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跨尺度微纳表面结构高精度测量关键技术及系统
本成果创新性发明了白光干涉原子力探针扫描跨尺度微纳表面结构高精度测量技术及系统。
本项目依托华中科技大学仪器学科在表面形貌与结构精密测量领域的传统特色优势和长期积累的科研基础，在国家重大科学仪器设备开发专项、国家自然科学基金仪器研制专项、国家863重点项目课题、国家自然科学基金面上项目等支持下，针对相关制造领域微米尺度、纳米尺度、跨尺度微纳表面结构精密测量问题开展了系列研究。本成果技术主要包括以下方面：
1）提出了白光干涉原子力探针扫描跨尺度微纳表面结构测量原理和方法，共光路融合白光显微干涉与原子力探针传感，突破跨尺度微纳传感瓶颈，解决大动态范围微纳结构测量难题，实现nm-μm-mm跨尺度微纳表面结构高效测量；
2）提出了白光干涉原子力探针扫描跨尺度测量的可溯源标定和坐标统一方法，突破了白光干涉与原子力探针跨尺度微纳传感的坐标统一瓶颈和漂移难题，实现了微纳表面结构跨尺度测量的可溯源和稳定高精度；
3）提出了白光干涉质量评价模型和三维图像噪声区域辨识与重建方法，及二维扫描工作台平面度误差阿贝补偿与二维运动同步计量方法，解决噪声问题与宏微驱动二维工作台运动误差对测量精度的影响问题，为跨尺度微纳表面结构高精度测量提供支撑。
图1 微纳结构多模式跨尺度测量仪器实物图
图2 白光干涉原子力探针扫描跨尺度微纳表面结构测量原理示意图
【技术优势】
本成果项目研制了具有我国自主知识产权的白光干涉原子力探针扫描测量仪等系列微纳表面结构测量仪器，并通过了国家计量院组织的仪器性能和软件的检定测试，纳米尺度原子力垂直测量范围超出国际商用仪器10倍以上，水平动态范围达国际领先水平。
【技术指标】
本成果项目提出了白光干涉原子力探针扫描跨尺度微纳表面结构测量原理和方法，建立跨尺度传感方法，实现nm-μm-mm跨尺度微纳表面结构高效测量。同时，发明的白光干涉原子力探针扫描测量方法与现有商用原子力显微镜相比，垂直测量范围提高10倍，分辨率优于0.01nm。
华中科技大学
2023-05-15
专家报告荟萃㉓ | 南方医科大学副校长马骊：深入数字化建设 推进智能化应用
南方医科大学在教育信息化领域拥有超过30年的研发与建设经验，通过自主研发，成功构建了网络题库与考试系统、新一代综合教务系统、爱课教学支持系统、自主实习服务平台以及全域全员实时闭环的教学评价系统等。面对人工智能（AI）技术的迅猛发展，学校确立了“深化数字化建设、推动智能化应用”的发展方向，致力于在教育教学改革的道路上不断开拓新领域、创造新优势。
中国高等教育博览会
2025-02-11
土贝母皂甙栓塞微囊土贝母皂甙栓塞微囊
成分：从土贝母中提取分离的土贝母皂甙主治：主要用于治疗各种时提瘤有栓塞指征的病人效果：抗肿瘤中药栓塞剂有较好的抗肿瘤作用。临床应用于肿瘤患者术前栓塞肿瘤血管、阻断血供、杀伤肿瘤细胞并能提高机体免疫力。特别对无手术指征的患者，采用栓塞疗法可提高患者的生存质量和生存时间。土贝母皂甙具有抗病毒、抗肿瘤作用，并能提高机体免疫力。在此基础上制备成栓塞剂，具有双重的治
西安交通大学
2021-01-12
微流体脉冲喷射仪及配套微流体器件制备仪
微流体数字化技术通过对裸结构的微喷嘴实施脉冲的惯性力，使微量流体在惯性力与黏性力交替作用下实现微流体的脉冲流动，从而实现数字化可控的微量流体的喷射，适用于液体微喷射、粉体微喷射等领域。 成熟度：基于非晶态玻璃材料毛细加工原理，进行了拉制、锻制、残余应力热处理等工序研究，制作了出微纳米级的微喷嘴、微管道。以玻璃微喷嘴制备仪为平台研究了不同拉制参数、锻制参数对微喷嘴几何形状的影响规律。基于微流体脉冲驱动-控制技术，分别采用拉制、锻制的微喷嘴稳定地制备了均一的微液滴。 微流体
南京理工大学
2021-04-14
【天津市科技创新发展中心】推进主题教育成果转化 赋能党建业务融合发展
2025年4月14日，天津市科技创新发展中心官方微信公众号“天津市科技创新发展中心”以《推进主题教育成果转化 赋能党建业务融合发展》为题对我校进行了报道。
天津市大学软件学院
2025-05-21
科技部党组书记、部长阴和俊《求是》撰文：加快推进高水平科技自立自强 奋力建设科技强国
科技兴则民族兴，科技强则国家强。建设科技强国是以习近平同志为核心的党中央把握世界大势、立足当前、着眼长远作出的重大战略部署，对以中国式现代化全面推进强国建设、民族复兴伟业具有重大而深远的影响。
《求是》2025/07
2025-04-01
基于矢量推进的观测型水下机器人
该基于矢量推进的观测型水下机器人有8个矢量布置的推进器，得益于推进器的矢量布置方式，水下机器人除了完成基本的上浮下潜、平面运动外还可以完成诸如定点旋转、纵横倾运动等运动。
华中科技大学
2021-04-10
工信部发布推进科技成果转化新举措
10月23日，国务院新闻办公室举行新闻发布会，邀请工业和信息化部新闻发言人、总工程师赵志国介绍2024年前三季度工业和信息化发展情况，并答记者问。
国新网
2024-10-25
动态液液固印迹微萃取液相色谱在线联用系统
本技术成果属于分析化学样品前处理领域，研发了一种动态液液固印迹微萃取-液相色谱在线联用系 统，包括磁力搅拌器、水浴瓶、萃取瓶、引流管、蠕动泵、高压六通切换阀、分子印迹固相微萃取材料、 高压六通进样阀、定量环、进样针、液相色谱泵、色谱柱、检测器和液相色谱等，通过动态液液固印迹微 萃取装置和液相色谱的联用，实现水相样品中目标分析物预富集、萃取、解吸、分离和检测全过程的在 线。本系统结合了液液萃取的通用性、分子印迹固相微萃取技术的高选择性、高富集能力和液相色谱的高 效分离能力和高灵敏度，提高了分析自动化程度，缩短了分析时间，提高了准确度和精密度，可有效应用 于复杂样品中痕量有机物的分析检测。
中山大学
2021-04-10
微小型器件及微系统高加速度实验与标定技术（技术）
成果简介：利用高速旋转的转子产生的高离心力对在高承载环境下使用的器件进行加载试验，采用成熟试验技术方法和检测手段，实现对微小型机械结构件和电子器件、加速度传感器在高承载环境下的高载荷试验和标定。该设备最高加速度实验值：8万g，最高加速度标定值：1万g，实验对象最大回转半径：50mm，加速度实验精度：3%，标定精度：6%，实验对象尺寸：实验件最大尺寸长度≤18mm，实验件三维尺寸处于直径D=18，高度H=15的圆柱体范围里。适合钢、铝及铜质等各种材质加工的，在高承载环境下工作的机械结构件、电子元器件
北京理工大学
2021-04-14