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一种多路液体温度调节装置及温度控制方法
一种多路液体温度调节装置及其温度控制方法，属于液体温度调节装置及其温度控制方法，解决现有光刻机浸没液温度调节控制装置只具有一路输出的温度控制能力以及不能协同调节远端、近端供水温度的问题。本发明的温度调节装置，包括纯水供应部分、注液部分和控制系统，纯水供应部分放置于远端的纯水设备内，注液部分放置于光刻机内部；纯水供应部分和注液部分之间通过远传管路连接；控制系统分别采集纯水温度传感器、供水温度传感器、第一～第三温度传感器的温度值；并对第 1～第 3 加热器的加热电压进行控制，同时对冷却水流量伺服阀的驱动
华中科技大学
2021-04-14
Cernox 温度传感器低温温度计测量仪器
北京锦正茂科技有限公司
2022-03-25
铑铁温度计低温温度传感器线绕型
北京锦正茂科技有限公司
2022-03-31
Cernox 温度传感器低温温度计测量仪器
北京锦正茂科技有限公司
2022-06-13
超精密温度控制装置
针对极紫外光刻机物镜的温管和温控技术难题，设计和开发了针对极紫外光刻机的具有自主知识产权的超精密温控装置，目前已应用在半导体制造业及光刻机生产厂商、高档数控行业和民用航天上，涉及企事业单位共30余家。研制了不同控温精度和控温功率的系列产品，采用主动温度控制方法，解决了单点温度控制稳定性和多通道温度控制均匀性的问题；设计了具有功能模块化的温控层次结构，解决了超精密温控中系统内外的扰动和时滞问题，控温速度快；研制了大功率串联半导体制冷模块，结合模糊PID控制算法，提高了收敛速度、控制精度和抗扰动能力。项
电子科技大学
2021-04-14
自记温度计
宁波华茂文教股份有限公司
2021-08-23
地面温度表
宁波华茂文教股份有限公司
2021-08-23
干湿球温度计
宁波华茂文教股份有限公司
2021-08-23
03020温度表支架
宁波华茂文教股份有限公司
2021-08-23
13023干湿温度计
宁波华茂文教股份有限公司
2021-08-23