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云上高博会 2025-09-15
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云上高博会 2025-09-22
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云上高博会 2025-09-29
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云上高博会 2025-10-06
维意真空多靶高真空磁控溅射镀膜机支持定制
MS-450高真空多靶磁控溅射镀膜机 真空腔室:直径450✕H400mm,1Cr18Ni9Ti优质不锈钢材质,氩弧焊接,前开门结构; 真空系统:机械泵+分子泵(进口和国产可选); 极限真空:优于5✕10-5Pa(经烘烤除气后); 真空抽速:大气~8✕10-4Pa≤30min; 升降基片台:2~6英寸基片台,靶基距60~120mm连续在线自动可调,旋转0~20r/min可调,可加热至500℃(可选水冷功能),可选配偏压清洗功能; 磁控靶:直径3英寸2~4只(可升级成直径4英寸靶2~3只),兼容直流和射频,可以溅射磁性材料的靶材; 溅射电源:直流脉冲溅射电源、全自动匹配的射频溅射电源可任选; 质量流量计:2~3路工艺气体,可根据工艺要求增加; 膜厚监控仪:可选配国产或进口单水冷探头膜厚仪; 控制方式:PLC+触摸屏控制系统,具备漏气自检与提示、通讯故障,实现一键抽停真空。
北京维意真空技术应用有限责任公司 2025-04-25
世界首套煤炭超临界水煤气化制氢示示范系统
本项目突破超临界水流化床中煤气化制氢反应器的排渣和长时间连续稳定运行等关键技术,从根本上解决煤炭清洁高效利用难题,构建了世界首套煤炭超临界水煤气化制氢示示范系统,实现了以超临界水相还原气化煤为核心的新型高效气化制氢完整流程工艺技术的集成与长时间连续稳定生产实验,装置连续稳定运行达 4000 小时以上。
西安交通大学 2021-04-11
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