本发明公开了一种纳米结构三维形貌测量方法及其装置，可以同时测量纳米结构线宽、深度、侧墙角、线缘粗糙度、线宽粗糙度等三维形貌参数的方法及装置。本发明方法步骤如下：将波长为紫外到近红外波段的光束经分光、起偏、前后相位补偿得到的椭圆偏振光投射到待测；采集待测结构表面反射零级衍射信号，计算得到纳米结构测量穆勒矩阵；将测量穆勒矩阵与理论穆勒矩阵进行匹配，提取得到待测纳米尺寸结构的三维形貌参数值。本发明所提供的纳米结构三维形貌参数测量装置，能为基于图形转移的批量制造方法如光刻和纳米压印等工艺中所涉及的一维和二维

本实用新型涉及耕整底土用机械，尤其是一种消振式振动深松机。包括机架和入土铲，其中，还包括随机浮动机构、动力逆转机构和角度调整机构，随机浮动机构、动力逆转机构和角度调整机构均设置在机架上，入土铲与随机浮动机构连接；所述机架包括水平设置的上横梁和下横梁，上横梁位于下横梁的正上方，所述角度调整机构包括调整轴和调整盘，调整轴的两端分别与机架铰接，调整轴沿平行于下横梁设置，调整盘固定在机架的一侧，调整盘呈弧形，调整盘上间隔设置数个调整孔，调整轴靠近调整盘的一端固定有调整板，调整板与调整孔之间通过螺栓固定连接。其结构简单，机械性能稳定，可调整入土角度，并且保证了入土角度一致性，松土效果好。

本发明公开了一种深硅刻蚀方法，包括如下步骤：（1）在硅片表面制备图形化的光刻胶掩膜；（2）对硅片进行深感应耦合等离子体干法刻蚀，包括多个刻蚀阶段，每个刻蚀阶段均在感应耦合等离子体机内，通过钝化、轰击和刻蚀三个步骤交替循环加工完成，随着刻蚀深度的增加，各刻蚀阶段中轰击步骤的轰击强度逐渐增强。本发明有效解决了现有技术中侧壁垂直度及粗糙度难以控制以及大刻蚀深度难以实现的问题，在提高刻蚀效率的同时，提高了对光刻胶的选择比，刻蚀槽侧壁垂直度高，粗糙度小，刻蚀深度大。

XM-654A深、浅感觉传导   XM-654A深、浅感觉传导显示深、浅管感觉及传导。 尺寸：放大，30×30×48cm 材质：塑料

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技术亮点 ❖ 测量载体的三轴角速率、三轴加速度以及姿态角； ❖ 冲击：100g@11ms、三轴向(半正弦波)； ❖ 振动：10~2000Hz，10g； ❖ 供电电压：DC5.0V±0.5V； ❖ 工作温度：-40~85℃。 产品介绍 GMU540惯性导航单元由三轴陀螺仪、三轴加速度计、温度传感器及高精度信号处理电路构成，可实时测量载体的三轴角速度、三轴线性加速度及姿态角（横滚、俯仰、航向），并通过RS422/RS485接口按标准通信协议输出经过全温域补偿（含温度漂移校正、安装偏差校准及非线性误差修正）的高精度惯性数据。 该产品采用差分陀螺架构，有效抑制线性加速度干扰与机械振动，并集成宽温域补偿算法，确保在工业级严苛环境下仍具备卓越的稳定性和可靠性 应用范围 本产品广泛应用于航空航天测控、精准农业自动化、智能交通、工业自动化、系统控制等领域，为各领域提供专业的导航与测控解决方案；核心应用场景如下： ❖ 飞机吊舱                ❖ 工业机器人精确控制               ❖ 医疗机械设备测控   性能参数 GMU540 条件 参数 测量范围 - 横滚±180°，俯仰±90°，方位±180°   测量轴   - X 轴 / Y轴 / Z轴 横滚俯仰分辨率1） - 0.01° 横滚俯仰静态精度2） @25℃ ±0.05° 横滚俯仰动态精度(rms) @25℃ ±0.1° 陀螺仪 陀螺仪量程 - ±300°/s 零偏不稳定性(allan) - 4.5°/h 角度随机游走系数(allan) - 0.25°/sqrt(h) 加速度 加速度量程 - ±4g / ±16g 可设 零偏稳定性(10s均值) - 0.02mg 零偏不稳定性(allan) - 0.005mg 速度随机游走系数(allan) - 0.005m/s/sqrt(h) 零点温度系数3） -40～85℃ ±0.002°/K 灵敏度温度系数4） -40～85℃ ≤100ppm/℃ 上电启动时间 ≤2.0S 响应时间 0.01S 输出信号 RS485/RS422 可选 工作电压及电流 5VDC（50mA) 电磁兼容性 依照EN61000和GBT17626 平均无故障工作时间 ≥99000小时/次 绝缘电阻 ≥100兆欧 抗冲击 100g@11ms、三轴向(半正弦波) 抗振动 10grms、10～1000Hz 电缆线 10cm端子线g 重量 ≤10g(含标配端子线) 注意：横滚，航向为±180°， 俯仰为±90°。

1、成果简介 可以研发：全光纤温盐深传感器等。 技术指标：1、温度：±0.02℃；深度：±0.2%；下降深度：2000m以上2、应用说明 主要应用对象：海洋测量与勘测。3、效益分析高技术产品

Ø  成果简介：在机械加工总工作量中，约三分之一为孔加工，而深孔加工过程由于排屑困难、切削温度高、轴线定向性差是孔加工工艺中的难点。生产实际中深孔加工的效率往往很低，加工精度也难以保证。本项目主要解决在中、大批量生产条件下，深孔加工刀具的设计与制造问题以及相应的切削技术。采用先进的刀具材料、合理的切削几何结构、有效的排屑及冷却润滑方式，可大大提高孔加工刀具的耐用度和加工精度，生产效率增长一倍以上。替代国外同类刀具，刀具寿命提高两倍以上，刀具转速可达3000rpm以上。各种发动机中

Cu-Ni-Sn系合金性能虽好，但由于Sn元素熔点低，其极易发生偏析而影响合金的最终性能。特别是由于Sn元素的偏析行为，Cu-Ni-Sn系合金在热轧和冷轧过程中容易产生裂纹，这严重制约了该合金的开发与应用。目前，国内仅有个别公司可以对Cu-Ni-Sn系合金进行小批量生产。 中南大学深冷成形及高性能有色金属材料加工研究团队开发了深冷轧制技术，通过深冷温度抑制Sn元素的偏析行为以及深冷环境下变形提高材料的变形均匀性，有效解决Cu-Ni-Sn合金等难加工金属材料的变形裂纹问题。与此同时，通过深冷轧制处理，可以实现铜合金力学性能提升20~30%。

多模变薄拉深工艺广泛用于生产厚底薄壁空心零件。采用多层组合凹模进行变薄拉深可 以代替多次单模变薄拉深，并可省略中间退火、酸洗和表面处理工序，还可以与压底、切口 等其它工序复合，具有显著的经济效益。但其影响因素多，稍有不慎在各层凹模出口处都可 能出现穿底、断腰、缺口等现象。本软件的目的在于通过智能分析和优化设计，提高多模变 薄拉深模具设计的效率与可靠性，改变单纯依赖经验和反复试模、修模的落后方式。 多模变薄拉深 CAD/CAE 软件是江苏省科技进步三等奖项目《多模变薄拉深模具 CAD 软件 与摩擦因子测试方法》的主要成果之一。 本软件基于项目研制的变薄拉深上限模型以及混合罚函数法优化程序，根据用户输入的 毛坯及工件的几何尺寸、材料性能参数和润滑摩擦等信息，通过计算机智能化模拟分析和人 机交互方式，设计安全可靠结构优化的多模变薄拉深模具。软件功能如下： （1）模拟单模至四模变薄拉深位移状态，组合拉深状态和力学状态，为模具设计提供精 确的分析判断。 （2）预测凹模的极限工作尺寸，确保工件拉过各层凹模时的安全可靠性。 （3）以人机交互和智能分析方式确定合理的组合凹模模数、优化模层间距、凹模锥角和 定径带直径等。 （4）自动绘制模具总装图和模具零件图。 分析程序采用 FORTAN77 语言，绘图程序采用 AUTO-LISP 语言。借助 WINDOS 操作系统、 FORTAN77 和 AUTO-CAD 软件包，在普通微机上可以实现上述功能。