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半导体设备超洁净流控系统及其受制约流控零部件
浙江大学聚焦超洁净流控系统基础研究、技术攻关和产品研发，攻克了影响光刻分辨率、良品率与产率的1mk级温度测控、5ppt级金属离子测控、20μm级气泡测控、50nm级残留液膜测控等关键核心技术
一、项目分类
关键核心技术突破
二、技术分析
如何通过超洁净流控技术降低流控污染，减少曝光缺陷，提升曝光良率，是国产高端半导体制造装备研制面临的重大挑战，直接关乎整机产品的产线应用性能与市场竞争力。此外，作为各类半导体制造装备的共性核心零部件，超洁净流控部件市场被美国、日本等国垄断，使我国半导体制造装备产业面临核心零部件“卡脖子”风险。浙江大学流体动力与机电系统国家重点实验室启尔团队所承担的高端半导体制造装备核心分系统之一的超洁净流控系统，自2004年以来在国家863计划和国家02专项支持，聚焦超洁净流控系统基础研究、技术攻关和产品研发，攻克了影响光刻分辨率、良品率与产率的1mk级温度测控、5ppt级金属离子测控、20μm级气泡测控、50nm级残留液膜测控等关键核心技术，完成了超洁净流控系统九大组件的研制和集成测试，为半导体制造设备扫描速度与产能的提高提供基础理论与方法依据，同时自主研发的半导体机台核心超洁净流控零部件实现了产品化，突破了国外技术的封锁，为我国半导体制造的发展与自主创新提供了基础支撑。
浙江大学
2022-07-22
红土镍矿直接还原—酸浸分步提镍铁新技术
世界70%的镍矿资源为红土镍矿，而目前世界90%的镍是从硫化镍矿中提取的，且能供传统工艺提取的镍金属矿物日益短缺，由于镍是现代工业重要的战略技术资源，形势严峻。而大量红土镍矿难以应用的原因是技术的限制，本技术采用直接还原—酸浸分步提镍的方法将火法与湿法方法相结合，通过红土镍矿直接还原方法选别铁，富集镍的尾矿进行酸性湿法浸出，浸出液纯化后制备电镍。
北京科技大学
2021-04-13
一种利用有机胺还原制备银纳米线的方法
本发明公开了一种利用有机胺还原制备银纳米线的方法，包括如下步骤：(1)将银前驱体溶液、表面活性剂溶液、卤素无机盐溶液以及有机胺溶剂混合，银前驱体溶液、表面活性剂溶液、卤素无机盐溶液中所用的溶剂均为水；(2)将混合溶液置于恒温条件下加热反应；(3)分离得到所述纳米线，置于乙醇中制成分散液。本发明具有以下优点：(1)该制备方法反应条件简单，原料成本低；(2)该制备方法反应时间短，产量高，适合工业生产；(3)该方法制得产物
华中科技大学
2021-04-14
氧化还原酶的发现及其在生物催化中的应用
（1）针对氧化还原酶在对映选择性和催化活性等方面的适用局限性问题，建立分子改造与基因组挖掘技术平台。通过理性设计改造野生型酶，改善和强化酶的催化特性与功能，获得具有自主知识产权的高活性、高立体选择性制备芳基手性醇的重组氧化还原酶及新基因，拓展了酶的适用性，并为进一步认识酶分子催化机制奠定基础；
（2）建立了高效稳定全细胞催化的(S)-苯基乙二醇公斤级制备体系，在 100L 罐中，将底物浓度从 15 g/L 提高到 25 g/L，获得了生产规模放大和产物的高效提取与精制等重要研究成果。产物光学纯度和产率分别达到 99%和 93%。最终产物收率为 85%；
（3）以数种手性醇酸化合物(R)-苯基乙二醇、(S)-间氯苯基乙二醇、(R)- 扁桃酸、(R)-2-辛醇为模型产物，通过生物催化剂筛选、理性设计催化过程、合理修饰底物和采用原位分离策略等，大大提高微生物不对称还原潜手性化合物的效率，为手性化合物的制备提供了高效、安全的生物途径。
江南大学
2021-04-11
燃煤烟气碳管法汞价态取样装置（30B-SHg）
吸附管法（EPA Method 30B）逐渐取代湿化学法（OHM）成为燃煤烟气汞形态浓度取样的主流方法。但受限于氧化态汞 (Hg2+)选择性吸附剂研究的商业保密性，现有价态汞碳管主要依赖于进口产品，价格非常昂贵。 本技术装置利用自主研发的高性能高精度Hg2+选择性吸附剂，实现燃煤烟气汞价态取样和浓度的精确测量。目前已成功应用于10余座燃煤电厂汞价态浓度30B碳管法取样和测试。 本技术装置采用独立双通道双温控系统，气密性好，集成度高、操作简单，取样快速精确。
东南大学
2021-04-11
燃煤烟气碳管法汞价态取样装置（30B-SHg）
吸附管法（EPA Method 30B）逐渐取代湿化学法（OHM）成为燃煤烟气汞形态浓度取样的主流方法。但受限于氧化态汞 (Hg2+)选择性吸附剂研究的商业保密性，现有价态汞碳管主要依赖于进口产品，价格非常昂贵。 本技术装置利用自主研发的高性能高精度Hg2+选择性吸附剂，实现燃煤烟气汞价态取样和浓度的精确测量。目前已成功应用于10余座燃煤电厂汞价态浓度30B碳管法取样和测试。 本技术装置采用独立双通道双温控系统，气密性好，集成度高、操作简单，取样快速精确。
东南大学
2021-04-11
一种蓬松态纳米氧化钇粉体的制备方法
本发明公开了一种蓬松态纳米氧化钇粉体的制备方法，属于超 细纳米粉体合成技术领域。先将含钇无机盐、去离子水和络合剂混合， 在室温下搅拌均匀得到含钇的浆液，含钇无机盐和络合剂的重量比为 8/0.5～8/10；当目标产物为 RE:Y2O3 时，含钇无机盐中掺杂有稀土离 子；再将浆液，或者由浆液得到的溶胶或干凝胶在 400～900℃进行煅 烧，使其充分分解，得到蓬松态 Y2O3 或 RE:Y2O3 纳米粉体。本发明 利用新型
华中科技大学
2021-04-14
连续流微反应器技术
上海交通大学
2021-04-11
三分螺旋折流板换热器
该项目应用领域：可替代现有各种管壳式换热器方案，尤其对贵重材料应用的经济性更好，如铜管干式蒸发器、钛管闭式冷却器等。
东南大学
2021-04-10
新型微流控注射器“滤头”
开发了一种新型微流控注射器“滤头”，通过简单将样品注入滤头即可实现微粒的“片上浓缩”
东南大学
2021-04-11