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一种在 SOI 硅片上制备微机械悬空结构的方法
本发明公开了一种在 SOI 硅片上制备微机械悬空结构的方法。对悬空结构及其固定结构采用不同的槽宽设计，其中，固定结构的槽宽明显大于悬空结构，宽槽底部经刻蚀首先到达或更加接近 SiO2 层，再通过各向同性干法刻蚀使窄槽底部相互连通并与窄槽下方的 Si 层分离，将窄槽间的梁释放，形成具有平整底面的悬空结构，同时去除固定结构与悬空结构连接区底部的 Si 以及固定结构与其它结构之间的区域底部的 Si，使得固定结构与窄槽下方的 Si 层及其它结构隔离，从而使不同的固定结构间相互绝缘。本发明的方法简单有效，能广
华中科技大学
2021-04-14
一种补偿粒子速度影像仪球面像差的方法及装置
本发明公开一种补偿粒子速度影像仪球面像差的方法，所述方法为：在粒子速度影像仪提取极电极板添加跳变电压，以在聚焦电场的基础上添加发散电场，从而补偿原有静电聚焦透镜球面像差。本发明还提供一种补偿粒子速度影像仪球面像差的装置，所述装置包括与粒子速度影像仪提取极电极板连接的跳变电压控制单元，用于在提取极电极板上产生跳变电压。本发明可补偿粒子速度影像仪补偿原有静电聚焦透镜球面像差，实施本发明无需改变原有装置结构，实施简便、成本低、成像分辨率高。
华中科技大学
2021-04-14
一种交流电相位频率幅值跟踪重构的方法
本发明公开了一种交流电相位频率幅值跟踪重构方法，按照该 重构方法，对采集的交流电实际值分析出交流电的频率、相位、相序关系，其后利用二阶广义积分器、频率和相位信息得到各相实时的估 计幅值，再次估计幅值代入提出的算法，减小估计的频率和相位误差。 按照本发明实现的交流电相位频率幅值跟踪重构的方法，无需提供前 馈参考较频率，能够有效分析任何位置角频率的交流电相位、频率和 幅值，并且对于单相或三相电压、电流信号均可实现分析，而且能够 实现有效、快速的实时重构。
华中科技大学
2021-04-14
一种凸轮从动件运动规律的标定装置及方法
本发明公开了一种凸轮从动件运动规律的标定装置及方法，其 包括机架、凸轮副机构、激光检测机构和控制装置，凸轮副机构包括 相互配合的凸轮机构和从动机构，从动机构上固联有随动标定辅具； 激光检测机构包括平面二维调整平台、高度调整平台和激光位移传感 器测量头，平面二维调整平台通过直角支承座安装有竖直布置的高度 调整平台；激光位移传感器测量头通过一体式夹持器固装在高度调整 平台上，并置于随动标定辅具的上方；控制装置用于控制凸轮机构、 从动机构和随动标定辅具动作，并控制所述激光位移传感器测量头进 行在线测量，根
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2021-04-14
一种面向柔性芯片的多顶针剥离装置及剥离方法
本发明公开了一种面向柔性芯片的多顶针剥离装置，包括固定 座、双真空腔室、多顶针机构和凸轮旋转驱动机构，其中：双真空腔 室由分设在内、外侧的真空内腔室和真空外腔室共同组成，并且真空 内腔室还可独立发生上下滑动；多顶针机构由同轴安装且彼此独立操 控的内外圈顶针机构共同组成，它们沿着竖直方向整体设置在真空内 腔室下部，并各自包括顶针、支撑架和从动子；凸轮旋转驱动机构用 于实现内外圈顶针机构上下动作时序的控制，同时实现单顶针与多顶 针之间的灵活切换。本发明还公开了相应的剥离工艺方法。通过本发 明，能够显著提
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2021-04-14
一种适用于芯片转移的倒装键合控制方法
本发明属于芯片贴装工艺相关领域，并公开了一种适用于芯片 转移的倒装键合控制方法，主要包括：基于大转盘仰视相机和晶元盘 斜视相机的观测和配合，对芯片从晶元盘至大转盘单元的吸附转移执 行角度及位置控制；基于大转盘俯视相机和小转盘侧视相机的观测和 配合，对芯片从大转盘单元至小转盘单元的拾取转移执行角度及位置·108·控制；以及基于小转盘仰视相机和小转盘俯视相机的观测和配合，对 芯片至基板的贴合过程执行相应控制。通过本发明，不仅能够实现芯 片高效倒装键合整个过程中芯片在位置及角度
华中科技大学
2021-04-14
一种基于微流控技术的柔性电子制作方法
本发明公开了一种基于微流控技术的柔性电子制作方法，其包 括以下步骤：提供一个同轴针头；提供柔性聚合基底材料，并在所述 柔性聚合基底材料内添加表面活性剂以形成柔性组合物；提供平板， 并在所述平板的表面上涂一层预定厚度的所述柔性组合物；将所述柔 性组合物及导电液体分别置于两个微型泵内，并将两个所述微型泵的 出口分别连接于所述同轴针头；先后开启收容有所述导电液体的微型 泵及收容有所述柔性组合物的微型泵，并基于微流控技术分别控制两 个所述微型泵的压力及流量；待所述同轴针头内的所述柔性组合物与 所述导电液体之
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2021-04-14
一种船舶双向曲率板一体作用自动成型方法
本发明公开了一种船舶双向曲率板一体作用自动成型方法,包括下列步骤：a)构建一体作用成型加载系统；b)针对待成型的板材，根据成型工艺要求，建立成型的基础数据与加工数据之间的对应关系；c)根据建立的基础数据与加工数据的对应关系，编制成型软件并在控制装置上安装成型软件，启动成型软件对板材执行加载，以使板材产生双向曲率塑性变形；d)对已塑性变形的板材的成型效果进行监测，并比较和反馈已成型形状、曲率与目标形状、曲率之间的差异。本发明便于操控，同时具有智能化、高精度、应用范围广的优点，因而尤其适用于鞍形板、帆形
华中科技大学
2021-04-14
一种获取材料宏观三维等效属性的方法
本发明属于材料力学技术领域，并公开了一种获取材料宏观三 维等效属性的方法，包括如下步骤:(1)建立用于描述材料与微观结构 的双尺度坐标系，基于渐进性扩展理论，构建材料宏观等效属性模型; (2)构建三维微观结构的周期性边界模型;(3)通过有限元分析来建立三 维微观结构的周期性约束关系;(4)基于周期性约束关系建立三维微观 结构内线弹性平衡方程，并根据线弹性平衡方程获得微观结构的位移 场;(5)基于有限元分析与微观结构的位移场，求解单元应变能，获得 材料宏观三维等效属性;本发明提供的方法在进行
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2021-04-14
一种行星轮式越障机器人爬楼梯控制方法
本发明公开了一种行星轮式越障机器人爬楼梯控制方法，包括 如下步骤:1)保持越障机器人匀速直线前进，测量其同一驱动组中两 行星轮组与前方台阶的距离及行星轮组的转速，并计算偏转角;2)计算各行星轮组的理论转速，并使行星轮组以计算得出的转速进行运动; 3)检测当前的 L1 和 L2，并计算当前的偏转角θ;4)判断当前偏转角θ 是否超过预设值:若是，则转入步骤 2)，若否，则控制机器人继续等 速直线前进;5)判断两行星轮组是否到达阶梯:若否，则继续等速直 线
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2021-04-14