏,界面中文报故障,并自动切断该路的加热或制冷,保护该路器件免受损坏。3.开关机:任意预设周1至周日每天任意自动开关机两次;手动开机在工作4小时后自动关机。 4.专利流蜡控制方式,流蜡管道不滴蜡、渗蜡;出蜡方式:手动、脚动,出蜡流量可调节。5.分体式结构:包埋部分和冷冻台分开,包埋部分带小冷台,冷冻台为整体铝合金材质。6.工作台和小冷台二路照明,照明灯采用DC24V  LED灯珠,手动开关灯珠照明,在主机停止工作后自动熄灭。7.自带放大镜,便于观察微小标本。(可配置)8.制冷方式:冷冻台:压缩机制冷。为避免因压缩机反复启动而损坏压缩机,自动延时启动压缩机。小冷台:半导体制冷。9、温度控制:室温~99℃预设,恒温精度±1℃
孝感奥华医疗科技有限公司 2025-01-21
一种多径网络基于链路时延控制的软负载均衡方法
本发明公开了一种多径网络中基于链路时延控制的软负载均衡 方法。在此算法模型中,决定流量的最佳路径分配时,同时考虑了传 播时延和链路带宽,在无额外开销的基础上,一方面,可以实现最小 化最大链路端到端时延,减小接收端数据包重排序的等待时延;另一 方面,可以使各条链路的端到端时延差最小,因此减小了数据包时延 抖动,降低了数据包进行重排序的风险。数据包进行重排序的风险越 低、等待时延越小,数据包重排序进程带来的时延越小。因此,本发 明提出的算法模型不仅能减小端到端时延,还能减小数据包重排序进 程的时延,进而使得成功传输一个数据包的时延减小,优化多径网络 整体的吞吐量。
华中科技大学 2021-04-11
一种采用图形喷嘴的有机气相成膜装置及其成膜方法
本发明公开了一种采用图形喷嘴的有机气相成膜装置,包括蒸 发腔、与蒸发腔连通的喷印头及与喷印头相距一定间隙的基板载台, 基板载台受控制相对喷印头分别沿喷印头主轴方向、与喷印头主轴垂 直平面内的水平方向以及平面内与水平方向垂直的第三方向直线移 动。喷印头包括喷印头基体、包覆喷印头基体的加热套、位于喷印头 基体一端的图形喷嘴、与图形喷嘴连通的混合腔以及连通所述蒸发腔 与混合腔的气体入口。图形喷嘴的开口具有一定形状,蒸发腔用于蒸 发固体有机材料得到气相有机材料并通过喷印头的气体入口进入喷印 头的混合腔,接着
华中科技大学 2021-04-14
连续流微反应器技术
上海交通大学 2021-04-11
三分螺旋折流板换热器
该项目应用领域:可替代现有各种管壳式换热器方案,尤其对贵重材料应用的经济性更好,如铜管干式蒸发器、钛管闭式冷却器等。
东南大学 2021-04-10
新型微流控注射器“滤头”
开发了一种新型微流控注射器“滤头”,通过简单将样品注入滤头即可实现微粒的“片上浓缩”
东南大学 2021-04-11
并流湿式烟气脱硫除尘技术
一、 项目简介并流湿式脱硫除尘一体化技术及设备是针对锅炉烟气处理、化工、制药、食品、废气处理等领域的含尘、含硫气体进行净化处理开发的一种运行费用低、脱硫、除尘效率高的环保技术与设备。设备内安装有自主研发的具有自主知识产权的旋风式气液接触元件,含尘、含硫气体与清洗液体同时从设备顶部并流进入,在高速通过旋风式高效接触元件时对产生强烈的破碎、搅拌、冲击作用,增强除尘效果,气体得到净化。并流湿式脱硫除尘流程如下图所示。二、 项目技术成熟程度已应用在实际工业生产中。应用实例包括:1. 在河北邢台英都化工厂含单质硫气体的净化工艺中,成功地解决了原有气体净化系统中气体单质硫含量不达标的问题,除尘效率达到99.8%;设备由原来的直径3米、高32米下降为直径1.6米,高14.64米,设备投资大大降低;运行可靠、操作简单;经河北省产品质量监督检验院检测,总湿板压降120Pa。  2. 本技术和设备在山东得克公司脱硫工程中应用,气量10000Nm3/h,设备直径φ1000,高6100mm,脱硫率达99.5%。三、 技术指标采用气液并流,空塔气速可达到5~15m/s,液气比达到5 L/m3;全塔总压降<150Pa,脱硫率≥99.5%,总除尘效率可达到99%;对0~5μm粒径的微细粉尘分级效率达到85%;与气液逆流相比,处理相同气量和粉尘浓度时,能耗可降低25%,设备尺寸减小50%~60%,操作费用和设备投资可减少40%以上;操作时不会出现液泛、雾沫夹带或带水现象,塔板上无结垢;操作时不会产生粉尘的再飞扬问题。四、 市场前景并流湿式脱硫除尘一体化技术及设备是针对锅炉烟气处理、化工、制药、食品、废气处理等领域的含尘、含硫气体进行净化处理开发的一种运行费用低、脱硫、除尘效率高的环保技术与设备。氨法、双碱法、镁法、石灰石—石膏法等各种方法锅炉烟气脱硫除尘;钢铁行业烧结烟气的脱硫除尘;化工、制药、食品、建材等行业的工业除尘;烟气脱硫脱硝除尘一体化操作;有害气体的净化、冷却和增湿;处理高温、高湿和有爆炸危险的气体;H2S、HCl、NH3、HF等气体的吸收;恶臭气体的脱臭。五、 规模与投资需求根据不同需求可对应多种解决方案。六、 合作方式技术入股,技术转让等形式。七、 项目具体联系人及联系方式项目负责人及联系人:张少峰电话: 022-60204596 13132081566 邮箱: shfzhang@hebut.edu.cn
河北工业大学 2021-04-11
螺旋折流板换热器热力设计技术
管壳式换热器在现代工业中占有十分重要的地位,特别是在动力、能源、化工、空调制冷、石油、冶金、核能等工业领域中应用极为广泛,它是工艺流程中的一种主要设备。传统的弓形折流板换热器存在流动死区,易结垢,无法充分利用传热面积从而导致传热系数低,压降大,管束易产生流体诱导振动等缺点。高效的管壳式换热设备能从多方面节省能源的消耗:一方面可以节省驱使换热器中冷热两种流体的运动所需的功耗,同时换热面积的缩小可以减少生产换热设备所需的能耗以及原材料,有效的结构形式还可以减少换热面结垢的可能性,延长运行周期。因此换热设备的高效强化是实现我国过程工业节能的关键因素之一。据统计,管壳式换热器大约占世界换热器市场总份额的35–40%,且在石油、化工领域管壳式换热器能占到高达70%的份额。因此对螺旋折流板管壳式换热器进行推广应用对于节能具有重要的意义,可以创造巨大的社会效益和经济效益。 上世纪末提出使用螺螺旋折流板支撑结构代替传统的弓形折流板支撑结构可以显著降低壳侧压降,也有利于强化换热,具有良好的综合性能,虽然近十余年中国内外对于螺旋折流板管壳式换热器开展了较多的研究,但现有的公开发表的资料中未见到有关螺旋折流板换热器的完整的设计方法介绍。本技术基于本课题组大量的试验与数值模拟研究并参考相关公开发表的文献,开发一套完整的热力设计方法和软件。 该项目是在教育部重点课题和“973”项目的大力支持下,经过多年的努力完成的。针对单壳程多管程单相介质流动换热的螺旋折流板管壳式换热器所开发的热力设计软件,该软件拥有完全的自主知识产权。本软件采用VB6.0、EXCEL2003和FORTRAN混合编程。VB形成可视化操作界面,可视化数据输入输出,实现数据传递功能;调用FROTRAN语言编制的可执行程序读取所需数据完成核心计算;调用EXCEL软件进行相关数据的保存和输入输出管理。
西安交通大学 2021-04-11
一种初期雨水弃流装置
本实用新型提出了一种初期雨水弃流装置,包括井体、进水管、弃流管和出水管,井体侧壁上端设有进水口,井体内中部设有隔板,且隔板的最高端不高出进水口,隔板将井体内部分隔成过滤腔和弃流腔,且过滤腔设置在井体靠近进水口一侧,井体侧壁上设有与过滤腔连通的出水口以及与弃流腔连通的弃流口,过滤腔内填充有砂层,井体内靠近进水口处并位于砂层上方设有活性炭层;进水管与进水口连通,弃流管与弃流口连通,出水管与出水口连通。本实用新型能够将小流量的雨水资源通过过滤等方式净化其水质,加以利用;通过纱布网对活性炭层进行固定,以防止
安徽建筑大学 2021-01-12
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