本发明公开了一种深硅刻蚀方法，包括如下步骤：（1）在硅片表面制备图形化的光刻胶掩膜；（2）对硅片进行深感应耦合等离子体干法刻蚀，包括多个刻蚀阶段，每个刻蚀阶段均在感应耦合等离子体机内，通过钝化、轰击和刻蚀三个步骤交替循环加工完成，随着刻蚀深度的增加，各刻蚀阶段中轰击步骤的轰击强度逐渐增强。本发明有效解决了现有技术中侧壁垂直度及粗糙度难以控制以及大刻蚀深度难以实现的问题，在提高刻蚀效率的同时，提高了对光刻胶的选择比，刻蚀槽侧壁垂直度高，粗糙度小，刻蚀深度大。

XM-654A深、浅感觉传导   XM-654A深、浅感觉传导显示深、浅管感觉及传导。 尺寸：放大，30×30×48cm 材质：塑料

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项目研究的背景及用途： 在 IC 卡冷、热水表研制的基础上，我们以一项发明专利和三项实用新型专利解决了该项研究的关键技术，即抗锈蚀阀门技术、长寿命供电和低功耗技术、密封性技术及集中，透明管理技术。进而发展为网络化遥控冷、热水表产业化工程。网络化遥控冷、热水表保持了原 IC 卡冷、热水表中的无锈蚀阀门特点，但没有电池与 IC 卡插座。在每栋楼中设置低位控制单元，该低位控制单元承担向各户水表直流供电;具备应急充电电源;具有故障自动诊断功能;开关水表中控制阀功能;无线上网与主控 PC 机通信功能。实现了管理部门利用无线网络资源对用户冷、热水表进行综合管理和遥控监测的目的。 技术原理及流程： 网络化遥控冷、热水表由三部分组成:低功耗电子式基表、低位控制单元及主控微机。成果水平及主要技术指标:技术水平国内领先，具有一项发明专利和三项实用新型专利的独立知识产权。市场分析及效益预测:应用于方兴未艾的房地产业，适应国家及广大居民对能源与水资源的管理和节约要求。还可应用于洗浴中心等用水大户，提高节水的自觉性，也可应用于对城市地下水的管理等。

发明公开了一种相变蓄冷装置，包括蓄冷模块和外循环模块，所述外循环模块包括空调负荷，冷水机组、水泵、稳压阀和止回阀；所述蓄冷模块包括外壳、蓄冷槽、入水口、出水口、集水槽、共晶盐相变材料和三维网状流道；所述入水口和出水口设置在所述外壳上，所述蓄冷槽设置在所述外壳内，在所述蓄冷槽的两侧设置所述集水槽，所述三维网状流道配置在所述蓄冷槽内，所述蓄冷槽内非所述三维网状流道空间填充所述共晶盐相变材料。本发明既可以进行电力的移峰填谷从而保障电网安全、提高发电和输变电设备的效率并且有效利用了有限资源，同时降低了空调系统的运行费用，很好地实现了间歇性工作。

产品详细介绍　　LJB系列半导体冷阱，应用半导体致冷器件为固体冷源，以智能化数量控温仪表为控制核心，采用大功率半导体器件为控制元件，因此，具有体积小、无噪声、操作简便、控温精度高等优点，广泛应用于军工、电子、石油化工、生物制药、大专院校及科研院所等领域，是理想的实验室和产品检测仪器。 　　主要技术指标　　1．冷室尺寸：Φ80～Φ300mm（直径）　　　　　　　　 100～300mm（深度）　　2．温度范围：＋60℃～—65℃　　3．控温精度：±0.5℃～±0.01℃　　根据用户的具体要求，增加计祘机通讯接口和升降温速率控制的功能，根据用户的特殊要求，承接异型产品的研制开发项目。  

高热阻/防火/防水 膨胀珍珠岩保温板 防火等级:A 

本成果涉及的飞轮储能装置基于永磁偏置磁悬浮轴承与双凸极电机集成化技术，永磁偏置磁悬浮轴承能够实现对转子位移的主动控制，且具有较小的能量损耗，适合应用于转子质量重、转速高的飞轮储能系统中。双凸极永磁电机采用永磁体来提供励磁磁场，具有较高的效率和较大的转矩，且转子结构简单，适合高速运行。鉴于两者都是采用永磁体来提供静态磁场这一共同特点，本项目提出了利用同一永磁体同时为磁悬浮轴承提供偏置磁场，为电机提供励磁磁场的思路。此外，鉴于混合励磁双凸极电机能发挥永磁高效与电励磁方便调节磁场的优势，使电机在电动运行情况下保持较高效率的同时，扩大调速范围；发电运行时，又能够实现宽转速范围内的稳压输出。

产品介绍： 毕恩思BC-G无管道净气型药品柜系列专为有毒有害化学品存储而设计，适用于各种领域，各种化学品类型。可存储大多数在实验室使用的化学品，净化柜内有毒气体，24小时净化实验室空气，效率高的环保。 产品特性： 1、金属部件：主要材质≥1.2mm镀锌钢板，环氧树脂静电喷涂，覆有耐用防化无铅涂层，保持高光洁度并极大限度的降低腐蚀和湿气的影响。 2、门板：主要材质≥6mm亚克力板，耐候性很好，优异的抗化学品性能，不易老化，无色透明，通体透光，视觉舒适，美观大方。 3、层板：一体成型PP托盘，抗酸碱，高度可调，可选配均匀穿孔镀锌层板。 4、抗酸碱盛漏液抽屉：聚丙烯PP内胆，耐腐蚀，防止试剂瓶打碎泄漏的液体外溢。 5、实时温湿度环境监控系统，显示实时温湿度，设置报警参数，保障产品使用安全。 6、风机监控：风机系统失灵报警，在线可调风机转速，保证不同化学品量的储存需求。 7、过滤器饱和报警系统：产品配有双层过滤器及双VOC探头，一个探头监测室内空气质量，一个探头监测过滤器饱和状况，过滤器设定饱和报警值，超出范围即报警，当浓度长时间超出设定值需更换过滤器。 8、美国进口PSC风机，24伏电压，性能稳定，超静音，无火花静电。 9、效率高的过滤系统，按照颗粒大小选择排列分布，遵循ASTM标准，有效针对酸性气体和有机气体，吸附能力强，针对粒子过滤器，采用效率高的HEPA过滤器，对大于0.3um的粒子，过滤效率达99.995%。 软件控制部分： *1、7英寸大屏幕显示，物联网智能HMI人机界面，分辨率：1024x600，完美视觉系统； *2、支持SIM卡4G通信，4G通信模块具有国家强制性产品认证证书； *3、具有危化品管理功能，实现化学品库存列表管理，可支持不少于100种化学品列表清单显示，列表包括序号，化学品名称，数量，单位等；在设备端可进行库存增加、删减、更改等操作；数据同步至云端后台服务器；微信客户端可以查阅当前库存列表。 4、通过微信客户端可进行远程管理，查阅历史VOC数据、温湿度环境数据，以曲线方式呈现；可查阅历史报警记录，可远程控制风机、报警灯。 5、可提供API接口，支持第三方平台对接功能。 6、软件控制系统通过中国软件评测中心出具测试报告。 优异性： 1、无需安装管道工程，安装便捷，废气不外排，新型环保。 2、顶部根据化学品类别可选配过滤模块系统，满足多种不同种类的化学品存储。 3、先进模块化过滤技术，完全吸附过滤实验产生的有害气体、颗粒粉尘等物质。 4、无需消耗空调能耗，高效节省能源。 5、移动方便，就近存储，方便存取，提高工作效率。 工作原理： 1、 风机 位于柜体顶部的风机将实验室内空气抽入柜体内部产生负压。 2、气体过滤 柜内储存的试剂所挥发的有害气体经风机进入过滤模块，有毒有害气体分子被过滤器截留过滤，洁净气体返回室内。 3、高质量的空气净化功能经过滤的洁净空气返回到室内，不会危害人员健康。 4、净化实验室空气 24小时净化实验室内空气，提升实验室空气质量（建议药品柜保持24小时开机）   规格 型号 图片 参数 配置 选配 BC-G800 外部尺寸：800*510*2070mm 内部尺寸：797*475*1604mm 过滤器尺寸：370*395*50mm 初效过滤器尺寸：740*396*21mm 层板：8块 层板承重：＞70kg/㎡ 空气处理量：220m³/h 柜内体积：0.55 m³ 存储容量：160瓶（500ml） 音量：40dBA 电压：220V/50Hz 功率：42W 电流：2A 过滤器：4组 初效过滤器：1个 风机：1个 层板：8块 显示屏：七英寸液晶 触摸屏 控制系统：1套 VOC报警系统：1套 温湿度报警系统：1套 远程监控系统：1套 电源线：1根 锁具：平面锁+PP挂锁 可选过滤器型号: OG：有机过滤器 AG：无机过滤器 AM:氨气过滤器 FO：甲醛过滤器 HEPA H14：高效HEPA过滤器 可选报警器： 氨气报警器 甲醛报警器 HCL报警器 酸碱盒

与原工艺技术相比，本项目创新关键技术缩短生产周期1/3，单位产品能耗节约40%，物耗降低22%，“三废”减排30%。技术产品“泰嘉”，近三年累计销售收入71.30亿元，新增利润24.65亿元，新增税收8.42亿元，创收外汇236.99万美元；目前已进入全国1万余家医院，或者患者和专家的一致认可，以年均65%的国内销量市场占有率打破原研进口药在我国的垄断。