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一种深硅刻蚀方法
本发明公开了一种深硅刻蚀方法，包括如下步骤：（1）在硅片表面制备图形化的光刻胶掩膜；（2）对硅片进行深感应耦合等离子体干法刻蚀，包括多个刻蚀阶段，每个刻蚀阶段均在感应耦合等离子体机内，通过钝化、轰击和刻蚀三个步骤交替循环加工完成，随着刻蚀深度的增加，各刻蚀阶段中轰击步骤的轰击强度逐渐增强。本发明有效解决了现有技术中侧壁垂直度及粗糙度难以控制以及大刻蚀深度难以实现的问题，在提高刻蚀效率的同时，提高了对光刻胶的选择比，刻蚀槽侧壁垂直度高，粗糙度小，刻蚀深度大。
华中科技大学
2021-04-14
一种电场辅助的硅通孔刻蚀工艺
本发明公开了一种电场辅助的硅通孔刻蚀工艺，包括步骤：（1）在单晶硅片上旋涂光刻胶并通过光学光刻或电子束光刻得到光刻胶图形 ；（ 2 ） 镀 上 银 膜 或 金 膜 ；（ 3 ） 在 电 场 之 中 ， 采 用 HF 、H<sub>2</sub>O<sub>2</sub>和去离子水的混合溶液作为刻蚀剂进行金属催化刻蚀；（4）去除光刻胶；（5）去除单晶硅片上残留的金属膜并进行清洗处理。本发明通过在刻蚀过程中控制电场强度，由此形成从数十纳米至数
华中科技大学
2021-04-14
废酸性刻蚀液电解再生技术
中国是世界上最大的印制线路板生产大国，全国此类企业大大小小约4000余家。印刷线路 板刻蚀企业生产刻蚀铜线路板后失效的废蚀刻液，里面富含铜和盐酸。本技术巧妙利用电化学 原理设计出新颖的工艺路线，在不破坏任何组分的情况下，电解提取蚀刻液中金属铜，使盐酸 回收得以循环使用。其原理如下：失效的蚀刻液在阴极室中循环，铜离子被还原沉积在阴极 上。阳极室中水被电解放出氧气，同时产生的氢离子进入阴极室与氯化铜的氯离子形成盐酸， 再生的盐酸回线路板线循环使用。
华东理工大学
2021-04-13
全光纤海洋温盐深测试系统
1、成果简介 可以研发：全光纤温盐深传感器等。 技术指标：1、温度：±0.02℃；深度：±0.2%；下降深度：2000m以上2、应用说明 主要应用对象：海洋测量与勘测。3、效益分析高技术产品
北京航空航天大学
2021-04-13
深地空间舱
深地空间舱，属于深地科学技术领域。应用于地球表面下方，包括空间舱本体，空间舱本体上设置有应变监测器、应力监测器及通风系统，空间舱本体内设置有紧急避难所、公共活动空间、应急能源供应室及数据处理分析中心，数据处理分析中心中设置有相连接的数据分析系统及数据采集系统，空间舱本体还设有与地球表面外部相连通的通道，所述通道设置有屏蔽门，还包括通过巷道与空间舱本体相连通的研究室，巷道上分别相对设置有应变监测器及应力监测器，所述应变监测器、应力监测器分别与数据采集系统相连。本实用新型适用于深地研究。
四川大学
2017-12-28
一种振动式深松机作业状态监控系统
本发明涉及一种振动式深松机作业状态监控系统，不仅可以对深松机工作性能、关键参数进行现场移动检测，同时能够通过GPS定位以及GPRS?DTU无线传输技术实现远程计算机的同步监测、在数据的线分析和批量存储，计算机对定位地块数据查询分析并结合该机具返回的关键技术数据分析，通过建立BP神经网路模型，输出以最低消耗为目标的优化参数，得出该地块最优耕作周期、最适宜的耕作深度、工作效率、最高的机具深松频率和振幅等相关参数，并将相关参数发至现场移动监控终端供其参考，从而实现真正的少耕、优耕。
青岛农业大学
2021-04-13
深冷储氢技术
深冷高压储氢技术，可以达到深冷高压能耗降低一半，储氢密度最高，无氢气蒸发损耗，氢气加注速度数倍于高压氢气、系统体积最小的目的。深冷高压储氢在小容量储运容器上具有显著的优势。 重卡车载储氢领域、路基分布式储氢基站、特种车辆储氢领域。 最佳有效体积储氢密度: 67g/L; 高续航里程、动力总成的重量和成本能与柴油车匹敌; 小容积(<500L)高储氢量的发展趋势； 深冷高压加氢站加注速度快、能耗和碳排放低以及安全性高。
东南大学
2021-04-13
振动深松施肥机
成果简介： 我国农业生产中由于长期运用小型拖拉机进行土壤旋耕作业，造成表层有效土壤减少，土壤容重增加，蓄水能力下降，土壤耕层变浅，全国平均只有16cm,距25cm玉米根系发育需求相差甚远。用华式犁深翻土壤虽然能够打破犁底层，但动土量太大，功耗高，且容易造成水土流失。 基于中国农业大学自主知识产权(发明专利ZL201010621161.4)技术研发的振动式深松施肥机，在不翻动土壤，保持秸秆残茬在地表覆盖的前提下，打破
中国农业大学
2021-04-14
一种变线宽激光振镜扫描快速刻蚀方法
本发明公开了一种变线宽激光振镜扫描快速刻蚀方法，本发明 利用激光束离焦后功率密度梯度变小光斑变大的原理以及高速振镜扫 描误差精确矫正方法，通过设置不同的在焦和离焦激光加工距离及对 应功率参数和激光振镜扫描参数来控制激光光斑大小，对图形填充区 采用离焦后的大光斑光栅扫描填充，然后对图形轮廓进行矢量扫描勾 勒。本发明针对不同的工作距离预先进行振镜扫描误差矫正，生成高 精度振镜扫描定位表，确保在不同激光加工距离获得同等高精
华中科技大学
2021-04-14
拉深挤压切边复合模具
南京工程学院
2021-04-13