MS-246小型多靶磁控溅射镀膜机 真空腔室：1Cr18Ni9Ti优质不锈钢材质，氩弧焊接，上开盖和前开门结构；真空系统：机械泵+分子泵（进口和国产可选）；极限真空：优于8✕10-5Pa（设备空载抽真空24h）；真空抽速：大气～8✕10-4Pa≤30min；升降基片台：尺寸直径100mm，高度60～120mm可调，旋转0～20r/min可调，可加热至300℃（可选水冷功能），可选配偏压清洗功能；磁控靶：直径2英寸2只（可升级成3只），兼容直流和射频，可以溅射磁性材料的靶材；溅射电源：直流脉冲溅射电源、全自动匹配的射频溅射电源可任选；质量流量计：10sccm、50sccm质量流量控制器各1套；膜厚监控仪：可选配国产或进口单水冷探头膜厚仪；控制方式：PLC+触摸屏控制系统，具备漏气自检与提示、通讯故障，实现一键抽停真空；整机尺寸：L60cm✕W60cm✕H96cm机电一体化机架，预留1个CF35法兰接口。

EV-246小型电阻蒸发镀膜机真空腔室：1Cr18Ni9Ti优质不锈钢材质，氩弧焊接，上开盖和前开门结构；真空系统：机械泵+分子泵（进口和国产可选）；极限真空：优于8✕10-5Pa（设备空载抽真空24h）；真空抽速：大气～8✕10-4Pa≤30min；基片台：可拆卸式，尺寸60✕60mm，旋转0～20r/min可调，可加热至300℃（可选水冷功能）；蒸发源及电源：水冷铜电极3组，逆变式蒸发电源，功率2KW，配源间防污隔板；膜厚监控仪：采用国产或进口膜厚监控仪在线监测和控制蒸发速率、膜厚；控制方式：PLC+触摸屏控制系统，具备漏气自检与提示、通讯故障，实现一键抽停真空；整机尺寸：L60cm✕W60cm✕H96cm机电一体化机架，预留1个CF35法兰接口。

EV-400高真空金属有机蒸发镀膜机 真空腔室：前开门真空腔体，方便取放基片、更换钨舟、添加蒸发材料以及真空室的日常维护保养； 真空系统：国产分子泵作为主抽泵，真空极限优于5.0✕10-5Pa（经烘烤除气后）；另可选进口磁悬浮分子泵或是低温泵作为主抽泵，真空极限优于3.0✕10-6Pa（经烘烤除气后）； 真空抽速：大气～8✕10-4Pa≤30min； 蒸发源：4～6组欧美技术金属或是有机束源炉蒸发源可选，多源共蒸获得复合膜/分蒸获得多层膜，功能强大，性能稳定； 蒸发电源：真空专业蒸发电源，恒流/恒功率控制。电流、功率可预先设置，可实现一键启动和停止的自动控制功能； 基片台：最大120mm基片/15～25mmITO/FTO玻璃25片，可定制一体化高精度刻蚀掩膜板；基片台公转，转速0～20r/min连续可调； 基片台功能：衬底可选择加热（室温～300℃可调可控）或水冷，基片台可选升降，源基距最大350mm； 溅射电源：直流脉冲溅射电源、全自动匹配的射频溅射电源可任选； 膜厚监控仪：可选配国产或进口单水冷探头膜厚仪； 可镀材料：可沉积金属（Au、Ag、Al、Ca、Cu、Mg、Fe、Cr、Ti、Ni等）、非金属、化合物（MoO3、LiF等）及有机材料，可拓展沉积单层膜、多层膜及混合膜； 控制方式：PLC+触摸屏控制系统，具备漏气自检与提示、通讯故障，实现一键抽停真空。

MS-450高真空多靶磁控溅射镀膜机 真空腔室：直径450✕H400mm，1Cr18Ni9Ti优质不锈钢材质，氩弧焊接，前开门结构； 真空系统：机械泵+分子泵（进口和国产可选）； 极限真空：优于5✕10-5Pa（经烘烤除气后）； 真空抽速：大气～8✕10-4Pa≤30min； 升降基片台：2～6英寸基片台，靶基距60～120mm连续在线自动可调，旋转0～20r/min可调，可加热至500℃（可选水冷功能），可选配偏压清洗功能； 磁控靶：直径3英寸2～4只（可升级成直径4英寸靶2～3只），兼容直流和射频，可以溅射磁性材料的靶材； 溅射电源：直流脉冲溅射电源、全自动匹配的射频溅射电源可任选； 质量流量计：2～3路工艺气体，可根据工艺要求增加； 膜厚监控仪：可选配国产或进口单水冷探头膜厚仪； 控制方式：PLC+触摸屏控制系统，具备漏气自检与提示、通讯故障，实现一键抽停真空。

    一、100吨/1000KN电液伺服井盖压力试验机设备主要用途：    微机控制电液伺服井盖压力试验机主要用于井盖的压缩强度试验。各种试验参数由计算机进行控制、测量、显示，集成度高，使用方便。  微机控制电液伺服井盖压力试验机专门对下水道篦子、铸铁井盖、钢纤维混凝土井盖、水箅盖再生树脂复合材料井盖等进行抗压强度试验（承载能力试验）。试验方法满足 CJ/T3012—93、JC/T889—2001、CJ/T121—2000、 CJ/T948-2005GB/T23858-2009《检查井盖》 CJ/T211-2005《聚合物基复合材料检查井盖》 CJ/T511-2017《铸铁检查井盖》 CJ/T1009-2006《玻璃纤维增强塑料复合检查井盖》 CJ/T327-2010《球墨铸铁复合树脂检查井盖》 CJ/T121-2000《再生树脂复合材料检查井盖》 CJ/T130-2001《再生树脂复合材料水箅》 CJ/T212-2005《聚合物基复合材料水箅》 CJ/T328-2010《球墨铸铁复合树脂水箅》等标准规定的试验要求。   二、100吨/1000KN电液伺服井盖压力试验机主要结构和功能特点：  该试验机主要由主机、油源、控制柜、试验力测量采集系统等部分组成。主机采用双立柱框架结构，结构紧凑，操作方便。油源采用试验机油源，系统压力高、噪音低、性能稳定。测量系统主要由高精度负荷传感器、残余变形测量装置采集数据。计算机显示试验力和变形量，具有清零、标定、增益调节、峰值保持等功能。   三、100吨/1000KN电液伺服井盖压力试验机主要技术参数 序号 技术名称 技术参数 1 试验力（kN） 1000 2 试验力测量范围 试验力的0-1000KN 3 试验力示值相对误差 ≤示值的±1% 4 试验空间（mm） 300 5 立柱间距尺寸（mm） 1200*1200mm 6 活塞行程（mm） 0-300 7 试验力速度调节范围 1-3KN/S 8 试验机主机外形尺寸（长x宽x高约）（mm） 1400×1200×1750 9 主机重量（kg） 约2000