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一种硅通孔互连结构的制备方法
本发明公开了一种硅通孔互连结构的制备方法，步骤为①将键合硅器件晶圆键合于硅晶圆基板上；②减薄硅器件晶圆，再刻蚀硅器件晶圆，形成盲孔；③在硅器件晶圆上涂敷一层图案化介电材料(如聚对二甲苯)；④刻蚀图案化介电质层，刻蚀掉盲孔底部的介电材料，保留盲孔侧壁；在基板上形成介电质孔，使介电质孔和盲孔同轴；⑤在介电质孔上沉积一层导电材料，作为导电层，形成导电孔；⑥在导电层上再沉积一层图案化介电质层；⑦移除基板，在导电层上形成焊料微凸点。本发明简化了工艺步骤，减少工艺时间并降低了费用；降低了寄生电容，提升了互连电性
华中科技大学
2021-04-14
激光焊接中狭窄对接焊缝的测量方法及装置
本发明涉及一种激光焊接中狭窄对接焊缝的测量方法及装置，它将二维和三维视觉信息进行有机融合，通过对 CCD 相机和二个激光平面进行标定，利用含有三条激光条纹的焊缝图像，在同一测量位置获取焊缝中心的三维位置、法矢及焊缝宽度信息。装置包括：远心镜头、CCD 相机、图像采集卡、带通滤光片、计算机，各线光源激光器投射出会聚的三个激光平面，各激光平面在与 CCD 相机主光轴垂直的平面上相交所形成的激光条纹基本平行。第一、第三线光源激光器对称地安装在 CCD 相机的左右两侧，与 CCD 相机的主光轴成 15～60
华中科技大学
2021-04-14
一种短波长光辅助硅片直接键合方法
本发明属于晶圆键合技术，为一种短波长光辅助硅片直接键合方法，其步骤包括：①清洗；②氧化性氨溶液活化；③将硅片用短波长光继续辅助活化，活化后取出；短波长光的波长范围为 100～400nm，短波长光照射光强为 5～30mW/cm<sup>2</sup>，活化时间为 0.5～30分钟；④预键合；⑤退火。经过短波长光辅助活化处理后的键合硅片对结合紧密，无需外压力作用就能实现硅硅直接键合。本发明所需设备简单，键合速度快，键合周期短，键合面积大，键合温度低，且在键合强度及键合可靠性上具有
华中科技大学
2021-04-14
一种三维微型模具的制造方法
本发明提供了一种三维微型模具的制造方法，在各硅片上分别刻蚀出与待制造零件各层结构相应的图形，将质量百分比 98％的H2SO4 与质量百分比 30％的 H2O2 按照体积比 2～4∶1 混合，采用此混合溶液对各硅片进行清洗，然后活化，再将活化后的硅片干燥，按层次迅速对准贴合，最后进行退火处理得到三维微型模具型腔。本发明能够制造出微米尺度的三维微型模具，具有精度高，成本低，柔性大的优点，适用于微齿轮轴、微阶梯轴、高深宽比三维微型结构等微机电系统(MEMS)器件模具的加工制造。
华中科技大学
2021-04-14
一种反推水库入库流量过程的测算方法
本发明公开了一种反演水库入库流量过程的测算方法，包括步骤:步骤 1，观测水库坝前水位获得 水库观测水位信息，收集水库出库流量数据;步骤 2，考虑水库入库流量过程连续性，建立优化目标函 数;步骤 3，采用拉格朗日法对优化目标函数中反推水库容量求偏导，获得反推水库入库流量的解析公 式;步骤 4，采用解析公式获得反推水库库容，根据反推水库库容反推获得水库入库流量。本发明能保 证水库入库流量过程光滑，避免流量出现负值或较大波动。
武汉大学
2021-04-14
INS 控制 GNSS 基带的开环跟踪误差分析及控制方法
本发明公开了一种 INS 控制 GNSS 基带的开环跟踪误差分析及控制方法，本发明基于 GNSS/INS 深 组合接收机的闭环跟踪环结构构建 INS 误差与开环跟踪误差间的拉氏域数学模型；采用拉氏域数学模型 分析基于不同精度等级惯导的开环跟踪误差发散规律；基于开环跟踪误差发散规律提出合理的 INS 控制 GNSS 基带的跟踪机制。本发明方法可用于短时间卫星信号不可用的情况，能有效提高 GNSS 接收机信 号跟踪环路的连续性，从而获取较高精度的连
武汉大学
2021-04-14
水泵水轮机第一象限特性曲线理论预测方法
本发明提出一种水泵水轮机第一象限特性曲线理论预测方法，基于水轮机欧拉方程，利用水泵水轮 机转轮进出口直径、转入叶片进出口安放角及导叶开度等几何体型参数，考虑转轮进口的撞击损失、转 轮内及尾水管水头损失和离心力作用项，得到水泵水轮机反―S‖的特性及水轮机区特性曲线。本发明可 适用于抽水蓄能电站中水泵水轮机前期开发设计，为水泵水轮机几何参数对转轮的反―S‖特性影响提供 预测和指导方向；使转轮在水力模型试验之前，为电站前期调节保证设计提供水轮机区初步
武汉大学
2021-04-14
一种无人机曲率连续可调路径规划方法
发明公开了一种无人机曲率连续可调路径规划方法，包括以下步骤:第一步，路径曲率连续化， 利用参数化的 Catmull-Rom 曲线连接各路标点，通过优化插值方法保证连结点处曲率连续;第二步，计 算路径曲线各点曲率值，查找并标注曲率值超过规定阈值的曲线起点 Pointstart、终点 Pointgoal;第三步， 采用最小曲率圆转移法，利用曲率值单调变化的 Bezier 曲线连接 Pointstart、Pointgoal。与现有技术相
武汉大学
2021-04-14
螺羟吲哚类化合物的合成方法
本发明属于有机合成领域，公开了一种螺羟吲哚类化合物的合成方法，是以靛红类化合物、活性亚甲基化合物和1，3-二羰基化合物为原料，以大孔型强碱性阴离子交换树脂或凝胶型强酸性阳离子交换树脂为催化剂，在水相中“三组分一锅法”合成螺羟吲哚类化合物，该方法具有操作简便、反应条件温和、反应时间短(0.5～3小时)、产率高(90％～99％)、催化剂能重复使用、环境友好、成本低等优点。
四川文理学院
2015-02-25
一种轨道交通列流图自动编制方法
本发明涉及一种轨道交通列流图自动编制理论及方法。
西南交通大学
2015-02-22