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一种硅通孔互连结构的制备方法
本发明公开了一种硅通孔互连结构的制备方法，步骤为①将键合硅器件晶圆键合于硅晶圆基板上；②减薄硅器件晶圆，再刻蚀硅器件晶圆，形成盲孔；③在硅器件晶圆上涂敷一层图案化介电材料(如聚对二甲苯)；④刻蚀图案化介电质层，刻蚀掉盲孔底部的介电材料，保留盲孔侧壁；在基板上形成介电质孔，使介电质孔和盲孔同轴；⑤在介电质孔上沉积一层导电材料，作为导电层，形成导电孔；⑥在导电层上再沉积一层图案化介电质层；⑦移除基板，在导电层上形成焊料微凸点。本发明简化了工艺步骤，减少工艺时间并降低了费用；降低了寄生电容，提升了互连电性
华中科技大学
2021-04-14
一种改进的预制混凝土内墙板的限位结构
本实用新型提供了一种改进的预制混凝土内墙板的限位结构，通过设置角钢、预埋件和预留钢筋；预埋件包括钢板和连接钢筋，两个钢板面平行间距设置，且两个钢板之间通过多个连接钢筋固定连接；预埋件埋设在预制混凝土内墙板内；角钢的一侧边与钢梁固定连接，另一侧通过螺栓与预制混凝土内墙板顶部的预埋件固定连接；预留钢筋的一端设在楼层板状混凝土内，另一端穿过楼层板状混凝土并向外延伸到预制混凝土内墙板下端的预留锥形孔内。本实用新型的连接新形式的应用能够使得预制混凝土内墙与主体结构之间形成柔性连接，满足墙体与主体结构之间的相对
安徽建筑大学
2021-01-12
一种预制混凝土隔墙与主体结构的连接节点
本实用新型提供了一种预制混凝土隔墙与主体结构的连接节点，涉及装配式建筑技术领域，通过预制混凝土隔墙左、右两侧开纵向凹口便于墙体吊装时的竖向起吊，预制混凝土隔墙在预埋连接件的地方开矩形横向连接凹槽以便后期预制混凝土隔墙与主体墙体之间的连接操作，预埋连接件预埋在预制混凝土隔墙内，预埋连接件的底部钩筋与预制混凝土隔墙内的钢筋网片筋相连，以增大预埋件的锚固能力，预制混凝土隔墙与主体结构的连接采用全干式的螺栓连接，大大提高现场施工的作业效率，降低施工成本，且预制混凝土隔墙与主体结构之间的连接为铰接，墙体对主体
安徽建筑大学
2021-01-12
一种加工硅通孔互连结构的工艺方法
本发明公开了一种加工硅通孔互连结构的工艺方法，步骤为：①在基板上刻蚀盲孔；②在基板上沉积一层图案化介电质层；③刻蚀图案化介电质层，刻蚀掉盲孔底部的介电材料，保留盲孔侧壁的介电材料，在基板上形成介电质孔；④在介电质孔上沉积一层导电材料，形成导电孔；⑤在导电层上再沉积一层图案化介电质层，填充导电孔；⑥刻蚀板背面，暴露出导电层，在导电层上形成焊料微凸点。图案化介电质层的材料优选聚对二甲苯。本发明简化了工艺步骤，减少工艺时间并降低了费用；使用二层图案化介电质层，降低了寄生电容，提升了互连电性能，适用于高速和
华中科技大学
2021-04-14
一种多功能蒸渗测坑的地下混凝土结构
本实用新型公开了一种多功能蒸渗测坑的地下混凝土结构，包括上下楼道、电脑监控室、地下控制 大厅、测坑、地下观测廊道、称重式蒸渗仪系统和地下供排水系统;所述上下楼道通往电脑监控室和地 下控制大厅，所述电脑监控室位于上下楼道的半层楼处，下方通往地下控制大厅;所述地下观测廊道与 地下控制大厅相连，所述测坑布置于观测廊道两侧，所述称重式蒸渗仪系统设于观测廊道尾端。本实用 新型建造方便、性能可靠，位于上下楼道
武汉大学
2021-04-14
纳/微米孔结构聚酰亚胺杂化质子交换膜的制备方法
本专利依托国家自然科学基金项目：有序纳/材料的设计、合成及其质子传输性质研究（编号：20704004）。主要是应用基础研究，探索构筑新型高性能杂化质子传输膜的新方法。
本发明主要提供一种新型纳/微米孔结构聚酰亚胺杂化质子交换膜的制备方法。通过将磺化的介孔二氧化硅粒子与磺化聚酰亚胺溶液共混；或在聚酰亚胺及其前驱体溶液中直接加入含有模板剂的二氧化硅溶胶；或以胶体晶模板法制备三维大孔聚酰亚胺膜并向大孔中灌入含有磺酸基或巯基的二氧化硅溶胶，从而将无机的二氧化硅引入到聚酰亚胺中，形成了具有纳/微米孔结构有机-无机杂化聚酰亚胺质子交换膜。本发明由于在制得的复合质子交换膜中引入了无机二氧化硅，所以膜的机械性能有明显的改善，甲醇渗透率也得到了明显的降低，同时由于存在介孔或微孔结构，为质子传输提供了良好的通道，从而有利于质子传导率的提高（大约提高20-50%）。与当前报导和应用的质子传输膜相比，加工方法相对简单，成本低，特别适合于高温条件应用，因此相对于商业化的Nafion117有一定的优势，且在质子传输特性和抗甲醇性方面有较大的改善。
东北师范大学
2021-04-29
具有双峰孔结构的多孔聚合物材料及其制备方法
本发明提供了一种具有双峰孔结构的多孔聚合物材料，该多孔聚合材料中具有开孔结构的大泡孔和闭孔结构的小泡孔。其制备方法如下：(1)以两种热塑性聚合物为原料，在室温预混，然后进行熔融共混并成型；(2)将步骤(1)所得共混物坯体置于反应釜中，通入超临界流体进行处理，处理过程中控制反应釜中的压力和温度使其中的流体保持在超临界状态，当超临界流体在共混物坯体中达到饱和后，将反应釜的温度降低20～80℃，然后通过快速降压法将反应釜中的压力降至常压使共混物坯体发泡，冷却定型；(3)将步骤(2)所得具有闭孔结构小泡孔的聚合物材料浸泡于刻蚀液中进行刻蚀，当所述聚合物材料中的两种聚合物之一完全溶解后，将其取出，即得。
四川大学
2016-09-12
基于双向填充的通孔互联结构制作方法及其产品
本发明公开了一种基于双向填充的通孔互联结构制作方法，包括：（a）在基片第一表面上加工制得第一盲孔；（b）在第一表面上淀积绝缘层、阻挡层和种子层；（c）在第二表面上套刻加工制得第二盲孔，且其深度止于露出第一盲孔中的绝缘层；（d）在第二表面上淀积绝缘层和阻挡层；（e）在第二表面的阻挡层上平铺贴合干膜并执行曝光显影；（f）以干膜作为掩膜，对绝缘层和阻挡层执行刻蚀处理仅保留下种子层；（g）执行填充操作。本发明中还公开了相应的通孔互联结构产品。通过本发明，能够以便于操控、高效率的方式执行填充过程，并获得填充效
华中科技大学
2021-04-14
具有层状孔结构的高通量、耐压超滤膜及其制备方法
研发阶段/n具有层状孔结构的高通量、耐压超滤膜，其特征在于：所述超滤膜的支撑层具有与超滤膜的膜面平行的大孔，这些大孔为多层结构；采用如下方法制备制备：①．用聚合物、磁性材料、添加剂和溶剂配制膜液；磁性材料与聚合物两者在膜液中总质量中的含量为８～５０％，磁性材料与磁性材料＋聚合物的质量比为３０～９９ｗｔ％；添加剂在膜液总质量中的含量为２～１５％；②．在制膜的蒸发与凝胶过程中施加磁力线方向与膜面平行的磁场，磁场强度为１００～１８０００高斯。具有层状孔结构的超滤膜不仅渗透通量高，且在加压运行过程中也不出现
湖北工业大学
2021-01-12
回转振动孔（螺纹孔）加工技术
南京工程学院
2021-04-13