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精确控制浸没式光刻机浸液温度的装置及其温控方法
本发明公开了一种精确控制浸没式光刻机浸液温度的装置,包括增压泵;初级热交换器,其浸液入口与增压泵出口连通,浸液在其中进行热交换,实现浸液温度的初级调控;次级热交换器,其浸液入口与初级热交换器浸液出口连通,浸液在其中进行再次热交换,实现浸液温度的次级调控;流量伺服阀,其入口与初级热交换器浸液出口连通,与次级热交换器形成并联,用于调节进入次级热交换器的浸液流量。通过协调控制进入初级热交换器和次级热交换器的冷媒流量,并结合流量伺服阀对进入次级热交换器的浸液流量的调节,可实现对浸液温度的两级调控,从而获得温
华中科技大学 2021-04-14
一种考虑环境温度的重型机床热误差预测方法
本发明公开了一种考虑环境温度的重型机床热变形预测方法, 具体为:预测机床内部热源引起的机床热变形量,以及预测机床外部热源引起的机床热变形量,将机床内、外部热源引起的机床热变形量 叠加得到机床最终热变形量。在机床外部热源引起的机床热变形量预 测中考虑了环境温度引起的时滞热变形误差,在内部热源引起的机床 热变形量预测中进行了基于最小二乘原理的多元回归建模。本发明综 合了反映重型机床受环境温度非线性滞后影响和内热源影响的共同作 用效果,能够实现任意环境条件和加工条件下的热变形误差实时有效 预测。
华中科技大学 2021-04-14
一种气体温度、湿度及VOC浓度调节装置及方法
本发明提供气体浓度调节装置和气体浓度调节装置及方法,包括恒温水浴槽(5)、气体混合箱(6)及控制模块;气体混合箱(6)设置在所述恒温水浴槽(5)内;在恒温水浴槽(5)内设有加热器;在气体混合箱(6)内设有湿度传感器、温度传感器以及VOC浓度传感器;在气体混合箱(6)上设有进气孔、加湿循环孔、VOC浓度循环孔以及输出混合后气体的导出管(7);进气孔连接除湿装置(2),加湿循环孔连接加湿装置(3),VOC浓度循环孔连接加VOC装置(4);除湿装置(2)通过气泵与导入管(1)连接。本发明的气体温度、湿度及
东南大学 2021-04-14
低温空间温度场数据可视化与模拟分析系统项目
项目简介 “低温空间温度场数据可视化与模拟分析系统”项目由泰州市沪江特种设备有限公 司委托开展。运用空间温度在线监测和计算机数据处理及可视化技术,实时分析空间的 温度场变化,实现空间温度场的优化,达到节能运行的目的。 系统根据空间需要,布置多层、多处测点,依靠传感器及相关仪表,通过 485 通信 方式实现本地数据与计算机之间的传输。自主研发的数据采集与处理程序实时监测空间 各处的温度分布,并以三维彩色视图显示,可直观观测空间的温度场的动态变化特征, 指
江苏大学 2021-04-14
PZT-JL03型压电陶瓷居里点温度测试仪
产品详细介绍PZT-JL03型压电陶瓷居里点温度测试仪背景简介:    压电陶瓷的居里温度是指压电材料从铁电相转变成顺电相的相变温度,对于所有的压电陶瓷产品来说,压电材料都具有一个临界温度Tc即居里温度,在临界温度以下压电陶瓷表现出铁电相,此时压电陶瓷处于极化有序状态,温度超过临界温度Tc,压电陶瓷则由铁电相转变为顺电相,此时压电陶瓷内部电偶极距杂乱无章,处于极化无序状态,也就是我们常说的发生了退极化现象。温度小于260K以下,压电陶瓷的铁电性能也会随着温度的降低而逐渐减弱。一、产品介绍:  PZT-JL03型压电陶瓷居里点温度测试仪是一款针对压电陶瓷居里点温度测试测的设备,该设备可以直接测试出样品的居里点变化曲线及变化温度点,对于判断样品的居里点温度简单而实用。仪器可以电脑设置电脑温度段,充分判断不同样品不同的温度点变化。二、主要技术参数:高温度:1200℃控温精度:±1℃显示:数字显示加热区:独立的加热区电源:220V接口:USB接口测试方式:软件控制
北京圆通科技地学仪器研究所 2021-08-23
输配电设备多参数智能传感系统
系统非接触式实现变电站及所有设备的异常监测,包括全景视频、温度和局部放电。对GIS、变压器、电抗器、开关、电缆、CT、PT等一次设备各部件温度及各类绝缘缺陷,违规作业、异物入侵等实施直接监测或计算外推,并实时智能预警。系统由多物理量值守机器人、智能云APP和大数据后台组成,值守机器人集成局部放电、红外测温、视频图像及声音诊断等传感器,并具备初步的人工智能算法和设备异常诊断能力,后台包括设备管理和大数据评估功能模块,APP接收智能终端和后台信息,主要显示诊断结果、数据内容,并实现人机交互。通信方式有无线、有线两种。 局放传感模块、红外传感模块、视频模块、气体传感模块、声音模块、油色谱等不同功能模块可根据实际情况合理增减搭配使用。产品的集成度高,远距离非接触采集信息,高智能、高可靠、低成本。近5年来,使用该技术发现了48起变电站内潜在故障隐患,避免了多起停电事故。 本项目经过十余年的研发与产学研合作,对应了目前泛在电力物联网的总体思路和要求,具有多个电网公司的应用案例,取得了一系列国际上具有独创性的成果。 适用范围广  能在高温、低温、高湿等环境条件下可靠运行,防水防尘。 多物理量协同  集成局放、红外、视频、声音等传感器,同时监测变压器、敞开式开关、电抗器等变电站内一次设备的局放信号、红外热像、视频信息,实现多传感器的高效结合及协调诊断。 使用方便  配备智能云APP,实时接收现场值守机器人采集的数据,实现人机交互,能够早期发现缺陷,判断缺陷位置,提高现场人员的工作效率。 智能化程度高  监测的数据可以通过无线网络或有线数据同步传输,嵌入人工智能算法,提高了监测数据及时率、准确率及有效性。 安装方便  值守机器人体积小,重量轻,一键式安装。有线通信与无线通信系统自动切换,内部参数可以通过手机设置。 性价比高  采用低成本、高可靠技术路线,通过人工智能算法降低硬件的复杂性。 目前该系统已获得14项国内发明专利授权、3项PCT专利授权、8项实用新型专利、软件著作权登记3项。高电压技术、电力设备智能监测领域权威期刊上发表论文30篇。应用在国家电网、中国石化30多个变电站,有三百多套挂网运行。 不同场景的实物及应用照片,或原理图解 图1 长距离多参数智能传感器(视频、红外、局放、声音+人工智能边缘计算) 图2 短距离多参数智能传感器(视频、红外、局放、声音+人工智能边缘计算) 图3 用户报告 图4 变电站安装监测 图5 大数据后台应用
上海交通大学 2021-05-11
输配电设备多参数智能传感系统
项目成果/简介:系统非接触式实现变电站及所有设备的异常监测,包括全景视频、温度和局部放电。对GIS、变压器、电抗器、开关、电缆、CT、PT等一次设备各部件温度及各类绝缘缺陷,违规作业、异物入侵等实施直接监测或计算外推,并实时智能预警。系统由多物理量值守机器人、智能云APP和大数据后台组成,值守机器人集成局部放电、红外测温、视频图像及声音诊断等传感器,并具备初步的人工智能算法和设备异常诊断能力,后台包括设备管理和大数据评估功能模块,APP接收智能终端和后台信息,主要显示诊断结果、数据内容,并实现人机交互。通信方式有无线、有线两种。局放传感模块、红外传感模块、视频模块、气体传感模块、声音模块、油色谱等不同功能模块可根据实际情况合理增减搭配使用。产品的集成度高,远距离非接触采集信息,高智能、高可靠、低成本。近5年来,使用该技术发现了48起变电站内潜在故障隐患,避免了多起停电事故。本项目经过十余年的研发与产学研合作,对应了目前泛在电力物联网的总体思路和要求,具有多个电网公司的应用案例,取得了一系列国际上具有独创性的成果。适用范围广 能在高温、低温、高湿等环境条件下可靠运行,防水防尘。多物理量协同 集成局放、红外、视频、声音等传感器,同时监测变压器、敞开式开关、电抗器等变电站内一次设备的局放信号、红外热像、视频信息,实现多传感器的高效结合及协调诊断。使用方便 配备智能云APP,实时接收现场值守机器人采集的数据,实现人机交互,能够早期发现缺陷,判断缺陷位置,提高现场人员的工作效率。智能化程度高 监测的数据可以通过无线网络或有线数据同步传输,嵌入人工智能算法,提高了监测数据及时率、准确率及有效性。安装方便 值守机器人体积小,重量轻,一键式安装。有线通信与无线通信系统自动切换,内部参数可以通过手机设置。性价比高 采用低成本、高可靠技术路线,通过人工智能算法降低硬件的复杂性。目前该系统已获得14项国内发明专利授权、3项PCT专利授权、8项实用新型专利、软件著作权登记3项。高电压技术、电力设备智能监测领域权威期刊上发表论文30篇。应用在国家电网、中国石化30多个变电站,有三百多套挂网运行。不同场景的实物及应用照片,或原理图解图1 长距离多参数智能传感器(视频、红外、局放、声音+人工智能边缘计算)图2 短距离多参数智能传感器(视频、红外、局放、声音+人工智能边缘计算)图3 用户报告图4 变电站安装监测图5 大数据后台应用知识产权类型:发明专利技术先进程度:达到国内领先水平成果获得方式:与企业合作获得政府支持情况:国家级计划/专项类别:国家自然科学基金、上海市创新专项等
上海交通大学 2021-04-10
作物氮素和水分多传感检测系统
项目简介本成果基于作物氮素和水分胁迫时的冠层图像和冠-气温差特征,利用可见光-近红 外多光谱相机、红外温度探测器、辐照度传感器和环境温湿度传感器等多传感器信息, 对冠层特征图像和冠-气温差特征进行提取,结合实时光照和温湿度信息对光强等环境误 差进行修正,可以在自然条件下快速获取作物的氮素和水分信息。该成果处于中试研究 阶段,已经申请了发明专利,发明专利授权号:ZL201010249490.0 。 性能指标 (1)可见光-近红外多光谱图像系统,图像分辨
江苏大学 2021-04-14
手持式光纤光栅传感解调仪
手持式光纤光栅传感解调仪是用于光纤光栅(FBG)波长解调的专用 设备。根据测量反射中心波长这一参数,可以获得被感知信号(如压力、 温度、应变等)的大小。该解调仪集ASE光源、分光元件和信号处理与传 输模块于一体,并根据外场测试的需求,进行了低功耗与小型化设计。同 时,它具有良好的操作界面,方便操作和设置;其次,该解调仪具有数据 网络化传输功能,方便组建FBG传感解调网络。可为石化、桥梁、矿井、 电网等需要布设光网代替传统电传感器以解决电火花敏感、布
西北工业大学 2021-04-14
基于无线传感网络的物料监控设备
本发明涉及基于无线传感网络的物料监控设备,包括多个终端、多个路由器、一个协调器、一个主机,主机通过串口与协调器相连,协调器与多个路由器相连,每个路由器连接 1-254 个终端,组成无线传感网络。本发明的终端能够实时采集并发送物料信息以及接收主机指令,主机接收、存储和处理物料信息并做出判断和响应。本发明的设备能够提高企业物流管理水平,并具有安装方便、维护成本低、可靠性高,网络规模可调节等优点。
华中科技大学 2021-04-14
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