新型谐振MEMS微惯性传感器
针对我国在军事、工业等领域对高性能、小尺寸、高可靠性MEMS微惯性传感器日益迫切的需求,上海交通大学自2001年起就开展基于MEMS技术的微惯性传感器的研究,已成功研制十余款传感器样机,在研的半球谐振微陀螺、圆盘多环微陀螺等预期体积小于1cm3,成本低于50美元,功耗低于100mW,有望达到惯性级,在微小卫星、微航天器等场合极具应用潜力。与传统的微陀螺相比,该陀螺无运动部件,抗冲击性更好;同时该陀螺可以采用角速度检测和角速度积分检测两种工作模式,极大的提升了其应用场合与范围,特别适合在高G环境下进行空间位置测量、导航与姿态控制等。此外,其在消费电子市场以及汽车市场也拥有这巨大的应用空间,如手机、游戏机等手持电子设备的姿态控制系统,照相机、摄像机的稳定电子平台,汽车的防翻车预警系统等。。相关研究内容作为重要组成部分曾获省部级及以上奖励多次,授权发明专利几十余项,微陀螺方面的专利国内第一,国际第二,发表SCI/EI等论文几十篇。
上海交通大学
2021-04-13