本发明公开了一种精确控制浸没式光刻机浸液温度的装置，包括增压泵；初级热交换器，其浸液入口与增压泵出口连通，浸液在其中进行热交换，实现浸液温度的初级调控；次级热交换器，其浸液入口与初级热交换器浸液出口连通，浸液在其中进行再次热交换，实现浸液温度的次级调控；流量伺服阀，其入口与初级热交换器浸液出口连通，与次级热交换器形成并联，用于调节进入次级热交换器的浸液流量。通过协调控制进入初级热交换器和次级热交换器的冷媒流量，并结合流量伺服阀对进入次级热交换器的浸液流量的调节，可实现对浸液温度的两级调控，从而获得温

本发明公开了一种考虑环境温度的重型机床热变形预测方法， 具体为：预测机床内部热源引起的机床热变形量，以及预测机床外部热源引起的机床热变形量，将机床内、外部热源引起的机床热变形量 叠加得到机床最终热变形量。在机床外部热源引起的机床热变形量预 测中考虑了环境温度引起的时滞热变形误差，在内部热源引起的机床 热变形量预测中进行了基于最小二乘原理的多元回归建模。本发明综 合了反映重型机床受环境温度非线性滞后影响和内热源影响的共同作 用效果，能够实现任意环境条件和加工条件下的热变形误差实时有效 预测。

本发明提供气体浓度调节装置和气体浓度调节装置及方法，包括恒温水浴槽（５）、气体混合箱（６）及控制模块；气体混合箱（６）设置在所述恒温水浴槽（５）内；在恒温水浴槽（５）内设有加热器；在气体混合箱（６）内设有湿度传感器、温度传感器以及ＶＯＣ浓度传感器；在气体混合箱（６）上设有进气孔、加湿循环孔、ＶＯＣ浓度循环孔以及输出混合后气体的导出管（７）；进气孔连接除湿装置（２），加湿循环孔连接加湿装置（３），ＶＯＣ浓度循环孔连接加ＶＯＣ装置（４）；除湿装置（２）通过气泵与导入管（１）连接。本发明的气体温度、湿度及

产品详细介绍PZT-JL03型压电陶瓷居里点温度测试仪背景简介：    压电陶瓷的居里温度是指压电材料从铁电相转变成顺电相的相变温度，对于所有的压电陶瓷产品来说，压电材料都具有一个临界温度Tc即居里温度，在临界温度以下压电陶瓷表现出铁电相，此时压电陶瓷处于极化有序状态，温度超过临界温度Tc，压电陶瓷则由铁电相转变为顺电相，此时压电陶瓷内部电偶极距杂乱无章，处于极化无序状态，也就是我们常说的发生了退极化现象。温度小于260K以下，压电陶瓷的铁电性能也会随着温度的降低而逐渐减弱。一、产品介绍：  PZT-JL03型压电陶瓷居里点温度测试仪是一款针对压电陶瓷居里点温度测试测的设备，该设备可以直接测试出样品的居里点变化曲线及变化温度点，对于判断样品的居里点温度简单而实用。仪器可以电脑设置电脑温度段，充分判断不同样品不同的温度点变化。二、主要技术参数：高温度：1200℃控温精度：±1℃显示：数字显示加热区：独立的加热区电源：220V接口：USB接口测试方式：软件控制

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