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HMDS真空预处理烘箱
HMDS真空预处理烘箱产品用途:该产品主要用于半导体行业,HMDS预处理系统通过对烘箱HMDS预处理过程的工作温度、处理时间、处理时保持时间等参数可以在硅片、基片表面均匀涂布一层HMDS,降低了HMDS处理后的硅片接触角,降低了光刻胶的用量,提高光刻胶与硅片的黏附性。     一、产品规格: 型号:BD/HMDS-6090   内形尺寸:450×450×450     型号:BD/HMDS-6210   内形尺寸:560×640×600   二、 技术参数: 1、控温范围:RT+10~250℃  2、温度分辨率:0.1℃     3、温度波动度:±1℃ 4、达到真空度:小于133Pa 5、真空度:100Pa~100000Pa 6、定时范围:1~9999min 7、工作室材料:316L 8、样品架:2块、3块 9、真空泵:4L/S 10、电源电压:220V/50Hz、380V/50Hz三相五线制 11、总功率:3000W、4500W 三、产品特点: 1、外壳采用冷轧钢板制造,表面静电喷塑。内胆、样品机、连接管路均采用优质不锈钢316L材料制成;加热器均匀分布在内胆外壁四周,内胆内无任何电气配件及易燃易爆装置。钢化、防弹双层玻璃门观察工作室内物体一目了然。 2、箱门闭合松紧能调节,整体成型的硅橡胶门封圈,确保箱内高真空度。 3、HMDS气体密闭式自动吸取添加设计,真空箱密封性能佳,确保HMDS气体无外漏顾虑。 四、HMDS预处理系统操作流程: 1、首先确定烘箱工作温度; 2、预处理程序为:打开真空泵抽真空,待腔内真牢度达到某一高真空度后,开始充入氮气,充到达到某低真空度后,再次进行抽真空、充入氮气的过程,到达设定的充入氮气次数后,开始保持一段时间,使硅片充分受热,减少硅片表面的水分; 3、再次开始抽真空,充入HMDS气体,在到达设定时间后,停止充入HMDS药液,进入保持阶段,使硅片充分与HMDS反应; 4、当达到设定的保持时间后,再次开始抽真空。充入氮气,完成整个作业过程。 五、控制系统: 1、7.0英寸维纶彩色触摸屏,三菱PLC控制器; 2、富士微电脑双数显温度PID控制器,控温精确可靠; 六、保护系统: 1、漏电保护; 2、超温保护; 3、缺液保护;              七、设备使用条件: 1、环境温度:5℃~+28℃(24小时内平均温度≤28℃) 2、环境湿度:≤85%R.H 3、操作环境需要室内通风良好,机器放置前后左右各80公分不可放置东西; 八、HMDS真空预处理烘箱服务承诺: 保修十二个月,免费送货上门,在对该设备安装调试结束后,在用户现场对相关技术人员免费做相应的操作培训,人数不限。
北京中科博达仪器科技有限公司 2026-01-15
基于多波束相控阵声纳系统的三维声纳可视化处理方法
本发明公开了一种基于多波束相控阵声纳系统的三维声纳可视化处理方法,包括以下步骤:采集声纳数据,并通过网络发送;通过网络逐帧获取声纳数据,将每一帧声纳数据对应的范围图像转化为全局坐标系下的点云数据;对点云数据进行过滤,将过滤得到的点云数据连接成三角面片,并计算每个三角面片的法向量和顶点;将当前帧与前一帧进行配准,将配准后的当前帧和前一帧中的点云数据进行马赛克化处理,然后利用遍历交叉点算法将马赛克化后的当前帧和前一帧的点云数据进行融合,并进行三维场景图像模型点集的更新;依据融合后的点云数据的强度以及三角面片的法向量和顶点的法向量,生成三维场景图像。本发明方法,速度快,精度高。
浙江大学 2021-04-11
一种高温高压微波物化处理含磷污水的系统和方法
简介:本发明公开了一种高温高压微波物化处理含磷污水的系统和方法,属于水污染治理领域。该系统由加药泵、除磷药剂溶储罐、管道混合器、微波发生器、提升泵、微波反应器、除磷反应柱、湍流压力突变器、空气扩散器、浮选沉淀池、污泥浓缩池、压滤机、减压阀、加压溶气水储罐、空压机以及加压泵组成。本发明利用微波选择性加热获得高温,利用微波和压力突变的双重作用促进气泡破灭的瞬间产生高压的特点,获得了高温高压的化学除磷反应的条件。与传统的常温常压的化学除磷法相比,本发明具有除磷效率高、反应时间短,节省除磷药剂成本等优点,有助于降低水体磷的富营养化污染,具有显著的经济效益和环境效益。
安徽工业大学 2021-04-13
一种超低能耗高效安全污泥湿式氧化处理技术
1.痛点问题 随着我国城镇化的快速推进,城市污水和污泥处理量急剧攀升,2021年市政污泥规模超过7000万吨,高效低成本减量化、稳定化、无害化和资源化污泥处理处置已成为我国可持续发展的重要且紧迫的需求。城市的快速发展导致原本处于郊区的污水处理厂已处于市区,现有污泥处理技术(如干化+焚烧,厌氧消化、好氧堆肥等)由于臭气排放存在明显的“邻避效应”,周边居民反对强烈;同时存在处理成本高,或减量化不足导致污泥运输费用高和运输臭气外溢等问题。 2.解决方案 超低能耗高效安全污泥湿式氧化处理技术(SEUE-WAO)利用高温和一定压力,以富氧空气作为氧化剂,在液相中将有机物分解为二氧化碳、水等无机物或小分子有机物的化学过程。 1)该技术全程封闭运行,污泥湿式氧化产生的反应气经过喷淋处理和土壤滤池过滤后可达标排放,实现了臭气的零排放,彻底解决“邻避效应”。 2)本技术开发了高效自清洁低阻污泥-污泥换热技术,将污泥有机物氧化反应释放的能量深度回收用于预热调质污泥,工艺能耗大幅降低,只需要少量加热甚至无需电加热可维持工艺系统运行,同时开发的反应泥余压余热储存与利用新工艺,实现了工艺超低成本、高效安全运行。 3)该技术处理后的污泥含水率可降低至40%以下,减量化~80%,大大减少运泥运输费用,处理后的污泥气味小,减小了臭气外溢的风险。 4)该技术灵活性强,根据处置路径的不同,可调整工艺参数。处理后的污泥处置路径多样,可作为包装类纸板的填料资源化利用,也可用于制砖、陶粒等建材利用,或用于焚烧处置。 综上,本技术臭气零排放,环境友好性佳,解决了现有技术的二次污染和邻避效应难题;同时充分回收能量,具有超低处理成本、安全高效、自动化程度高、产物可资源化利用等优点。 3.合作需求 1)成立新公司进行示范工程建设的资本投资; 2)拥有污泥处理业务资源的水务集团等企业进行合作推广应用; 3)构建针对产品工程化推广的专业化管理和运营团队。
清华大学 2022-09-27
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产品详细介绍
江苏省常熟市白茆不锈钢教仪厂 2021-08-23
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江阴市宏达教学仪器厂 2021-08-23
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浙江义乌市教学仪器厂 2021-08-23
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河北工程技术高等专科学校机械厂 2021-08-23
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余姚市益智达仪器有限公司 2021-08-23
高温高含尘烟气高效余热回收与深度净化一体化技术
工业高温(800℃以上)高含尘(2000mg/m3 以上)烟气具有成分复杂、含尘量高、有腐蚀性、工况变化大等特点,余热回收装置易堵塞,余热回收效率低;净化装置存在滤料堵塞和再生困难的问题,净化效率低、滤阻高、设备运行成本高;温度及含尘浓度大幅度波动的时变性工况余热难以有效回收利用。针对时变性高温高含尘烟气的特点,以高效除尘、减小滤阻及高效蓄/换热为目标,开发集成荷电分离与滤体过滤高温高含尘烟气除尘技术的变孔隙率和比表面积的三维金属蜂巢结构耐高温蓄热体,形成高温高含尘烟气高效余热回收与深度净化一体化技术,实现对高温高含尘烟气高效余热回收及低阻力深度净化。
北京科技大学 2021-04-13
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