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精确控制浸没式光刻机浸液温度的装置及其温控方法
本发明公开了一种精确控制浸没式光刻机浸液温度的装置,包括增压泵;初级热交换器,其浸液入口与增压泵出口连通,浸液在其中进行热交换,实现浸液温度的初级调控;次级热交换器,其浸液入口与初级热交换器浸液出口连通,浸液在其中进行再次热交换,实现浸液温度的次级调控;流量伺服阀,其入口与初级热交换器浸液出口连通,与次级热交换器形成并联,用于调节进入次级热交换器的浸液流量。通过协调控制进入初级热交换器和次级热交换器的冷媒流量,并结合流量伺服阀对进入次级热交换器的浸液流量的调节,可实现对浸液温度的两级调控,从而获得温
华中科技大学 2021-04-14
一种考虑环境温度的重型机床热误差预测方法
本发明公开了一种考虑环境温度的重型机床热变形预测方法, 具体为:预测机床内部热源引起的机床热变形量,以及预测机床外部热源引起的机床热变形量,将机床内、外部热源引起的机床热变形量 叠加得到机床最终热变形量。在机床外部热源引起的机床热变形量预 测中考虑了环境温度引起的时滞热变形误差,在内部热源引起的机床 热变形量预测中进行了基于最小二乘原理的多元回归建模。本发明综 合了反映重型机床受环境温度非线性滞后影响和内热源影响的共同作 用效果,能够实现任意环境条件和加工条件下的热变形误差实时有效 预测。
华中科技大学 2021-04-14
一种气体温度、湿度及VOC浓度调节装置及方法
本发明提供气体浓度调节装置和气体浓度调节装置及方法,包括恒温水浴槽(5)、气体混合箱(6)及控制模块;气体混合箱(6)设置在所述恒温水浴槽(5)内;在恒温水浴槽(5)内设有加热器;在气体混合箱(6)内设有湿度传感器、温度传感器以及VOC浓度传感器;在气体混合箱(6)上设有进气孔、加湿循环孔、VOC浓度循环孔以及输出混合后气体的导出管(7);进气孔连接除湿装置(2),加湿循环孔连接加湿装置(3),VOC浓度循环孔连接加VOC装置(4);除湿装置(2)通过气泵与导入管(1)连接。本发明的气体温度、湿度及
东南大学 2021-04-14
低温空间温度场数据可视化与模拟分析系统项目
项目简介 “低温空间温度场数据可视化与模拟分析系统”项目由泰州市沪江特种设备有限公 司委托开展。运用空间温度在线监测和计算机数据处理及可视化技术,实时分析空间的 温度场变化,实现空间温度场的优化,达到节能运行的目的。 系统根据空间需要,布置多层、多处测点,依靠传感器及相关仪表,通过 485 通信 方式实现本地数据与计算机之间的传输。自主研发的数据采集与处理程序实时监测空间 各处的温度分布,并以三维彩色视图显示,可直观观测空间的温度场的动态变化特征, 指
江苏大学 2021-04-14
PZT-JL03型压电陶瓷居里点温度测试仪
产品详细介绍PZT-JL03型压电陶瓷居里点温度测试仪背景简介:    压电陶瓷的居里温度是指压电材料从铁电相转变成顺电相的相变温度,对于所有的压电陶瓷产品来说,压电材料都具有一个临界温度Tc即居里温度,在临界温度以下压电陶瓷表现出铁电相,此时压电陶瓷处于极化有序状态,温度超过临界温度Tc,压电陶瓷则由铁电相转变为顺电相,此时压电陶瓷内部电偶极距杂乱无章,处于极化无序状态,也就是我们常说的发生了退极化现象。温度小于260K以下,压电陶瓷的铁电性能也会随着温度的降低而逐渐减弱。一、产品介绍:  PZT-JL03型压电陶瓷居里点温度测试仪是一款针对压电陶瓷居里点温度测试测的设备,该设备可以直接测试出样品的居里点变化曲线及变化温度点,对于判断样品的居里点温度简单而实用。仪器可以电脑设置电脑温度段,充分判断不同样品不同的温度点变化。二、主要技术参数:高温度:1200℃控温精度:±1℃显示:数字显示加热区:独立的加热区电源:220V接口:USB接口测试方式:软件控制
北京圆通科技地学仪器研究所 2021-08-23
络筒机车间的数据实时采集网络与分析系统
本系统针对络筒机车间的特点,提供一个运行在局域网的数字通信网络软硬件系统,将各分散的络筒机设备有机结合在一起,并从络筒机生产过程与全车间等不同层面进行实时的数据采集、统计、处理分析、故障检测与状态估计及预测。系统功能: 对络筒机进行实时故障检测;采集络筒机的生产数据:纱织、批号、长度、班产量速度等;质量监控:清纱器切除次数、机械效率\锭、最低效率;提供报表自动生成系统,显示供纱管情况:供应管数、失误数;结合外部市场和本地运行状态实现动态成本监控;根据生产情况进行资源状态计量管理;络筒机的性能分析。将实际制造过程测定的结果与过去的历史记录和企业制定的目标以及客户要求进行比较。
东华大学 2021-02-01
一种用于吻合器检测的图像采集装置
一种用于吻合器检测的图像采集装置,属于医疗器械检测设备, 用于对吻合器进行漏针检测,解决现有基于机器视觉的吻合器漏针检 测装置所存在的检测种类单一、成像效果受影响的问题。本发明包括 水平基座、支架、视觉系统、步进电机、滚珠丝杠、滑台和吻合器夹 具,吻合器夹具由固定底座和夹持台构成,夹持台具有多个二阶台阶 圆孔,各二阶台阶圆孔形状尺寸分别与待检测的管型吻合器相同;夹 持台顶面开有凹槽,凹槽的宽度与待检测的条型吻合器的宽度相同。 本发明可以实现精确运动控制,不仅可以保证吻合器样品拍摄表面的 平整,克服因
华中科技大学 2021-01-12
一种封闭容器的酒精拉曼光谱采集装置
本实用新型公开了一种封闭容器的酒精拉曼光谱采集装置。包括外壳和安装在外壳内的电路板卡模块、拉曼信号采集模块、激光光源模块、激光功率控制模块、触摸屏显示控制模块、锂电池及电源管理模块和探头,探头安装在外壳的侧壁上,探头针对盛有酒精溶液样品的封闭容器进行激光激发和接收。本实用新型体积小,操作简便、无损快速,不必对样品进行预处理,而且应用对象广,具有较大的现场应用价值。
浙江大学 2021-04-13
一种固件可重构的手机数据采集控制器
一种固件可重构的手机数据采集控制器,利用微控制器芯片的 在线固件烧写功能,提供智能手机对其进行固件烧写操作的接口,并 对数据采集控制器的固件存储 Flash 存储单元空间进行分块,能够在一 个微控制器中安装多个采集控制固件。由手机来启动微控制器对应的 采集控制固件。当微控制器中未安装对应的采集控制固件时,则由手 机自动从网上查找、下载相应的采集控制固件,并安装到数据采集控 制器的空闲块区中。这既可以避免更换手机测量功能时对数据采集控 制器采集控制固件的重新烧写,又可以避免将固件程
华中科技大学 2021-04-14
用于锡膏印刷的L型双镜头图像采集装置
机器视觉系统是全自动无铅锡膏印刷机的关键核心技术。随着电子元器件微型化、高密度化方向发展,对锡膏印刷机的印刷精度、速度和可靠性的要求越来越高。在高密度电路板联装生产线中,60%-80%的缺陷来自无铅锡膏印刷工序。目前,国外先进的印刷机,如德国生产的EKRA系列印刷机,英国生产的DEK系列印刷机,美国生产的MPM系列印刷机等高端产品都采用了高精度的视觉系统。目前,无铅锡膏印刷机的图像采集系统一般均由一个成像透镜、一个图像传感器及其它光学元器件组成。这类系统存在的问题是分时采集图像时容易造成上下图像采
华南理工大学 2021-04-14
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