已有样品/n激光柱面干涉仪主要用于柱面光学零件面形误差的检测和柱面半径的精确测定， 它采用立式检测结构， 调试操作方便， 并装有干涉条纹显示系统， 是今后光学柱面镜加工与检测的必备测试仪器。

扫描数字剪切散斑干涉仪利用激光散斑剪切干涉和线阵CCD扫描原理, 将激光束扩束后照射在具有光学粗糙的物体表面，并以线阵CCD扫描记录 待测物体表面变形前后的剪切散斑像，进而利用数字图像处理技术，获 得反映物体表面形变的数字剪切散班干涉图样，由该图样可以获得物体 表面形变信息或相关区域的缺陷特征，实现无损检测目的。基于特殊设 计的微位移移动轨道和CCD扫描技术的应用，以及剪切镜的灵活设计，可 以有效增大测量视场并提高缺陷检测灵敏度。 该

通过腐蚀扩芯光纤实现的干涉仪, 特别适用于光纤传感领域。解决了目前基于光纤结构的干涉仪所面临的尺寸大、敏感性差、制作成本高的问题。该干涉仪包括在光纤（1）上制作的扩芯区（2）和腐蚀区（3）。制作方法：将光纤（1）去除涂覆，在对光纤（1）加热的同时将光纤（1）两端向中间推，制作扩芯区（2），然后以HF溶液沿径向腐蚀扩芯区（2）中部，形成腐蚀区（3）。加热的方法包括：电火花放电、CO2激光器聚焦或火焰加热。光纤（1）直径为D1，扩芯区（2）的最大直径为D2，长度为2L1+L2，腐蚀区（3）的长度为L2，深度为H。激光信号在传播的过程中被分成两路或多路，在干涉仪输出端干涉出干涉条纹。

本发明公开了一种用于非球面测量的波长扫描干涉仪及方法，包括一套可调谐激光器作为光源，一个泰曼—格林干涉仪用于产生干涉条纹，一个平移台用于沿光轴扫描光程差，一个用于将干涉数据转为数字信号并传入计算机的图像卡，以及一个用于同步CCD相机和平移台动作的数据卡。与传统非球面测量方法不同的是，本干涉仪适用范围广，可以测量大非球面度的表面或波前，且无需补偿零位镜。另外，该方法无需复杂且通常较为昂贵的多维运动平台。

基于哑铃形光纤结构的马赫增德干涉仪, 适用于光纤激光器、光纤传感、光纤通信领域。解决了基于光纤结构的马赫增德干涉仪尺寸大、敏感性差、制作成本高的问题。该干涉仪包括在光纤(1)上制作的第一、第二扩芯区(21、23)，拉锥区(22)。制作方法：将光纤(1)去除涂覆，在对光纤(1)加热的同时将光纤(1)两端向中间推，分别制作位置连续的第一、第二扩芯区(21、23)，然后在第一、第二扩芯区(21、23)之间将光纤(1)拉细制作拉锥区(22)。加热的方法包括：电火花放电、CO2激光器聚焦或火焰加热。激光在第一扩芯区21分成两路，一路耦合到包层中传播，另一路继续在纤芯中传播，在第二扩芯区23处，包层中的光信号和纤芯中的光信号相干产生干涉条纹。

本发明公开了一种基于迈克尔逊干涉仪的声波探测器，包括窄 带光源、光电转换单元、数据采集分析单元和声波探测传感头；声波 探测传感头的输入端连接窄带光源的输出端，光电转换单元的输入端 连接声波探测传感头的输出端；数据采集分析单元的输入端连接光端 转换单元的输出端；通过声波探测传感头将声信号转化为光信号传播， 采集光信号并通过光电转换单元将光信号转变为电信号，由数据采集 分析单元采集到电信号并根据电信号获取探测到的声信号的

本发明公开了一种基于迈克尔逊干涉仪的声波探测器，包括窄 带光源、光电转换单元、数据采集分析单元和声波探测传感头；声波 探测传感头的输入端连接窄带光源的输出端，光电转换单元的输入端 连接声波探测传感头的输出端；数据采集分析单元的输入端连接光端 转换单元的输出端；通过声波探测传感头将声信号转化为光信号传播， 采集光信号并通过光电转换单元将光信号转变为电信号，由数据采集 分析单元采集到电信号并根据电信号获取探测到的声信号的

本发明公开了一种基于光纤萨格纳克干涉仪的声波传感测量装 置，包括单色光源、光纤耦合器、第一单模光纤、少模光纤、第二单 模光纤、长周期光纤光栅、第三单模光纤、光电探测器和示波器；在 光纤耦合器的第三端和第四端之间的第一单模光纤、少模光纤、第二 单模光纤、长周期光纤光栅、第三单模光纤依次连接构成了萨格纳克 闭环结构；长周期光纤光栅与少模光纤在萨格纳克闭环内实现了级联； 当外界声波作用于该装置的长周期光纤光栅时，其曲率受到

1 成果简介该技术可用于制造高技术产品——各种不同波长激光的共焦球面法布里-珀罗扫描干涉仪； 该技术属国际首创，具有完全的自主知识产权。这种技术突破了制作一种波长的共焦球面法布里-珀罗扫描干涉仪需要用相应波长激光进行调整的限制，它既可以用于在已有相应激光作为检测工具的情况下制作共焦球面法布里-珀罗扫描干涉仪，也可以在没有相应激光作为检测工具的情况下，甚至在国内外尚没有研制出相应（波长）激光器的情况下，制作所需任何波长的共焦球面法布里-珀罗扫描干涉仪；该项技术包括共焦球面法布里-珀罗扫描干涉仪全套部件的制作技术和检测技术，还包括最新国际首创的光纤耦合输入共焦球面法布里-珀罗扫描干涉仪制造技术；采用该技术可以以极高的性价比和极高的利润率制作共焦球面干涉仪，具有国内外最高的性能价格比。 该技术已经成熟，制作工艺已经简化和标准化，并已用于批量生产共焦球面干涉仪。该技术生产的是高技术产品，但由于技术与工艺成熟，所以对操作人员的要求并不高，细心的操作工即可胜任。2 应用说明用该技术制造的共焦球面法布里珀罗干涉仪有重要而广泛的应用，举例如下：激光器模谱分析与测量 适于各种激光器的测量，包括： 适用于固体、气体、液体、半导体激光器的测量；适用于连续激光器、重复频率脉冲激光器的测量；适用于各种波长（可见光、红外光、紫外光等）激光的测量。激光横模测量：检测激光器工作于基横模，高阶横模，混合模；激光纵模测量：纵模数量、间隔、谱线宽度、增益线线型；激光纵模分裂与模竞争的测量；激光器增益系数的测量。激光器的制作过程监测：监测激光器工作的单频、双频及多频状态及双频激光功率平衡。多种仪器的制作与工作状态的检测：比如激光陀螺、原子时钟、激光测速仪等，这些仪器都需要工作在一个稳定的频率上。滤波器、选频器：从多个频率的激光束中，选出其中一个频率的激光。稳频器：用于使激光器稳定工作在一个所需要的频率上。多种传感器：微位移测量（比如压电陶瓷的微小伸缩灵敏度的测量等），物体表面超声脉冲的检测，微振动的检测，液体折射率和浓度的检测。3 效益分析对于制作通用波长激光的共焦球面法布里-珀罗扫描干涉仪，其售价-成本比高 10:1；对不常用波长激光的共焦球面法布里-珀罗扫描干涉仪，其售价-成本比可高 50:1。共焦球面法布里-珀罗扫描干涉仪的单价较高，为 5000-25000 元；生产效率高， 4-5 台/人日；生产设备投资很低。仅需光学平台、通用激光器和示波器；生产的共焦球面法布里-珀罗扫描干涉仪，是国家教委规定的大学实验室必备基本仪器；是激光器、多种传感器等仪器的制作与使用过程的监测等应用的首选仪器；在教学、科研、生产与应用领域中均有重要而广泛的应用，市场大；由于高性价比和高效益，使用该技术生产的共焦球面法布里-珀罗扫描干涉仪已经占领国内市场，国际市场待开发，可望产生很好的经济效益。