针对极紫外光刻机物镜的温管和温控技术难题，设计和开发了针对极紫外光刻机的具有自主知识产权的超精密温控装置，目前已应用在半导体制造业及光刻机生产厂商、高档数控行业和民用航天上，涉及企事业单位共30余家。研制了不同控温精度和控温功率的系列产品，采用主动温度控制方法，解决了单点温度控制稳定性和多通道温度控制均匀性的问题；设计了具有功能模块化的温控层次结构，解决了超精密温控中系统内外的扰动和时滞问题，控温速度快；研制了大功率串联半导体制冷模块，结合模糊PID控制算法，提高了收敛速度、控制精度和抗扰动能力。项

产品详细介绍温度冲击试验箱产品编号：WDCJ产品型号：WDCJ详细说明一、高低温冲击试验箱用途 用于电子电器零组件、自动化零部件、通讯组件、汽车配件、金属、塑胶等行业，国防工业、航天、兵工业、电子芯片IC、 半导体陶瓷及高分子材料之物理性变化,测试其材料对高、低温的反复抵拉力及产品于热胀冷缩产出的化学变化或物理伤害，可确认产品的品质,从精密的IC到重机械的组件，无一不需要它的理想测试工具。二、高低温冲击试验箱结构特点:产品外形美观、结构合理、工艺先进、选材考究。 设备分为高温室、低温室、测试室三部分,采独特之断热结构及蓄热蓄冷效果，试验时待测物完全静止，应用冷热风路切换方式将冷、热温度导入测试区实现冷热冲击测试目的。 采用触控式液晶(LCD)显示人机介面专用控制器，最先进的计测装置, 操作简单, 学习容易, 稳定可靠,中，英文显示完整的系统操作状况、执行及设定程序曲线。 具96个试验规范独立设定,冲击时间999小时59最大分钟, 循环周期1~999次可设定, 可实现制冷机自动运转，最大程度上实现自动化，减轻操作人员工作量，可在任意时间自动启动﹑停止工作运行。 箱体左侧具?50mm之测试孔1个，可供外加电源负载配线测试部件。 可独立设定高温、低温及冷热冲击三种不同条件之功能，并于执行冷热冲击条件时,可选择二槽式或三槽式及冷冲、热冲进行冲击之功能，具备高低温试验机的功能。具备全自动，高精密系统回路、任一机件动作，完全有P.L.C锁定处理，全部采用P.I.D自动演算控制,温度控制精度高。 独特的空气流通循环设计，使室内温度均匀，避免任何死角;完备的安全保护装置，避免了任何可能发生安全隐患，保证设备的长期可靠性 可设定循环次数及除霜次数自动(手动) 除霜. 出风口于回风口感知器检测控制，风门机构切换时间为10秒内完成，冷热冲击温度恢复时间为5分钟内完成。 周全的安全保护装置，发生异常状况时,荧幕上即刻自动显示故障点及原因和提供排除故障的方法,并于发现输入电力不稳定时,具有紧急停机装置。 冷冻系统采用二元高效低温回路系统设计，采用欧美原装进口压缩机，并采用对臭氧系数为零的绿色环保(HFC)制冷剂R507，R23.超强安全保护功能：电源过载保护、漏电保护、控制回路过载、短路保护、压缩机保护、接地保护、超温保护、报警声讯提示等。箱体内外部材质采用不锈钢板(SUS#304)三、高低温冲击试验箱技术参数规格型号 BTS-49A BTS-80A BTS-150A BTS-49B BTS-80B BTS-150B BTS-49D BTS-80D BTS-150D 结构尺寸 W×H×D(mm) 内箱 40×35×35 50×40×40 60×50×50 40×35×35 50×40×40 60×50×50 35×35×40 50×40×40 60×50×50 外箱 150×195×145 180×200×145 190×200×155 150×195×145 180×200×145 190×200×155 150×195×145 180×200×145 190×200×155 高温槽温度范围 +80～200℃ 低温槽温度范围 -55～-10℃ -65～-10℃ -75～-10℃ 试验室冲击 温度 高温 +60～150℃ 低温 -10～-40℃ -10～-55℃ -10～-60℃ 升温时间 60～200℃约需25分钟 降温时间 +20～-55℃小于60分钟 +20～-65℃小于75分钟 +20～-75℃小于90分钟 冲击恢复时间 高温(150℃)冲击30分钟 低温(-40℃  or   -55℃ or  -60℃)冲击30分钟 冲击恢复时间5分钟 试样重量 2.5Kg 5Kg 10Kg 2.5Kg 5Kg 10Kg 2.5Kg 5Kg 10Kg 内箱材质 SUS＃304镜面不锈钢 外箱材质 SUS＃304不锈钢板 保温材质 高密度玻璃棉＋PU发泡胶 冷冻系统 复叠风冷式或水冷式欧美原装进口全封闭压缩机或半封闭压缩机、环保型雪种R23、R507 控制器 采用触控式人机介面，可程式控制 保护系统 压缩机过流、过热、超温、超压、加热干烧、马达过载、气压异常保护开关 附件 隔层架2片、测试孔1只 电源 AC 3.5W 380V±10% 50Hz