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基于石墨烯-碳纳米管复合结构的热喷印头及其制备方法
本发明公开了一种基于石墨烯-碳纳米管复合结构的热喷印头及 其制备方法，采用 ICP 工艺以及 PDMS 填充深沟的表面平坦化工艺， 在硅片衬底上制备主通道、喷墨腔室、进墨通道、喷嘴、喷墨通道； 采用阳极键合工艺，以石墨烯碎片作为中间层，将玻璃基底和硅片衬 底键合。主通道和喷墨腔室通过进墨通道连通，进墨通道深度小于喷 墨腔室深度；喷嘴设置在喷墨腔室底部；碳纳米管-石墨烯复合结构微 气泡发生器阵列和碳纳米管温度传感器阵列
华中科技大学
2021-04-14
一种适用于柔性电子曲面共形转移的多插针转印头
本发明属于物料输送转移相关设备领域，并公开了一种适用于 柔性电子曲面共形转移的多插针转印头，其包括安装柱、整体设置于 该安装柱上的被动变形模块、电磁制动模块和弹性薄膜套模块，以及 配套设置的辅助变形模块，其中辅助变形模块用于输出与目标曲面相 对应的所需曲面形状，该被动变形模块通过多个插针的上下移动带动 弹性薄膜套形成与其呼应的共形曲面，并带动吸附在弹性薄膜套上的 柔性电子薄膜执行转印过程。
华中科技大学
2021-04-14
一种基于微滴预混和转印的气敏膜的并行合成装置及合成方法
本发明属于气敏膜合成技术领域，更具体地，涉及一种基于微 滴预混和转印的气敏膜的并行合成装置及合成方法，该气敏膜并行合 成装置包括限位载物台、控制模块、三维滑台、微滴预混模块和微滴 转印模块，微滴预混模块采用阵列蠕动泵和阵列微滴针头相结合来实 现气敏原材料预混，微滴转印模块采用气密自动微量进样器、图像定 位摄像头和预制定位膜的基片共同协调实现转印过程中的定量微滴和 气敏膜的精准定位定形。本发明还公开了气敏膜的制备方法。
华中科技大学
2021-04-14