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一种多路液体温度调节装置及温度控制方法
一种多路液体温度调节装置及其温度控制方法,属于液体温度调节装置及其温度控制方法,解决现有光刻机浸没液温度调节控制装置只具有一路输出的温度控制能力以及不能协同调节远端、近端供水温度的问题。本发明的温度调节装置,包括纯水供应部分、注液部分和控制系统,纯水供应部分放置于远端的纯水设备内,注液部分放置于光刻机内部;纯水供应部分和注液部分之间通过远传管路连接;控制系统分别采集纯水温度传感器、供水温度传感器、第一~第三温度传感器的温度值;并对第 1~第 3 加热器的加热电压进行控制,同时对冷却水流量伺服阀的驱动
华中科技大学 2021-04-14
多级偏块振动电机
本发明多级偏块振动电机涉及一种具有特殊惯性激振能力的振动电机,属于振动利用工程技术领域。 包括定子部分、转子部分和多级偏块组件;定子部分由定子铁心、定子绕组、轴承座和机壳组成;转子部 分由转子轴、转子铁心、转子绕组所组成,转子绕组装在转子铁心上,转子铁心套在转子轴上,转子轴通 过轴承A装在轴承座内,轴承座两侧分别装有内压盖、外压盖,在转子轴两端分别装有多级偏块组件;所 述多级偏块组件由多个偏块通过偏块轴进行串接构成,在一级轴即转子轴左右两端一般对称分布,级数应 为k≥2,所述多级偏块组件包括主偏块、副偏块、多级偏块、多级偏块轴和多级轴承,主偏块和副偏块固定安装在转子轴端部。
南京工程学院 2021-04-11
钻井石油振动筛
钻井液振动筛可 24 小时持续工作, 且单位小时内处理钻井液流量: ≥140m3。
扬州大学 2021-04-14
振动深松施肥机
成果简介: 我国农业生产中由于长期运用小型拖拉机进行土壤旋耕作业,造成表层有效土壤减少,土壤容重增加,蓄水能力下降,土壤耕层变浅,全国平均只有16cm,距25cm玉米根系发育需求相差甚远。用华式犁深翻土壤虽然能够打破犁底层,但动土量太大,功耗高,且容易造成水土流失。 基于中国农业大学自主知识产权(发明专利ZL201010621161.4)技术研发的振动式深松施肥机,在不翻动土壤,保持秸秆残茬在地表覆盖的前提下,打破
中国农业大学 2021-04-14
工频振动试验台
产品详细介绍 硒铁工频振动试验台简介:感谢您对硒铁“工频振动试验台,定频振动试验机”的关注,您的关注是我们前行的动力!有关工频振动试验台,定频振动试验机的更详细资料请向“硒铁仪器”了解.正弦波(半波/全波)、调幅、频率显示、2种调频、时间控制技术指标: 最大试验负载(Kg) 100Kg额定频率范围(Hz) 50Hz(电源频率) 额定位移(mmp-p) 5 额定速度(g) 20 振动方向 垂直 工作台尺寸(mm) 500×500 台体尺寸(L×W×H)(mm) 500×500×200 电源电压(V/50Hz)AC 220±10% 消耗功率(KVA) 2.2 深圳硒铁检测仪器有限公司是专业的工频振动试验台产品企业,主要经营工频振动台,盐雾试验机,振动试验台,破裂强度试验机,跌落试验机,纸箱抗压试验机,拉力试验机,按键寿命试验机,耐磨擦试验机,模拟运输振动台,线材弯折试验机,干燥箱,高低温箱,恒温恒湿试验箱以及其它相关产品, 如果你想查看我公司更多"工频振动试验台"产品及相关商机信息请查看我公司网站 http://www.szxitie.comhttp://www.xitie17.com
深圳硒铁检测仪器有限公司 2021-08-23
声振动传感器
产品详细介绍 频率量程:20HZ~20000HZ;声强量程:30~130dB 数据传输端口为智能HDMI接口,支持与采集器的有线通讯和无线通讯。
江苏艾迪生教育发展有限公司 2021-08-23
超精密温度控制装置
针对极紫外光刻机物镜的温管和温控技术难题,设计和开发了针对极紫外光刻机的具有自主知识产权的超精密温控装置,目前已应用在半导体制造业及光刻机生产厂商、高档数控行业和民用航天上,涉及企事业单位共30余家。研制了不同控温精度和控温功率的系列产品,采用主动温度控制方法,解决了单点温度控制稳定性和多通道温度控制均匀性的问题;设计了具有功能模块化的温控层次结构,解决了超精密温控中系统内外的扰动和时滞问题,控温速度快;研制了大功率串联半导体制冷模块,结合模糊PID控制算法,提高了收敛速度、控制精度和抗扰动能力。项
电子科技大学 2021-04-14
13007数字温度计
宁波华茂文教股份有限公司 2021-08-23
自记温度计
宁波华茂文教股份有限公司 2021-08-23
地面温度表
宁波华茂文教股份有限公司 2021-08-23
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