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一种深硅刻蚀方法
本发明公开了一种深硅刻蚀方法,包括如下步骤:(1)在硅片表面制备图形化的光刻胶掩膜;(2)对硅片进行深感应耦合等离子体干法刻蚀,包括多个刻蚀阶段,每个刻蚀阶段均在感应耦合等离子体机内,通过钝化、轰击和刻蚀三个步骤交替循环加工完成,随着刻蚀深度的增加,各刻蚀阶段中轰击步骤的轰击强度逐渐增强。本发明有效解决了现有技术中侧壁垂直度及粗糙度难以控制以及大刻蚀深度难以实现的问题,在提高刻蚀效率的同时,提高了对光刻胶的选择比,刻蚀槽侧壁垂直度高,粗糙度小,刻蚀深度大。
华中科技大学 2021-04-14
深、浅感觉传导XM-654A
XM-654A深、浅感觉传导   XM-654A深、浅感觉传导显示深、浅管感觉及传导。 尺寸:放大,30×30×48cm 材质:塑料
上海欣曼科教设备有限公司 2021-08-23
XM-654A深、浅感觉传导
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上海欣曼科教设备有限公司 2021-08-23
二异松蒎基氯硼烷(DPC)的合成
一、项目简介(-)-二异松蒎基氯硼烷是在药物生产过程中常用的一种手性还原试剂,主要是用于把药物分子中的醛基、酮基直接还原为具有手性的醇类。在国内外一些高附加值的药品的生产过程中,得到了广泛的应用。尤其在西欧、美国等发达国家的需求巨大。二、市场前景目前国内还没有该产品的生产,完全依赖于进口;同时,国外需求较大,有利于该产品的出口。三、规模与投资按年产10吨建厂,需设备投资30万元,总投资50万元。四、生产设备所需设备主要包括搪瓷反应釜、冷冻机、离心分离机、空压机、真空泵等。五、效益分析按目前市场价格计算,产品的生产成本为100元/千克,售价为800元/千克。按年产10吨计算,每年毛利润可达700万元。
河北工业大学 2021-04-13
全自动酶免一体机-草履虫P6
长沙演化生物科技有限公司 2025-05-19
全光纤海洋温盐深测试系统
1、成果简介 可以研发:全光纤温盐深传感器等。 技术指标:1、温度:±0.02℃;深度:±0.2%;下降深度:2000m以上2、应用说明 主要应用对象:海洋测量与勘测。3、效益分析高技术产品
北京航空航天大学 2021-04-13
深孔高速枪镗、枪铰刀具
Ø  成果简介:在机械加工总工作量中,约三分之一为孔加工,而深孔加工过程由于排屑困难、切削温度高、轴线定向性差是孔加工工艺中的难点。生产实际中深孔加工的效率往往很低,加工精度也难以保证。本项目主要解决在中、大批量生产条件下,深孔加工刀具的设计与制造问题以及相应的切削技术。采用先进的刀具材料、合理的切削几何结构、有效的排屑及冷却润滑方式,可大大提高孔加工刀具的耐用度和加工精度,生产效率增长一倍以上。替代国外同类刀具,刀具寿命提高两倍以上,刀具转速可达3000rpm以上。各种发动机中
北京理工大学 2021-01-12
难加工铜合金深冷轧制技术
Cu-Ni-Sn系合金性能虽好,但由于Sn元素熔点低,其极易发生偏析而影响合金的最终性能。特别是由于Sn元素的偏析行为,Cu-Ni-Sn系合金在热轧和冷轧过程中容易产生裂纹,这严重制约了该合金的开发与应用。目前,国内仅有个别公司可以对Cu-Ni-Sn系合金进行小批量生产。 中南大学深冷成形及高性能有色金属材料加工研究团队开发了深冷轧制技术,通过深冷温度抑制Sn元素的偏析行为以及深冷环境下变形提高材料的变形均匀性,有效解决Cu-Ni-Sn合金等难加工金属材料的变形裂纹问题。与此同时,通过深冷轧制处理,可以实现铜合金力学性能提升20~30%。
中南大学 2023-05-15
多模变薄拉深 CAD/CAE 软件
多模变薄拉深工艺广泛用于生产厚底薄壁空心零件。采用多层组合凹模进行变薄拉深可 以代替多次单模变薄拉深,并可省略中间退火、酸洗和表面处理工序,还可以与压底、切口 等其它工序复合,具有显著的经济效益。但其影响因素多,稍有不慎在各层凹模出口处都可 能出现穿底、断腰、缺口等现象。本软件的目的在于通过智能分析和优化设计,提高多模变 薄拉深模具设计的效率与可靠性,改变单纯依赖经验和反复试模、修模的落后方式。 多模变薄拉深 CAD/CAE 软件是江苏省科技进步三等奖项目《多模变薄拉深模具 CAD 软件 与摩擦因子测试方法》的主要成果之一。 本软件基于项目研制的变薄拉深上限模型以及混合罚函数法优化程序,根据用户输入的 毛坯及工件的几何尺寸、材料性能参数和润滑摩擦等信息,通过计算机智能化模拟分析和人 机交互方式,设计安全可靠结构优化的多模变薄拉深模具。软件功能如下: (1)模拟单模至四模变薄拉深位移状态,组合拉深状态和力学状态,为模具设计提供精 确的分析判断。 (2)预测凹模的极限工作尺寸,确保工件拉过各层凹模时的安全可靠性。 (3)以人机交互和智能分析方式确定合理的组合凹模模数、优化模层间距、凹模锥角和 定径带直径等。 (4)自动绘制模具总装图和模具零件图。 分析程序采用 FORTAN77 语言,绘图程序采用 AUTO-LISP 语言。借助 WINDOS 操作系统、 FORTAN77 和 AUTO-CAD 软件包,在普通微机上可以实现上述功能。 
南京工程学院 2021-04-13
杭州万深检测科技有限公司
万深检测公司致力于顶尖智能视觉检测,是一家集研发、销售、服务为一体的国家高新技术企业。公司以产品研发为核心驱动力,以自主研发结合高校合作的模式,已拥有多项发明专利和国家软件著作权。 公司现已进入农业、生命科学、环境监测、制药等领域。为上千家国家级、省市级、企事业用户单位(中国科学院、中国农科院、国家环境保护部、国家海洋局、清华大学、浙江大学、厦门大学、中种集团、中粮集团、恒瑞医药、五得利集团、白云山制药、陕西西凤酒、上海百雀羚等)提供鉴定、计数、分析、监控的自动化检测方案和设备。
杭州万深检测科技有限公司 2021-01-15
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