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一种深硅刻蚀方法
本发明公开了一种深硅刻蚀方法，包括如下步骤：（1）在硅片表面制备图形化的光刻胶掩膜；（2）对硅片进行深感应耦合等离子体干法刻蚀，包括多个刻蚀阶段，每个刻蚀阶段均在感应耦合等离子体机内，通过钝化、轰击和刻蚀三个步骤交替循环加工完成，随着刻蚀深度的增加，各刻蚀阶段中轰击步骤的轰击强度逐渐增强。本发明有效解决了现有技术中侧壁垂直度及粗糙度难以控制以及大刻蚀深度难以实现的问题，在提高刻蚀效率的同时，提高了对光刻胶的选择比，刻蚀槽侧壁垂直度高，粗糙度小，刻蚀深度大。
华中科技大学
2021-04-14
一种电场辅助的硅通孔刻蚀工艺
本发明公开了一种电场辅助的硅通孔刻蚀工艺，包括步骤：（1）在单晶硅片上旋涂光刻胶并通过光学光刻或电子束光刻得到光刻胶图形 ；（ 2 ） 镀 上 银 膜 或 金 膜 ；（ 3 ） 在 电 场 之 中 ， 采 用 HF 、H<sub>2</sub>O<sub>2</sub>和去离子水的混合溶液作为刻蚀剂进行金属催化刻蚀；（4）去除光刻胶；（5）去除单晶硅片上残留的金属膜并进行清洗处理。本发明通过在刻蚀过程中控制电场强度，由此形成从数十纳米至数
华中科技大学
2021-04-14
废酸性刻蚀液电解再生技术
中国是世界上最大的印制线路板生产大国，全国此类企业大大小小约4000余家。印刷线路 板刻蚀企业生产刻蚀铜线路板后失效的废蚀刻液，里面富含铜和盐酸。本技术巧妙利用电化学 原理设计出新颖的工艺路线，在不破坏任何组分的情况下，电解提取蚀刻液中金属铜，使盐酸 回收得以循环使用。其原理如下：失效的蚀刻液在阴极室中循环，铜离子被还原沉积在阴极 上。阳极室中水被电解放出氧气，同时产生的氢离子进入阴极室与氯化铜的氯离子形成盐酸， 再生的盐酸回线路板线循环使用。
华东理工大学
2021-04-13
深地空间舱
深地空间舱，属于深地科学技术领域。应用于地球表面下方，包括空间舱本体，空间舱本体上设置有应变监测器、应力监测器及通风系统，空间舱本体内设置有紧急避难所、公共活动空间、应急能源供应室及数据处理分析中心，数据处理分析中心中设置有相连接的数据分析系统及数据采集系统，空间舱本体还设有与地球表面外部相连通的通道，所述通道设置有屏蔽门，还包括通过巷道与空间舱本体相连通的研究室，巷道上分别相对设置有应变监测器及应力监测器，所述应变监测器、应力监测器分别与数据采集系统相连。本实用新型适用于深地研究。
四川大学
2017-12-28
硅PU
硅PU球场材料。是一种具有多功能运动性和施工优势的国家专利球场材料。 作为一种体育设施场地地面材料，有良好的缓冲性和延展性，粘结力量，对基础有一定的治愈功能，能够自动找平，施工简单，抗老化性能优秀，施工后化学性能稳定，不易产生气泡，且不会出现开裂和鼓泡现象。同时拥有常规PU与丙烯酸的优良特性。是场地工程的最佳选择。
巅峰体育产业股份有限公司
2021-12-08
深冷储氢技术
深冷高压储氢技术，可以达到深冷高压能耗降低一半，储氢密度最高，无氢气蒸发损耗，氢气加注速度数倍于高压氢气、系统体积最小的目的。深冷高压储氢在小容量储运容器上具有显著的优势。 重卡车载储氢领域、路基分布式储氢基站、特种车辆储氢领域。 最佳有效体积储氢密度: 67g/L; 高续航里程、动力总成的重量和成本能与柴油车匹敌; 小容积(<500L)高储氢量的发展趋势； 深冷高压加氢站加注速度快、能耗和碳排放低以及安全性高。
东南大学
2021-04-13
振动深松施肥机
成果简介： 我国农业生产中由于长期运用小型拖拉机进行土壤旋耕作业，造成表层有效土壤减少，土壤容重增加，蓄水能力下降，土壤耕层变浅，全国平均只有16cm,距25cm玉米根系发育需求相差甚远。用华式犁深翻土壤虽然能够打破犁底层，但动土量太大，功耗高，且容易造成水土流失。 基于中国农业大学自主知识产权(发明专利ZL201010621161.4)技术研发的振动式深松施肥机，在不翻动土壤，保持秸秆残茬在地表覆盖的前提下，打破
中国农业大学
2021-04-14
硅PU球场
是一款绿色环保的水性材料，它是完全不含石棉，铅或水银等化合物，高度抗紫外线性能，颜色持久不褪色，经久耐用，超强耐磨，此款材料的颜色多样，有篮，红，绿等多种色泽可供选择，它的面层结构优越，有效的缓冲力能降低对运动员的伤害及疲劳，保养容易，维修成本低，在任何气候都能牢固使用，使用寿命长
广东金邦体育设施有限公司
2021-02-01
一种变线宽激光振镜扫描快速刻蚀方法
本发明公开了一种变线宽激光振镜扫描快速刻蚀方法，本发明 利用激光束离焦后功率密度梯度变小光斑变大的原理以及高速振镜扫 描误差精确矫正方法，通过设置不同的在焦和离焦激光加工距离及对 应功率参数和激光振镜扫描参数来控制激光光斑大小，对图形填充区 采用离焦后的大光斑光栅扫描填充，然后对图形轮廓进行矢量扫描勾 勒。本发明针对不同的工作距离预先进行振镜扫描误差矫正，生成高 精度振镜扫描定位表，确保在不同激光加工距离获得同等高精
华中科技大学
2021-04-14
高效有机硅杀菌剂—氟硅唑
氟硅唑，商品名福星，是淄醇脱甲基化抑制剂，用来防治谷类、苹果、葡萄等作物的黑星病，特别是对梨黑星病有特效，40%的乳油10000～12000倍能有效地防治梨黑星病，进口40%乳油的市场价格为50万元/吨。按现在的工艺条件，折百的原药原料成本小于30万元/吨。
南开大学
2021-04-10