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维意真空多靶高真空磁控溅射镀膜机支持定制
MS-450高真空多靶磁控溅射镀膜机
真空腔室：直径450✕H400mm，1Cr18Ni9Ti优质不锈钢材质，氩弧焊接，前开门结构；
真空系统：机械泵+分子泵（进口和国产可选）；
极限真空：优于5✕10-5Pa（经烘烤除气后）；
真空抽速：大气～8✕10-4Pa≤30min；
升降基片台：2～6英寸基片台，靶基距60～120mm连续在线自动可调，旋转0～20r/min可调，可加热至500℃（可选水冷功能），可选配偏压清洗功能；
磁控靶：直径3英寸2～4只（可升级成直径4英寸靶2～3只），兼容直流和射频，可以溅射磁性材料的靶材；
溅射电源：直流脉冲溅射电源、全自动匹配的射频溅射电源可任选；
质量流量计：2～3路工艺气体，可根据工艺要求增加；
膜厚监控仪：可选配国产或进口单水冷探头膜厚仪；
控制方式：PLC+触摸屏控制系统，具备漏气自检与提示、通讯故障，实现一键抽停真空。
北京维意真空技术应用有限责任公司
2025-04-25
维意真空手套箱金属有机蒸发镀膜机支持定制
SEV-400手套箱金属有机蒸发镀膜机
真空腔室：采用立式方形结构，前门为水平滑开式，位于手套箱体内部，前开门便于蒸发材料和样片在保护环境下装卸，后开门便于真空室的清理维护（后门带锁紧装置在充气条件下保持腔室密闭与大气环境隔离），整机位于手套箱体下面，节约占地面积；
真空系统：国产分子泵作为主抽泵，真空极限高达2.0✕10-5Pa，另可选进口磁悬浮分子泵或是低温泵作为主抽泵，真空极限高达3.0✕10-6Pa；
真空抽速：大气～5✕10-4Pa≤30min（手套箱环境中）；
基片台：最大120mm基片/15～25mmITO/FTO玻璃25片，可定制一体化高精度刻蚀掩膜板，基片台公转，转速0～20r/min可调，衬底可选择加热（室温～300℃可调可控）或水冷，基片台可选升降，源基距最大350mm；
蒸发源及电源：4～6组欧美技术金属或有机束源炉蒸发源可选，多元共蒸获得复合膜/分蒸获得多层膜，功能强大，性能稳定；真空专业蒸发电源，恒流/恒功率控制，电流、功率可以预先设置，可实现一键启动和停止的自动控制功能；
膜厚监控仪：采用国产或进口膜厚监控仪在线监测和控制蒸发速率、膜厚；
控制方式：PLC+触摸屏控制系统，具备漏气自检与提示、通讯故障，实现一键抽停真空。
北京维意真空技术应用有限责任公司
2025-04-27
一种基于柔顺机构的 3 维微力传感器的敏感元件
主要技术要点（创新点） ： 采用空间 3-UPU 柔顺并联机构作为结构类型，与传统微力传感器的敏感元件相比，具有高精度、高强度、无累积误差等优点； 3 个支链相互垂直放置，并且每 1 条支链能感受某一方向的力，同时不会影响其他支链的悬臂梁的应变，具有 3 维解耦力传感特点； 采用 3-UPU 柔顺并联结构具有高固有频率，具有频宽范围大的特点； 采用 2 对对称的悬臂梁的应变形成全桥式电路作为输出，具有温度不敏感的特点。项目背景：随着精密工程技术、微机电系统(MEMS)技术及微/纳米技术等的研究，微传感器技术得到极大发展，特别是微力传感器，在各种微操作过程中执行对微接触力的检测，实现力-位移或力-视觉等混合控制，对提高微操作系统的精度起到了重要作用。该成果来源于胡俊峰副教授主持的国家自然科学基金项目《基于柔顺机构的智能微操作机器人动力学与控制研究》。
江西理工大学
2021-05-04
航天飞行器自主保障系统三维可视化软件开发
本发明公开一种航天飞行器三维模型层次化故障显示，以及三维模型信息提取和动画交互的实现方法，所述飞行器自主保障系统三维可视化软件主要包含软件B/S框架的搭建、三维实体模型信息提取及格式转换、三维模型的显示及其动画交互操作的加入和故障产品显示及透视化部件操作四大部分。
北京航空航天大学
2021-04-10
基于二维半导体材料的电荷超注入存储器及其制备方法
本发明属于半导体存储器技术领域，具体为一种基于二维半导体材料的电荷超注入存储器及其制备方法。本发明通过存储叠层能带设计，在实现闪存的非易失性存储特性；通过横向电场设计以及器件的仿真模拟设计，利用二维半导体材料的原子级薄层特性，显著增强最大横向电场从而提升电荷的注入效率，实现存储器中电荷的超注入机制，进而实现闪存的亚纳秒编程。本发明存储器在维持十年数据保持能力的同时，大幅提升了电荷注入效率，将编程速度提升至亚纳秒，为解决电荷存储领域超快编程和长保持时间无法共存的重大挑战提供新的解决方案。
复旦大学
2021-01-12
一种新型多层保冷结构液氢储罐装置及其工作方法
本发明公开了一种新型多层保冷结构液氢储罐装置及其工作方法，在液氢储罐中增设了深冷相变材料层，利用相变材料储存冷量的特点，解决了传统液氢储罐日蒸发率高的问题；液氢储罐内部设有隔板，解决了储罐内液氢因飞机起飞降落而引起的液氢大幅度摇晃的问题；支撑结构全部采用玻璃钢材料，内部设计空腔，解决了传统支撑结构容易漏热的缺陷；储罐内部液相设有液氢泵，将液氢升高到一定压力供发动机燃烧，另外氢气泄压口连接氢燃料电池系统，可以为飞机上的泵供电，剩余的电量可以为其余设施供电，产生的水可以供飞机发动机冷却，解决了液氢利用不充分、使用条件单一的问题。本发明具有保冷效果好、日蒸发率低、稳定性好、能源利用率高的优点。
南京工业大学
2021-01-12
一种脑电和心电相结合的特征解纠缠情感解码系统
本发明涉及生理信号处理技术领域，具体为一种脑电和心电相结合的特征解纠缠情感解码系统，系统包括特征解纠缠模块、三向动态交互模块、特征语义映射模块、异常特征校验模块、特征修复模块。本发明中，通过对脑电与心电信号进行多阶段分解以识别并区分公共特征与无效私有特征，实现了信号维度与语义维度的同步解析，通过特征语义偏差、稳定性及异常分布情况的统计分析，动态检测与任务目标不一致的特征项，并明确其语义状态演变趋势，推动特征层面的语义质量控制，实现特征替换与建模更新，使得多模态生理信号在情感识别任务中的表现具备敏感性、准确性及适应性，并对情绪状态识别提供结构清晰、语义明确且动态可调的生理特征表达体系。
兰州大学
2021-01-12
新型电测井的关键技术
新型电测井的关键技术 应用上述关键技术，本项目组先后完成了多个新型电测井仪器的优化设计和论证，硬件电路的研制，后续数据处理的研制，仪器系统的研制： 三分量感应测井仪；微电阻率扫描成像仪；油基泥浆微电阻率扫描成像仪；阵列感应测井仪；随钻电阻率测井仪；阵列侧向测井仪 通过下井测试和应用表明这些测井仪器的测井效果都达到了国际上先进仪器的水平，证明了本项目所研发的关键技术的先进性和适用性。 三维感应测井仪下中海油服科索1井 三维感应测井仪下新疆轮台的一口井 三维感应测井仪
电子科技大学
2021-04-10
热电（温差电）性能测试仪
随着能源局势的紧张和环保要求的日益提高，温差电材料与器件的研究与开发引起科学家和众多有视之士越来越多的关注。其中温差电性能的测试是研究温差电材料性能高低的关键环节。在国家自然科学基金和“十五”863高技术计划的资助下，我们研究开发了热电（温差电）性能测试仪。根据测试的最高温度可将其分为中温温差电性能测试仪和高温温差电性能测试仪两种，适宜于各类块体材料热电性能的测试，.测试精度与日本同类产品精度相当。相关专利在申请中。 该项目可用于各类块体热电材料的电导率和塞贝克系数的测试，测试所需样品的尺寸为2*2*15~20mm3。
北京科技大学
2021-04-11
新型电测井的关键技术
本项目组先后完成了多个新型电测井仪器的优化设计和论证，硬件电路的研制，后续数据处理的研制，仪器系统的研制： 三分量感应测井仪；微电阻率扫描成像仪；油基泥浆微电阻率扫描成像仪；阵列感应测井仪；随钻电阻率测井仪；阵列侧向测井仪
电子科技大学
2021-04-10